行业概述与战略地位 - 半导体设备零部件是半导体产业链上游的关键环节，是构成半导体制造设备的基础单元，直接影响设备的精度、稳定性和使用寿命 [1][2] - 行业遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的规律，是延续“摩尔定律”的瓶颈和关键，也是国内半导体设备企业“卡脖子”的环节之一 [1][7] - 零部件具有工艺精密、批量小、品种多、技术含量高等特点，涵盖机械、电气、机电一体、气体/液体/真空系统、仪器仪表和光学等多个细分领域 [2] 市场规模与结构 - 2024年中国半导体设备零部件行业市场规模达1887.9亿元，同比增长34.9% [1][7][8] - 市场构成中，配套市场（含进口装备）占92.5%，更新维护市场占7.5% [1][8] - 在配套市场中，机械类零部件占比最大，达36.5%，其次为系统输送系统（16.1%）和电器类（14.3%） [1][8] - 下游半导体设备市场持续繁荣，2024年中国半导体设备市场规模达3528.8亿元，同比增长36.8%，为零部件行业带来广阔增长空间 [6] 发展历程与现状 - 行业发展经历了从完全依赖进口到本土企业逐步突围、从低端配套向高端领域渗透的过程 [3] - 当前行业进入追求高质量和系统性突破的新阶段，目标从个别品类替代转向全产业链协同和高端领域全面渗透 [3] - 产业链上下游联动紧密，通过共建联合实验室、共享测试平台等方式，同步推进材料研发、零部件试制和工艺验证，缩短技术迭代周期 [3][14] - 长三角、珠三角等产业集群效应凸显，整合了材料加工、性能检测等资源，降低了行业整体成本 [3][14] 产业链分析 - 上游：主要包括铝合金、不锈钢、钛合金、超高纯钨、铜等金属材料，以及高纯石英砂、陶瓷、石墨等非金属材料供应商 [4] - 中游：半导体设备零部件的研发、设计、生产环节 [4] - 下游：零部件供给半导体设备厂商，组装成光刻、刻蚀、薄膜沉积等设备后，交付给晶圆厂和芯片封测企业，最终产品应用于消费电子、汽车电子、AI、医疗电子等领域 [4] 竞争格局 - 市场格局较为分散，由于零部件种类繁多、技术难度大，多数企业只专注于个别生产工艺或特定产品 [8] - 目前规模较大的企业主要为外资企业在华子公司，如中国台湾地区的京鼎精密和日本的Ferrotec，主要为国际半导体设备厂商供货 [9] - 内资头部企业如富创精密、新莱应材、江丰电子等在各自细分领域已建立初步竞争力，但在高端产品精度、可靠性及认证周期方面与国际领先企业仍有差距 [9] - 竞争焦点正从单纯的产品量产转向原创技术研发和模块化解决方案供应 [3] 代表企业分析 - **富创精密**：产品包括机械及机电零组件（腔体、内衬、匀气盘等）、气体传输系统（气柜、气体管路等）[10]；2025年上半年营业总收入17.24亿元，其中机械及机电零组件占68.56%，气体传输系统占28.92% [10] - **江丰电子**：业务包括超高纯金属溅射靶材和半导体精密零部件，零部件产品覆盖PVD、CVD、刻蚀、离子注入及产业机器人等领域 [12]；2025年上半年营业总收入20.95亿元，其中精密零部件业务收入4.59亿元，占总收入的21.90% [12] 发展趋势 - **国产替代从单点突破走向系统性渗透**：从机械类等单一品类突破转向全品类协同替代，头部晶圆厂和设备厂推行“国产优先”采购策略，联合搭建测试线以缩短验证周期，并针对射频电源、静电吸盘等高端品类集中攻关，推动替代从成熟制程向先进制程延伸 [12] - **技术研发聚焦高精密与新材料适配**：研发重心集中在提升加工精度（如适配EUV光刻的高精度光学部件）和新材料研发应用（如特种陶瓷、高纯石英、碳化硅涂层等），以适配更小制程及Chiplet、GAA晶体管等新架构 [13] - **产业链协同与产业集群效应强化**：上下游通过共建联合实验室、共享测试平台等方式形成更高效联动，长三角、珠三角等产业聚集区通过整合资源、吸引企业入驻，进一步降低研发和生产成本 [14] - **智能化与绿色化成为重要发展方向**：智能化方面，AI技术将融入零部件监测与智能控制；绿色化方面，行业将优化制造工艺以降低能耗排放，并研发如节能型真空泵等低能耗产品 [15][16] 政策环境 - 国家将半导体产业自主可控列为战略目标，近年来相继出台一系列政策支持、鼓励和规范半导体产业发展，半导体设备零部件作为重要配套也受到众多产业政策的支持 [4]

| 姓名 | 离任职务 | 离任时间 | | 原定任期 | | | 离任原因 | 是否继续在上 市公司及其控 | 是否存在未 履行完毕的 | | --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- | | | | | | 到期日 | | | | | | | | | | | | 股子公司任职 | 公开承诺 | | | | | 齐雷 | 董事、提名 | 2025 年 12 | | 2026年10 | | | 个人原因 | 否 | 否 | | | 委员会委员 | 月 30 | 日 | 月 24 日 | | | | | | 证券代码：688409 证券简称：富创精密 公告编号：2026-001 沈阳富创精密设备股份有限公司 关于公司董事离任的公告 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述 或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。 重要内容提示： 沈阳富创精密设备股份有限公司（以下简称"公司"）董事会于近日收到非 独立董事齐雷先生提交的辞职函，因其个人工作原因，申请辞去公司第二届董事 会非独立董事、第二届董事 ...

（记者 王瀚黎） 每经头条（nbdtoutiao）——2025十大财经新闻出炉！护航、酣战、变局、狂飙分别指向哪些大事件？ 每经AI快讯，富创精密12月31日晚间发布公告称，沈阳富创精密设备股份有限公司董事会于近日收到 非独立董事齐雷先生提交的辞职函，因其个人工作原因，申请辞去公司第二届董事会非独立董事、第二 届董事会提名委员会委员职务。该辞职函自送达公司董事会之日起生效，辞任后齐雷先生不再担任公司 的任何职务。 ...

南财智讯12月31日电，富创精密公告，公司董事会于近日收到非独立董事齐雷先生提交的辞职函，因其 个人工作原因，申请辞去公司第二届董事会非独立董事、第二届董事会提名委员会委员职务。该辞职函 自送达公司董事会之日起生效，辞任后齐雷先生不再担任公司的任何职务。 ...

沈阳富创精密设备股份有限公司 简式权益变动报告书 三、依据《证券法》《收购办法》《准则 15 号》规定，本报告书已全面覆盖 信息披露义务人在沈阳富创精密设备股份有限公司（以下简称"富创精密"或"公 司"）中拥有权益的股份变动情况。 截至本报告书签署日，除本报告书披露的信息外，信息披露义务人没有通 过任何其他方式增加或减少其在富创精密拥有权益的股份。 四、本次权益变动是根据本报告书所载明的资料进行的。信息披露义务人 没有委托或者授权其他任何人提供未在本报告书中列载的信息和对本报告书做 出任何解释或者说明。 五、信息披露义务人承诺本报告书不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗 漏，并对其真实性、准确性、完整性承担个别和连带的法律责任。 2 签署日期：2025年12月30日 上市公司名称： 沈阳富创精密设备股份有限公司 股票上市地点： 上海证券交易所 股票简称： 富创精密 股票代码： 688409.SH 信息披露义务人： 泰州祥浦创业投资基金合伙企业（有限合伙） 住所及通讯地址： 泰兴市黄桥经济开发区胜利路兴业标房D幢115室 股份变动性质： 股份减少（询价转让） 信息披露义务人声明 一、信息披露义务人根据《中华人民共 ...

股东询价转让结果报告书暨持股 5%以上股东权益变动 触及 5%整数倍的提示性公告 泰州祥浦创业投资基金合伙企业（有限合伙）（以下简称"转让方"）保证向沈 阳富创精密设备股份有限公司（以下简称"富创精密""本公司""公司"）提供的信息 内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其真实性、准确性和完 整性依法承担法律责任。 本公司及董事会全体成员保证本公告内容与信息披露义务人提供的信息一致。 重要内容提示: 证券代码：688409 证券简称：富创精密 公告编号：2025-089 沈阳富创精密设备股份有限公司 本次询价转让的价格为59.88元/股，转让的股票数量为9,186,323股。 公司实际控制人、董事及高级管理人员不参与本次询价转让。泰州祥浦 创业投资基金合伙企业（有限合伙）参与本次询价转让。 本次权益变动为股份减持。本次转让不会导致公司控股股东、实际控制 人发生变化。 本次权益变动后，泰州祥浦创业投资基金合伙企业（有限合伙）持有公 司股份比例由16.34%减少至13.34%，持有公司权益比例变动触及 5%的整数倍。 一、 转让方情况 (一)转让方基本情况 本次询价转让的出让方非公司控股股东、实际控 ...

中信证券股份有限公司 关于沈阳富创精密设备股份有限公司 股东向特定机构投资者询价转让股份的核查报告 本次拟询价转让股数上限为 9,186,323 股，受让方获配后，本次询价转让情况如下： | 泰州祥浦创业投资基金合 | 9,186,323 | 3.00% | 18.36% | 首发前股份 | | --- | --- | --- | --- | --- | | 转让股东名称 伙企业（有限合伙） | 转让股份数量（股） | 占总股本比例 | 占所持股份比例 | 转让股份来源 | 上海证券交易所： 中信证券股份有限公司（以下简称"中信证券"或"组织券商"）受委托担任泰州 祥浦创业投资基金合伙企业（有限合伙）（以下简称"转让方"）以向特定机构投资者 询价转让（以下简称"询价转让"）方式减持所持有的沈阳富创精密设备股份有限公司 （以下简称"公司"或"富创精密"）首次公开发行前已发行股份的组织券商。 经核查，中信证券就本次询价转让的股东、受让方是否符合《上海证券交易所科创 板上市公司自律监管指引第 4 号——询价转让和配售（2025 年 3 月修订）》（以下简 称"《询价转让和配售指引》"）要求，本次询价转让的询价、转让 ...

南财智讯12月30日电，富创精密公告，泰州祥浦创业投资基金合伙企业（有限合伙）通过询价转让方式 减持公司股份918.63万股，占公司总股本的3.00%。本次权益变动后，该基金持有公司股份数量从 50,039,984股减少至40,853,661股，持股比例由16.34%下降至13.34%。本次权益变动已完成，不触及公 司控股股东或实际控制人，未导致公司控制权发生变化。截至本报告书签署日，信息披露义务人所持股 份均为无限售条件流通股，无质押、冻结等权利限制情形。 ...

股东询价转让定价情况 - 股东泰州祥浦创业投资基金合伙企业（有限合伙）计划进行询价转让，并保证所提供信息真实、准确、完整 [1] - 根据2025年12月26日的询价申购情况，初步确定的转让价格为59.88元/股 [3][4] - 参与本次询价转让报价的机构投资者家数为29家，涵盖了基金管理公司、证券公司、合格境外机构投资者、私募基金管理人、保险机构等专业机构投资者 [4] - 本次询价转让拟转让股份已获全额认购，初步确定受让方为29家机构投资者，拟受让股份总数为9,186,323股 [4] 转让影响与后续 - 本次询价转让不涉及公司控制权变更，不会影响公司治理结构和持续经营 [6] - 本次询价转让的受让方及受让股数仅为初步结果，最终结果以中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理结果为准 [5]

股东询价转让定价情况 - 公司股东询价转让的最终定价确定为每股59.88元 [1] - 本次询价转让的股份已获得全额认购 [1] - 初步确定的受让方为29家机构投资者 [1] - 拟转让的股份总数为9,186,323股 [1]