静电卡盘

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万业企业(600641):铋加工业务增收增利 半导体设备核心零部件获赋能
新浪财经· 2025-09-28 12:29
铋材料业务 - 全资子公司安徽万导成为先导科技集团旗下唯一铋金属深加工及化合物产品平台 [1] - 2025年上半年铋业务实现销售收入5.25亿元 占总营收75% [1] - 二季度铋业务收入环比一季度增长450% 产能与销量逐季爬升 [1] - 湖北荆州与浙江衢州基地计划于今年年底前完成新增产能扩张 全年产能及销量规模在铋材料市场处于领先地位 [1] - 未来有望借助先导集团高端材料-器件-模组-系统的全产业链优势 实现半导体材料业务的横向开拓和纵向延伸 [1] 离子注入机业务 - 上半年已交付8台12英寸离子注入机 其中应用于CIS器件掺杂的低能大束流离子注入机实现首台设备验收 [2] - 国产低能大束流离子注入机的12英寸晶圆产品片安全生产过货量突破500万片 实现从样机研发到规模量产的跨越式发展 [2] - 离子注入作为国产化率不足10%的硬卡替环节 其规模化国产替代进程将加速 [2] - 公司作为掌握关键核心技术的离子注入机国内先行者 有望在新一轮产能扩充进程中提高市场份额 [2] 半导体设备零部件 - 先导集团与凯世通在静电卡盘 流量计等核心子系统零部件方面深化合作 全力赋能凯世通国产化零部件建设 [2] - 通过对外合规经营 对内优化管理及集团协同合作 获得从电子材料 零部件到原位检测等多方面供应链支持 供应链对海外依存度逐步降低 [2] - 关键零部件的国产化供应能力有望成为半导体设备业务板块加速拓展的关键力量 [2] 财务预测与估值 - 预测2025-2027年每股收益分别为0.27元 0.30元 0.37元 原2025-2026年预测为0.12元 0.14元 [3] - 根据可比公司2025年75倍PE估值 给出目标价为20.25元 维持增持评级 [3]
珂玛科技(301611):先进陶瓷零部件领先者,半导体业务未来可期
华源证券· 2025-09-26 06:02
投资评级 - 增持(首次)[5][8] 核心观点 - 珂玛科技是中国第一家拥有自主知识产权、从高精密陶瓷部件设计制造到清洗维护的综合性解决方案提供商,主营业务包括先进陶瓷材料零部件、泛半导体设备表面处理服务和金属结构零部件[7] - 公司基于多年技术积累,重点突破陶瓷加热器、静电卡盘等"卡脖子"产品,致力于解决国内半导体设备厂商和晶圆厂商的供应链自主可控问题[7][10] - 预计2025-2027年归母净利润分别为4.23亿元、5.69亿元、7.47亿元,同比增长36.16%、34.45%、31.23%,对应PE分别为63倍、47倍、35倍[6][8] 公司业务与产品 - 先进陶瓷材料零部件:以氧化铝、氧化锆、氮化铝等6种材料为基础,产品高度定制化,应用于半导体、新能源、汽车制造等领域;2024年营收7.68亿元(同比+95%),毛利率63.19%[7][22][32] - 表面处理服务:包括精密清洗、阳极氧化和熔射服务,聚焦显示面板领域;2024年营收0.82亿元,毛利率14.77%[7][23][32] - 金属结构零部件:用于显示面板生产设备,2024年营收0.03亿元,毛利率50.07%[25][32] 市场空间与行业地位 - 2026年中国泛半导体先进结构陶瓷市场规模预计达125亿元,占全球比例提升至24%[7][62] - 2021年中国大陆国产半导体设备的先进结构陶瓷采购规模中,珂玛科技占比约14%;本土供应商供应规模中占比约72%[74] - 陶瓷加热器市场由日本碍子等日企主导(占95%),静电卡盘由美日企业主导(Applied Materials、Lam Research、Shinko合计占85.48%)[67][69] 技术突破与研发进展 - 陶瓷加热器:已开发40款产品,覆盖150mm-300mm晶圆尺寸,累计出货超1,000支;客户包括北方华创、中微公司、拓荆科技等[74] - 静电卡盘:8英寸和12英寸型号已实现量产,12寸多区加热静电卡盘完成产品开发[74] - 表面处理技术:已形成14nm制程设备零部件表面处理技术储备,OLED设备零部件处理技术实现量产[7][86] 财务表现与预测 - 2024年营收8.57亿元(同比+78.45%),归母净利润3.11亿元(同比+279.88%)[6][28] - 2025H1营收5.2亿元(同比+35.34%),归母净利润1.72亿元(同比+23.52%)[28] - 预计2025-2027年营收分别为11.31亿元、14.76亿元、19.20亿元,增速31.92%、30.53%、30.04%[6][90] 客户与产能布局 - 核心客户包括A公司、北方华创、京东方、TCL华星光电等;2024年前五大客户收入占比69.65%[27][46] - 募投项目用于扩产先进陶瓷材料及泛半导体零部件产能,投资总额10.87亿元[27] 行业增长驱动 - 半导体设备性能提升带动泛半导体先进结构陶瓷需求,2022-2026年中国市场规模CAGR预计14%[62] - 表面处理服务市场持续扩容,2022-2026年CAGR预计14%;半导体领域占比57%,显示面板占比43%[80][82]
万业企业(600641):25Q2经营拐点显现 设备+零部件/材料打通中长期成长逻辑
新浪财经· 2025-09-01 06:26
财务表现 - 2025年上半年公司营收6.99亿元,同比增长248%,其中第二季度营收5.07亿元,同比增长397% [2] - 归母净利润0.41亿元,扣非归母净利润-0.01亿元,实现扭亏为盈,第二季度归母净利润0.61亿元 [3] - 上半年净利率-2.61%,扣非净利率-0.17%,第二季度净利率4.72%,同比提升87.38个百分点 [3] - 毛利率27.52%,同比下降32.25个百分点,期间费用率35.73%,同比下降54.55个百分点 [3] 业务构成 - 铋材料业务收入5.25亿元,占总营收75%,第二季度环比增长450% [2] - 凯世通离子注入机业务收入约0.7亿元,上半年新增8台设备交付 [2] - 设备与材料业务合计收入占比达80% [4] - 铋业务贡献净利润0.93亿元,净利率约17.7%,凯世通业务亏损1.1亿元 [3] 运营数据 - 期末存货34.27亿元,同比增长191.78%,合同负债1.75亿元,同比下降3.74% [2] - 投资收益显著增厚利润,包括出售镨芯及理财收入 [3] 战略发展 - 离子注入机业务覆盖12家客户实现批量出货,高能机型拓展3家客户 [4] - 先导集团赋能静电卡盘、流量计等核心部件国产化 [4] - 铋金属产销量全球领先,受益于价格上涨趋势 [4] - 公司调整2025-2027年营收预测至19.46/24.78/31.30亿元,归母净利润预测至2.57/3.14/4.00亿元 [5] 市场预期 - 当前股价15.59元对应2025年市盈率56.42倍 [5] - 维持增持评级,看好离子注入机突破与铋材料扩产带来的收入增长 [2][5]
珂玛科技H1营收5.2亿元,先进陶瓷材料零部件收入同比增长40.21%
巨潮资讯· 2025-08-26 08:19
财务表现 - 营业收入5.2亿元 同比增长35.34% [1][3] - 归属于上市公司股东的净利润1.72亿元 同比增长23.52% [1][3] - 扣除非经常性损益的净利润1.71亿元 同比增长25.04% [1][3] - 经营活动产生的现金流量净额1.41亿元 同比增长2.46% [1] - 基本每股收益0.3942元/股 同比增长2.28% [1] - 加权平均净资产收益率10.70% 同比下降6.52个百分点 [1] - 总资产20.9亿元 较上年度末增长6.24% [1] - 归属于上市公司股东的净资产16.51亿元 较上年度末增长8.65% [1] 主营业务构成 - 先进陶瓷材料零部件及泛半导体设备表面服务收入占比超99% [1] - 先进陶瓷材料零部件营业收入4.77亿元 同比增长40.21% [1] - 其他业务收入主要为零部件加工服务及贸易业务 占比微小 [1] 半导体领域业务 - 半导体领域结构件产品销售收入同比增长66.06% [2] - 功能-结构一体模块化产品销售收入同比增长15.66% [2] - 陶瓷加热器产品已量产并应用于SACVD/PECVD/LPCVD及激光退火设备 [2] - 静电卡盘与超高纯碳化硅套件逐步量产并形成收入 [2] 行业驱动因素 - 中国半导体市场持续扩张带动产业规模快速增长 [2] - 半导体设备关键零部件国产化进程持续推进 [2] - 下游半导体领域客户采购需求快速增长 [2]
珂玛科技2025年中期业绩亮眼,半导体业务驱动营收净利双增长
全景网· 2025-08-26 05:36
财务表现 - 2025年上半年营业收入5.20亿元,同比增长35.34% [1] - 归属于上市公司股东的净利润1.72亿元,同比增长23.52% [1] - 扣除非经常性损益后的净利润1.71亿元,同比增长25.04% [1] - 经营活动产生的现金流量净额1.41亿元,同比增长2.46% [1] 业务增长 - 先进陶瓷材料零部件销售收入4.77亿元,同比增长40.21%,占营业收入比重超过91% [2] - 半导体领域业务收入4.37亿元,同比增长43.5%,成为公司业绩增长主要驱动力 [2] - 陶瓷加热器累计交付量已超千支,国产替代进程加速 [2] 技术研发 - 研发投入4504万元,同比增长31.17%,占营业收入比例达8.66% [3] - 在陶瓷加热器、静电卡盘等"卡脖子"产品上实现技术突破 [3] - 多项产品通过北方华创、中微公司、拓荆科技等国内头部半导体设备厂商验证并实现批量供应 [3] - 承担国家"02专项"PECVD设备用陶瓷加热器课题 [3] - 成为国内少数通过国际头部半导体设备厂商A公司认证的企业之一 [3] 客户与产能 - 客户覆盖北方华创、中微公司、拓荆科技、京东方、TCL华星、天马微电子等国内外龙头企业 [4] - 获北方华创"全球金牌供应商"称号,并进入国际头部半导体设备厂商供应链体系 [4] - 首次公开发行募投项目累计投入资金5.14亿元 [4] - "先进材料生产基地项目"已基本完成建设并逐步投入使用 [4] - "泛半导体核心零部件加工制造项目"和"研发中心建设项目"稳步推进 [4] 行业前景 - 全球半导体产业持续复苏,AI、HPC、汽车电子等需求推动设备投资增长 [5] - 中国大陆作为全球最大半导体设备市场,国产化率仍有较大提升空间 [5] - 公司聚焦半导体、泛半导体、新能源等高增长领域 [5] - 在国产替代与产业升级双重机遇下,公司展现出强劲发展势头 [5]
珂玛科技: 苏州珂玛材料科技股份有限公司向不特定对象发行可转换公司债券募集资金使用可行性分析报告
证券之星· 2025-08-25 17:15
募集资金使用计划 - 拟发行可转换公司债券募集资金总额不超过人民币75,000万元 [1] - 募集资金将用于两个具体项目及补充流动资金,项目投资总额87,815.42万元,拟投入募集资金75,000万元 [1] - 若募集资金不足,公司将通过自筹资金解决差额部分 [1] 先进陶瓷行业市场前景 - 2021年全球先进陶瓷市场规模达3,818亿元,其中先进结构陶瓷占比28%,规模为1,067亿元 [2] - 半导体设备支出增长带动先进陶瓷需求,2024年全球半导体制造设备销售额预计创1,128亿美元历史纪录,2025年全球预计有18个新晶圆厂建设项目启动 [2] - 中国先进陶瓷国产化率从2015年的约5%显著提升,但半导体领域关键设备国产替代率仍较低,陶瓷加热器、静电卡盘及超高纯碳化硅套件等产品仍依赖进口 [3] 半导体设备国产化机遇 - 2024年中国大陆半导体设备支出约500亿美元,2025年预计有3座新晶圆厂建设项目启动 [4] - 国内半导体设备中结构陶瓷部件国产化需求迫切,存在被原厂断供风险,晶圆厂商急需国产替代方案 [4] - 国家政策支持半导体产业链自主可控,明确要求加速关键材料与高端装备国产化进程 [5] 结构功能模块化陶瓷部件扩建项目 - 项目总投资60,273万元,拟投入募集资金48,800万元,位于江苏省苏州市虎丘区 [13] - 项目旨在扩建陶瓷加热器产能并推进陶瓷静电卡盘产业化,以满足半导体设备关键零部件国产替代需求 [5][6] - 全球半导体陶瓷加热器市场规模2023年约103.2亿元,预计2030年达152.6亿元,年复合增长率5.8%;静电卡盘市场规模2024年137.1亿元,预计2030年194.2亿元,年复合增长率5.97% [9] 碳化硅材料及部件项目 - 项目总投资6,542.42万元,拟投入募集资金5,200万元,由子公司安徽珂玛材料技术有限公司实施,位于安徽省滁州市 [14] - 项目将扩建碳化硅陶瓷结构件全流程生产线,聚焦超高纯碳化硅套件等高端产品 [14][17] - 碳化硅陶瓷材料在半导体设备中应用广泛,美国CoorsTek占据超过80%市场份额,国产替代空间巨大 [19] 公司技术实力与市场地位 - 公司掌握先进陶瓷材料从配方制备到精密加工的全流程关键工艺,填补高纯度氧化铝、高导热氮化铝等国内空白 [10] - 陶瓷加热器产品已实现国产替代,多款产品通过半导体晶圆厂及主流设备厂商认证 [11] - 静电卡盘已通过部分客户验证并实现小规模量产,技术体系成熟 [12][13] - 客户包括北方华创、中微公司、拓荆科技等知名半导体厂商,品牌效应显著 [13] 补充流动资金 - 拟使用募集资金21,000万元补充流动资金,以支持业务扩张和营运资金需求 [22] - 补充流动资金将优化资产结构,提升抗风险能力,保障公司持续稳定发展 [22] 项目实施影响 - 项目将增强公司在先进陶瓷材料及零部件领域的综合竞争力,提升持续盈利能力 [23] - 募集资金到位后,公司总资产和净资产规模将增加,资产负债率降低,财务状况进一步改善 [23]
珂玛科技(301611) - 301611珂玛科技投资者关系管理信息20250725
2025-07-28 08:18
经营业绩 - 2025年上半年预计实现营业收入5.15亿至5.25亿元,同比增长33.93%-36.53% [1] - 归母净利润1.65亿至1.75亿元,同比增长18.59%-25.77% [1] - 扣非后净利润预计1.64亿元至1.75亿元,同比增长19.88%-27.94% [1] 业绩增长原因 - “功能 - 结构”一体模块化产品规模化量产,陶瓷加热器产线搬迁扩充设备,产能利用率显著提升 [1][2] - 陶瓷加热器切入国内半导体供应链,部分产品已量产用于晶圆薄膜沉积流程 [2] - 全球半导体设备市场复苏,中国大陆产业集群优势凸显,国内外头部厂商订单持续放量 [2] 收入结构 - 先进陶瓷材料零部件收入约占总收入的90%,表面处理服务收入约占10% [3] - 半导体领域收入超先进陶瓷材料零部件整体收入的90%,结构件及“功能 - 结构”一体模块化产品推动其增长 [3] 在手订单 - 在手订单充足,主要来自国内外主流半导体设备厂及部分国内半导体晶圆厂 [3] - 在手订单基本覆盖3个月销售收入,结构件产品交期约45天,“功能 - 结构”一体模块化产品交期约90天 [3][4] 生产基地项目进展 - 江苏苏州先进材料生产基地项目已达到投产条件,用于生产“结构 - 功能”一体化模块产品 [4] - 公司将聚焦产品升级,向国际一流水平的半导体设备关键零部件高技术企业转型 [4]
珂玛科技(301611):2025Q2归母净利润同比承压 加热器产能持续扩充
新浪财经· 2025-07-18 08:53
业绩表现 - 2025H1预计营业收入5.15-5.25亿元,同比增长33.93%-36.53%,中值5.2亿元同比增长35.23% [1] - 2025H1归母净利润1.65-1.75亿元,同比增长18.59%-25.77%,中值1.7亿元同比增长22.18% [1] - 2025H1扣非净利润1.64-1.75亿元,同比增长19.88%-27.94%,中值1.69亿元同比增长23.91% [1] - 2025Q2归母净利润0.78-0.88亿元,同比下降0.90%-12.18%,中值0.83亿元同比下降6.54% [2] - 2025Q2扣非净利润0.77-0.88亿元,同比增长-10.97%-1.67%,中值0.83亿元同比下降4.65% [2] 业务发展 - 陶瓷加热器产能逐步提升,产线搬迁至新厂房后设备持续补充配置 [3] - 国内半导体设备商及国际头部设备商销售收入同比大幅增长 [3] - 静电卡盘与超高纯碳化硅套件逐步量产并形成收入 [3] 研发与投入 - 净利润增速低于营收增速主要因持续保持大量研发投入 [3] - 围绕"结构-功能"一体模块化产品加大研发投入 [3] 盈利预测 - 预计2025-2027年收入11.50/14.65/18.19亿元 [3] - 预计2025-2027年归母净利润4.26/5.32/6.58亿元 [3] - 当前股价对应PE分别为53/43/34倍 [3]
珂玛科技(301611):2025Q2归母净利润同比承压,加热器产能持续扩充
国海证券· 2025-07-18 05:35
报告公司投资评级 - 买入(维持)[1] 报告的核心观点 - 珂玛科技2025H1营收增长但Q2归母净利润同比承压,主要因持续大量研发投入;陶瓷加热器产能逐步提升,国内外设备商收入持续同比高增,新品也逐步量产形成收入;预计2025 - 2027年收入和归母净利润增长,维持“买入”评级 [4][5][6] 市场数据总结 - 2025年7月17日,珂玛科技当前价格51.93元,52周价格区间26.80 - 86.70元,总市值22,641.48百万,流通市值3,115.80百万,总股本43,600.00万股,流通股本6,000.00万股,日均成交额108.62百万,近一月换手86.22% [3] - 近1个月珂玛科技相对沪深300表现为0.8%,近3个月为 - 7.6% [3] 业绩预告总结 - 2025H1预计实现营业收入5.15 - 5.25亿元,同比增长33.93% - 36.53%,中值5.2亿元,同比增长35.23%;归母净利润1.65 - 1.75亿元,同比增长18.59% - 25.77%,中值1.7亿元,同比增长22.18%;扣非净利润1.64 - 1.75亿元,同比增长19.88% - 27.94%,中值1.69亿元,同比增长23.91% [4] - 2025Q2预计实现营业收入2.67 - 2.77亿元,同比增长19.33% - 23.80%,中值2.72亿元,同比增长21.57%,环比增长9.77%;归母净利润0.78 - 0.88亿元,同比下降0.90% - 12.18%,中值0.83亿元,同比下降6.54%,环比下降4.81%;扣非净利润0.77 - 0.88亿元,同比增长 - 10.97% - 1.67%,中值0.83亿元,同比下降4.65%,环比下降3.64% [4] 业务情况总结 - 收入结构上,2025H1来自国内主要半导体设备商以及国际头部半导体设备商的产品销售收入同比大幅增长 [5] - 产能方面,陶瓷加热器产线搬迁至新厂房,相关设备补充配置,现有产能逐步提升 [5] - 新品方面,2025年围绕“结构 - 功能”一体模块化产品加大投入,静电卡盘与超高纯碳化硅套件逐步量产并形成一定收入 [5] 盈利预测总结 |指标|2024A|2025E|2026E|2027E| | ---- | ---- | ---- | ---- | ---- | |营业收入(百万元)|857|1150|1465|1819|[7][8]| |增长率(%)|78|34|27|24|[7][8]| |归母净利润(百万元)|311|426|532|658|[7][8]| |增长率(%)|280|37|25|24|[7][8]| |摊薄每股收益(元)|0.71|0.98|1.22|1.51|[7]| |ROE(%)|20|23|24|25|[7][8]| |P/E|72.79|53.18|42.60|34.41|[7][8]| |P/B|16.92|12.40|10.25|8.44|[7][8]| |P/S|29.98|19.69|15.46|12.45|[7][8]| |EV/EBITDA|60.88|38.69|30.88|25.02|[7]|
12000字详解半导体静电卡盘企业与投资逻辑
材料汇· 2025-07-17 15:55
国内静电吸盘企业名录 - 北京华卓精科科技股份有限公司成立于2012年,自主研发12英寸PVD氮化铝静电吸盘,破除国外垄断,已实现小批量量产并支持定制化生产[3] - 苏州珂玛材料科技股份有限公司成立于2009年,重点研发陶瓷加热器和静电卡盘,已试产样品并处于客户验证阶段,规划2023-2024年实现12寸静电卡盘销售[6] - 君原电子科技(海宁)有限公司成立于2020年,是国内首家实现规模化生产半导体静电吸盘的企业,产品覆盖14nm及以上刻蚀机台静电吸盘,已在12寸和8寸集成电路企业应用[8] - 海拓创新专注半导体关键零部件国产化,静电卡盘系统在4至12英寸逻辑芯片、存储芯片等领域拥有丰富验证实绩,涵盖晶圆搬运、刻蚀、离子注入等工序,已实现小规模量产[10] - 浙江新纳材料科技股份有限公司研发的静电吸盘已通过长江存储、士兰微等客户认证并实现销售,其大尺寸氧化铝陶瓷静电吸盘被认定为浙江省首台(套)产品[34] - 河北中瓷电子科技股份有限公司2022年布局精密陶瓷零部件领域,陶瓷加热盘已批量出货,静电卡盘已送样测试[36] - 瑞耘科技股份有限公司是半导体关键零组件领先供应商,2014年实现陶瓷静电吸盘产品量产[37] - 中山市思考电子科技有限公司2022年已掌握氮化铝陶瓷高温共烧技术,氮化铝加热器已面市,ESC静电吸盘进入装配测试阶段,预计2024年第一季度出成品[38] - 武汉芯致技术集团有限公司可提供静电吸盘(E-Chucks)、Ceramic Heaters等半导体制造设备使用的各种产品[39] - 苏州芯慧联半导体科技有限公司为客户提供湿法清洗剥离刻蚀等装置或系统单元,以及静电卡盘等消耗品和零部件[40] 静电吸盘技术特点 - 聚合物静电卡盘采用高分子改性技术,具有高体电阻率和介电常数,夹持力稳定,可兼容不同材料晶圆,在卤素及等离子体气氛中抗腐蚀性能出色,性价比高[12][13][14][15][16][17] - 聚合物静电卡盘加热器总成可实现多加热温区布局(最多20温区),加热温度均匀性±5% @150℃,最高温度200℃[18][19][20][21] - 陶瓷静电卡盘采用混凝技术,具有高致密性、稳定晶体结构和均匀体电阻率,能在高真空、等离子、卤素等苛刻环境正常夹持晶片[22] - 氧化铝静电卡盘通过混凝陶瓷技术和共烧工艺控制体积电阻率,夹持力持久,高温烧结结构致密,温度区间大,一体化共烧成型降低离子迁移[23][24] - 氮化铝静电卡盘通过控制混凝材料成份和配比实现体积电阻率微量控制,夹持力温度区间更大[25][26] - 陶瓷静电卡盘加热器一体化共烧成型,质量保障,温区分布均匀(±7.5% @350℃),最高温度550℃[27][28][29] - 复合型静电卡盘兼容硅、砷化镓、碳化硅、蓝宝石等晶片夹持,采用混凝陶瓷和高分子改性技术,具有更高致密性结构和更低释气量,可精确控制体电阻率获得更强夹持力[30][31] - 复合型静电卡盘加热器总成温区均匀性±3.5% @150℃,最高温度200℃[32] 静电吸盘市场规模与竞争格局 - 2021年全球静电吸盘市场销售额17.14亿美元,预计2028年达24.12亿美元,CAGR 5.06%;销量2021年5.54万件,2028年预计7.99万件[88] - 2021年中国静电吸盘市场规模21.12亿元,预计2028年达34.81亿元,CAGR 7.29%[90] - 全球市场被美日厂商垄断,主要厂商包括Applied Materials(43.86%份额)、Lam Research(31.42%)和SHINKO(10.20%)[92] - 日本主要厂商包括NTK CERATEC、TOTO、新光电气工业、日本碍子、京瓷等;韩国厂商包括MiCo Ceramics、AEGISCO、KSM Component[94] 静电吸盘国产替代进展 - 中瓷电子2022年半导体设备零部件陶瓷产品静电卡盘和热盘营收800万元[101] - 华卓精科静电卡盘2022年已产生740万营收,应用于PVD设备、刻蚀机、离子注入机等领域[101] - 新纳材料静电吸盘已通过长江存储、士兰微等客户认证并实现销售[101] - 珂玛科技库伦类静电卡盘小批量出货,8寸刻蚀机用静电卡盘处于客户验证阶段[101] - 海拓创新静电卡盘系统实现小规模量产,涵盖晶圆搬运、刻蚀、离子注入、薄膜等工序[101] - 君原电子是国内首家静电吸盘产品通过12寸晶圆厂验证的企业[101]