投资评级 - 维持"买入"评级 [4][9] 核心观点 - 半导体设备需求持续强劲 公司2025年上半年净利润同比高增56.99% [1][2] - 公司凭借技术差异化优势把握市场机遇 产品平台化推进提升市场竞争力 [2] - 清洗设备全球市场占有率8.0%位居全球第四 电镀设备全球市场占有率8.2%位列全球第三 [8] - 临港产能加速释放 满产后总产能可达300亿元 [3] - 预计2025-2027年归母净利润为15.48/18.45/20.60亿元 对应PE为43/36/33倍 [9] 财务表现 - 2025年上半年营收32.65亿元 同比增长35.83% [1] - 2025年上半年归母净利润6.96亿元 同比增长56.99% [1] - 2025年Q2营收19.59亿元 环比增长50.05% [1] - 2025年Q2归母净利润4.49亿元 环比增长82.45% [1] - 2025年上半年毛利率50.73% 同比提升0.05个百分点 [2] - 2025年上半年净利率21.31% 同比提升2.87个百分点 [2] - 预计2025年营收68.73亿元 同比增长22.3% [1][12] - 预计2025年归母净利润15.48亿元 同比增长34.2% [1][12] 业务发展 - Ultra PmaxTM PECVD设备已交付客户验证TEOS及SiN工艺 [3] - 前道涂胶显影设备Ultra Lith使全球可服务市场规模翻倍 [3] - 2024年推出两款新型ALD炉管设备并进入工艺验证阶段 [3] - 2025年3月自主研发的单晶圆高温SPM设备通过关键客户验证 [8] - ECP设备第1500电镀腔完成交付 实现电镀技术全领域覆盖 [8] 行业前景 - 2024年全球半导体销售额预计增长16%至6112亿美元 [8] - 2025年全球半导体市场产值预计增长12.5%至6874亿美元 [8] - 中国大陆半导体市场需求保持强劲增长态势 [2] 产能规划 - 临港厂区A工厂满产产能100亿元 可支持2025年业绩目标65-71亿元 [3] - 临港厂区B工厂预计2026年下半年投产 投产后年产值200亿元 [3]

投资评级 - 维持"增持"评级 预期未来6个月内股价相对行业指数涨幅介于5%至15%之间 [4][9][18] 核心观点 - 25H1营收同比稳健增长45.38%至7.35亿元 归母净利润同比增长12.84%至0.90亿元 [1] - 半导体专用温控设备和废气处理设备技术领先 国内唯一实现规模装机应用的设备制造商 [3][9] - 受益于下游晶圆厂扩产和国产替代趋势 预计2025-2027年归母净利润复合增长率达44% [8][9] 财务表现 - 2025年预计营业收入15.00亿元(同比增长46.1%) 归母净利润2.57亿元(同比增长68.4%) [1][9] - 毛利率持续改善 从2023年32.5%提升至2027年预计45.2% [11] - ROE显著提升 从2023年6.2%增长至2027年预计16.2% [1][11] 业务优势 - 产品技术指标全球领先 温控设备温度范围-120°C至120°C 精度达±0.05°C [3] - 覆盖国内主流集成电路制造商 包括长江存储、中芯国际、华虹集团等 [2][8] - 产品支持14nm逻辑芯片和192层3D NAND存储芯片制造工艺 [3] 行业前景 - 中国晶圆厂大规模兴建带动半导体设备需求增长 [8] - 半导体设备国产化替代加速 公司作为国内稀缺供应商直接受益 [8][9] - 全球半导体产业复苏叠加下游产能扩张 推动行业进入高速发展阶段 [8] 估值指标 - 当前股价83.20元对应2025年PE 52倍 2026年PE 36倍 2027年PE 26倍 [1][9] - 总市值139.78亿元 流通市值99.07亿元 [4] - 近3月日均成交额2.84亿元 流动性充足 [4]

行业投资评级 - 机械行业评级为买入（维持）[1] 核心观点 - 人形机器人产业在2025年迎来突破性发展，万台级别量产将带动产业链放量[6] - 液冷技术因AI芯片功耗提升（Blackwell Ultra芯片单颗功耗达1.4kW）成为散热新趋势，渗透率有望加速提升[7] - 工程机械需求持续复苏，雅鲁藏布江水电工程（总投资1.2万亿元）拉动新需求，8月挖掘机销量同比增长12.8%[15][16] - 固态电池产业化进程加速，设备环节优先受益[22] - 低空经济2025年全面提速，政策与场景应用同步推进[23][24] 重点子行业总结 人形机器人 - 宇树科技开源UnifoLM-WMA-0架构，推动机器人自主学习进化[3] - Figure公司C轮融资超10亿美元，投后估值390亿美元[4] - 科技部推动人形机器人在汽车制造、物流等场景落地[4] - 特斯拉人形机器人累计商务沟通量约3万台，2025年无对外交付计划[5] - 建议关注灵巧手、丝杠、减速器等产业链公司[6] 液冷技术 - 英伟达要求开发微通道水冷板（MLCP）技术，单价为现有方案3-5倍[7] - NVL72方案单机架功耗达120-130kW，传统风冷无法满足需求[7] - 中国要求新建智算中心液冷机柜占比超50%，当前渗透率仅10%[7] - 技术路线向双相冷板和浸没式液冷迭代[8] - 建议关注英维克、高澜股份等公司[8] 机床&刀具 - 2025年8月日本机床订单金额1197.19亿日元，同比增长8.1%[9] - 日本对华机床订单连续16个月增长，7月同比上升8.3%[9] - 2025年1-8月中国金属切削机床产量56.0万台，同比增长14.6%[9] - 建议关注科德数控、欧科亿等产业链公司[9] 机械出海 - 中美经贸会谈推动关税展期90天[10][11] - 美联储降息25bp，市场预期10月和12月继续降息概率超80%[11][13] - 2025年7月中国矿山机械出口额6.0亿美元，同比增长37.6%[14] - 工具类企业受关税影响，建议关注巨星科技等公司[13] 工程机械 - 雅鲁藏布江水电工程总投资1.2万亿元，为三峡工程6倍[15] - 2025年8月挖掘机销量16523台（国内+14.8%，出口+11.1%）[15] - 叉车8月销量118087台（国内+19.3%，出口+19.6%）[16] - 无人叉车渗透率仅3.2%，2025年销量预计达3.9万台（+39.3%）[16] - 建议关注中联重科、三一重工等龙头公司[16] 半导体设备 - 美国对ASML等公司实施"长臂管辖"，国产替代加速[18] - 大基金三期注册资本3440亿元，重点支持光刻机等环节[19] - 2024年中美机械电子类产品进口额占比23.2%[18] - 建议关注中科飞测、富创精密等公司[19] 新能源设备 - 蜂巢能源半固态电池B样下线，采用创新电解质工艺[20] - 松下能源计划2026年实现全固态电池样品出货，容量提升25%[21] - 固态电池带动干法电极、等静压等设备需求[22] - 光伏硅料"收储"推动价格回升[22] - 建议关注宏工科技、迈为股份等公司[22] 低空经济及eVTOL - 民航局发布《空中游览市场管理暂行办法》，10月1日施行[23] - 湖南上线低空经济平台"新翼飞"，提供无人机服务预约[23] - 峰飞航空完成全球首次吨级eVTOL跨城无人货运飞行（航程160km）[23] - 建议关注亿航智能、交控科技等公司[24] 行业数据跟踪 通用自动化 - 2025年8月PMI指数49.4%，环比上涨[28] - 2025年8月工业机器人产量同比增长14.4%[28][34] - 2025年1-8月制造业固定资产投资累计同比+5.1%[28][32] 农业机械 - 2025年1-8月大/中/小型拖拉机产量同比-0.9%/-5.6%/-13.7%[28][45] - 拖拉机出口数量累计同比+19%，金额累计同比+31.4%[28][46] 锂电设备 - 2025年8月新能源汽车销量139.5万辆，同比增长27%[28][71] - 动力电池装车量62.5GWh，同比增长32.4%[28][73]

股票交易表现 - 9月22日收盘价256.60元，单日涨幅1.02% [1] - 当日发生14笔大宗交易，合计成交量195.05万股，总成交金额4.61亿元 [1] - 近5个交易日累计上涨19.29%，主力资金净流入4.8亿元 [5] 大宗交易细节 - 所有交易成交价均为236.22元，较收盘价统一折价7.94% [1][2][3][4] - 卖方营业部全部为中国国际金融股份有限公司北京建国门外大街证券营业部 [1][2][3][4] - 买方包含多家知名机构：瑞银证券、摩根大通证券、中信建投、中信证券、广发证券、方正证券及机构专用席位 [1][2][3] 机构交易特征 - 机构专用席位共参与6笔交易，合计买入109万股，金额2.57亿元 [3][4] - 单笔最大成交为两笔30万股交易，单笔金额7086.6万元 [3] - 近3个月累计发生15笔大宗交易，总成交金额4.72亿元 [5]

公司业绩与订单情况 - 2025年上半年新增订单金额达17亿元人民币 [1] - 湿法设备订单表现暂低于公司预期水平 [1] - 全年新增订单目标维持50多亿元未作修订 [1] 投资者关系活动 - 公司参与2025年上海辖区上市公司集体接待日暨中报业绩说明会活动 [1] - 通过公开平台回应投资者关于业务进展的质询 [1]

股价表现与资金流向 - 9月22日盘中股价下跌2%至97.84元/股 成交额6.42亿元 换手率2.59% 总市值314.65亿元 [1] - 主力资金净流出2272.51万元 特大单净卖出1331.79万元（买入1889.42万元占比2.94% 卖出3221.21万元占比5.02%） [1] - 大单净卖出900万元（买入1.35亿元占比21% 卖出1.44亿元占比22.47%） [1] - 年初至今股价上涨11.75% 近5日涨7.81% 近20日跌1.04% 近60日涨16.21% [1] 股东结构与持股变化 - 股东户数9774户 较上期减少11.83% 人均流通股25403股 较上期增加15.34% [2] - 诺安成长混合A持股1345.33万股（第二大流通股东）持股数量持平 [3] - 嘉实上证科创板芯片ETF新进十大流通股东 持股531.31万股（第九大股东） [3] - 银华集成电路混合A增持92.74万股至519.5万股（第十大股东） [3] - 东方人工智能主题混合A退出十大流通股东名单 [3] 财务业绩表现 - 2025年上半年营业收入7.02亿元 同比增长51.39% [2] - 归母净利润-1835.43万元 同比大幅收窄73.01% [2] - A股上市后累计现金分红4480万元 [3] 公司业务概况 - 主营业务为集成电路专用设备的研发生产销售 聚焦检测设备（收入占比60.72%）和量测设备（36.4%） [1] - 服务及其他业务收入占比2.88% [1] - 所属申万行业为电子-半导体-半导体设备 涉及先进封装/半导体设备/中芯国际概念/集成电路/芯片概念等板块 [1] - 公司成立于2014年12月31日 于2023年5月19日上市 注册地址位于深圳市龙华区银星科技园 [1]

股价表现与交易数据 - 9月22日盘中股价上涨2%至259.08元/股 总市值达1622.22亿元 成交额33.45亿元 换手率2.11% [1] - 主力资金净流出5028.44万元 特大单买卖占比分别为17.22%和18.55% 大单买卖占比分别为31.33%和31.51% [1] - 年内股价累计上涨37.18% 近5/20/60日分别上涨20.45%/22.79%/42.35% [1] 公司基本概况 - 公司位于上海浦东新区 2004年5月成立 2019年7月科创板上市 主营高端半导体设备研发生产销售 [1] - 收入构成：专用设备86.17% 备品备件12.84% 其他业务0.99% [1] - 行业分类属于电子-半导体-半导体设备 概念板块涵盖沪自贸区/半导体设备/先进封装/MLED/LED [1] 股东结构与机构持仓 - 股东户数4.69万户 较上期增加2.82% 人均流通股13342股 减少2.15% [2] - 香港中央结算增持1080.65万股至5747.19万股 位列第三大流通股东 [3] - 多只科创板ETF增持：华夏上证科创板50ETF增35.10万股 易方达科创板50ETF增160.83万股 嘉实科创板芯片ETF增98.72万股 [3] - 华夏上证50ETF增62.42万股 华泰柏瑞沪深300ETF新进787.16万股 华夏国证半导体芯片ETF新进776.18万股 [3] - 诺安成长混合退出十大流通股东行列 [3] 财务业绩表现 - 2025年上半年营业收入49.61亿元 同比增长43.88% [2] - 归母净利润7.06亿元 同比增长36.62% [2] - A股上市后累计现金分红4.96亿元 [3]

股价表现与交易数据 - 9月22日盘中股价上涨2.08%至191.50元/股 总市值259.55亿元 成交额2.37亿元 换手率0.92% [1] - 主力资金净流出856.42万元 特大单买入906.76万元(占比3.83%)卖出1710.26万元(占比7.23%) 大单买入4237.11万元(占比17.90%)卖出4290.03万元(占比18.12%) [1] - 今年以来股价累计上涨84.58% 近5日/20日/60日分别上涨9.65%/18.30%/32.80% [1] 公司基本面与业务构成 - 2025年上半年营业收入5.34亿元 同比增长40.99% 归母净利润1.96亿元 同比增长74.04% [2] - 主营业务收入构成：测试系统85.72% 配件13.86% 其他0.41% [1] - 公司从事半导体自动化测试系统研发、生产和销售 属于半导体设备行业 [1] 股东结构与机构持仓 - 股东户数7015户 较上期减少10.56% 人均流通股19320股 较上期增加11.88% [2] - 香港中央结算有限公司持股884.41万股(第三大股东) 较上期增持404.41万股 [3] - 嘉实上证科创板芯片ETF持股192.75万股(第七大股东) 增持16.96万股 易方达积极成长混合新进持股163.88万股(第九大股东) [3] 分红与资本回报 - A股上市后累计派现5.65亿元 近三年累计派现3.36亿元 [3]

半导体设备板块表现 - 中证半导体材料设备主题指数早盘上涨1.1% [1] - 半导体设备ETF易方达（159558）获600万份净申购 [1] 行业催化因素 - 华为公布昇腾芯片路线图：2026年Q1推出昇腾950PR、2026年Q4推出昇腾950DT、2027-2028年推出升级版芯片 [1] - 长江存储启动三期扩产：目标2025年月产能达15万片、2026年全球闪存市场份额提升至15% [1] - 国内HBM内存开发与产能建设积极推进 [1] 指数与产品特征 - 中证半导体材料设备主题指数包含40只半导体材料与设备股票 [1] - 指数中半导体设备权重占比接近60% [1] - 半导体设备ETF易方达（159558）跟踪该指数 [1]

股价表现与交易数据 - 9月22日盘中股价上涨2.05%至410.25元/股 成交额17.21亿元 换手率0.59% 总市值2970.57亿元 [1] - 主力资金净流入6206.27万元 特大单买卖占比分别为13.95%和14.05% 大单买卖占比分别为32.62%和28.91% [1] - 年内累计涨幅42.03% 近5/20/60日分别上涨7.96%、7.94%和25.54% [2] 公司基本面 - 2025年上半年营业收入161.42亿元 同比增长30.86% 归母净利润32.08亿元 同比增长15.37% [2] - 电子工艺装备业务占比94.53% 电子元器件占比5.37% 其他业务占比0.10% [2] - A股上市后累计分红15.35亿元 近三年累计派现12.17亿元 [3] 股东结构变化 - 股东户数增至9.77万户 较上期增长29.48% 人均流通股降至7383股 减少22.77% [2] - 香港中央结算有限公司增持678.89万股至5445.37万股 稳居第二大流通股东 [3] - 华泰柏瑞沪深300ETF增持42.93万股 华夏国证半导体芯片ETF增持13.38万股 易方达沪深300ETF新进持股405.81万股 [3] 行业属性与业务定位 - 公司隶属电子-半导体-半导体设备行业 核心业务为半导体基础产品研发制造及技术服务 [2] - 概念板块涵盖半导体设备、先进封装、北京国资、氮化镓及大基金概念等多重主题 [2]