股价表现与资金流向 - 9月29日盘中股价上涨2.02%至16.68元/股 成交额1.11亿元 换手率4.60% 总市值30.69亿元 [1] - 主力资金净流出867.93万元 其中特大单买入134.22万元(占比1.21%) 卖出485.46万元(占比4.38%) 大单买入1312.78万元(占比11.84%) 卖出1829.47万元(占比16.51%) [1] - 今年以来股价累计上涨20.00% 近5日下跌1.88% 近20日上涨4.58% 近60日上涨11.65% [1] 公司基本情况 - 公司位于山东省青岛市崂山区 成立于1994年12月13日 于2019年7月23日上市 [2] - 主营业务为臭氧产生机理研究、臭氧设备设计与制造、臭氧应用工程方案设计与系统设备安装维护 [2] - 收入构成：大型臭氧发生器系统设备及配套45.02% 乙醛酸及其副产品40.94% 配件及其他11.27% 其他(补充)2.77% [2] 行业分类与股东结构 - 所属申万行业为环保-环保设备Ⅱ-环保设备Ⅲ 概念板块包括光刻胶、先进封装、半导体设备、热泵概念、半导体等 [2] - 截至9月19日股东户数2.03万户 较上期增加5.40% 人均流通股7236股 较上期减少5.12% [2] 财务表现 - 2025年1-6月实现营业收入2.59亿元 同比增长22.99% 归母净利润-988.17万元 同比增长59.97% [2] - A股上市后累计派现4966.66万元 近三年累计派现368.03万元 [3] 市场交易特征 - 今年以来1次登上龙虎榜 最近一次为3月28日 当日龙虎榜净买入-5413.27万元 [1] - 3月28日龙虎榜买入总计5485.03万元(占总成交额6.15%) 卖出总计1.09亿元(占总成交额12.22%) [1]

股价表现 - 9月29日盘中股价118.55元/股 较前上涨2.02% 总市值381.25亿元 成交额3.06亿元 换手率1.05% [1] - 今年以来股价累计上涨35.41% 近5个交易日涨21.58% 近20日涨15.29% 近60日涨40.51% [1] - 主力资金净流出420.71万元 特大单买入1272.76万元(占比4.16%) 卖出2825.93万元(占比9.25%) 大单买入8234.55万元(占比26.94%) 卖出7102.09万元(占比23.24%) [1] 财务数据 - 2025年上半年营业收入7.02亿元 同比增长51.39% [2] - 归母净利润-1835.43万元 同比改善73.01% [2] - 检测设备贡献主营业务收入60.72% 量测设备占比36.40% 服务及其他业务占2.88% [1] 股东结构 - 股东户数9774户 较上期减少11.83% 人均流通股25403股 较上期增加15.34% [2] - 诺安成长混合A(320007)为第二大流通股东 持股1345.33万股 持股数量未发生变化 [3] - 嘉实上证科创板芯片ETF(588200)新进第九大流通股东 持股531.31万股 [3] - 银华集成电路混合A(013840)增持92.74万股至519.50万股 位列第十大流通股东 [3] - 东方人工智能主题混合A(005844)退出十大流通股东行列 [3] 公司基本信息 - 公司位于广东省深圳市龙华区 2014年12月31日成立 2023年5月19日上市 [1] - 主营业务为检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售 [1] - 所属申万行业为电子-半导体-半导体设备 概念板块包括先进封装、半导体设备、中芯国际概念、集成电路等 [1] - A股上市后累计派发现金分红4480万元 [3]

股价表现与交易数据 - 9月29日盘中股价上涨2.03%至140.99元/股 成交额1.46亿元 换手率0.52% 总市值284.27亿元[1] - 主力资金净流入573.53万元 其中特大单净买入196.45万元(买入401.54万元/卖出205.09万元) 大单净买入377.08万元(买入3157.00万元/卖出2779.92万元)[1] - 年内股价累计上涨68.81% 近5/20/60日分别上涨9.48%/10.32%/30.43%[2] 公司基本面 - 主营业务为半导体专用设备研发生产销售 收入构成：光刻工序涂胶显影设备59.86% 单片式湿法设备36.76% 其他业务2.51% 其它设备0.86%[2] - 2025年上半年营业收入7.09亿元 同比增长2.24% 归母净利润1592.42万元 同比大幅下降79.09%[2] - A股上市后累计派现1.39亿元 近三年累计分红8689.45万元[3] 股东结构变化 - 股东户数1.38万户 较上期减少22.36% 人均流通股14,549股 较上期增加29.00%[2] - 十大流通股东出现显著变动：诺安成长混合A新进持股516.26万股(第三大股东) 香港中央结算有限公司新进持股250.59万股(第十大股东)[3] - 银华集成电路混合A减持13.53万股至441万股(第四大股东) 南方信息创新混合A减持35.16万股至359.26万股(第六大股东) 东方人工智能主题混合A减持95.63万股至292.35万股(第九大股东)[3] - 嘉实上证科创板芯片ETF增持34.64万股至381.69万股(第五大股东) 前海开源公用事业股票退出十大股东行列[3] 行业属性 - 所属申万行业分类为电子-半导体-半导体设备[2] - 概念板块覆盖光刻胶、华为海思、先进封装、半导体设备及光刻机等领域[2]

股价表现与交易数据 - 9月26日盘中股价下跌2.12%至205.01元/股 成交额5.56亿元 换手率1.96% 总市值277.86亿元 [1] - 主力资金净流入1310.96万元 特大单买入占比10.62% 大单买入占比27.78% [1] - 年内累计涨幅达97.60% 近5/20/60日分别上涨9.28%/18.49%/47.26% [1] 财务业绩表现 - 2025年上半年营业收入5.34亿元 同比增长40.99% [2] - 同期归母净利润1.96亿元 同比增长74.04% [2] 股东结构变化 - 股东户数7015户 较上期减少10.56% [2] - 人均流通股19320股 较上期增加11.88% [2] - 香港中央结算持股884.41万股 较上期增持404.41万股 [3] - 嘉实上证科创板芯片ETF持股192.75万股 增持16.96万股 [3] - 易方达积极成长混合新进成为第九大股东 持股163.88万股 [3] 公司基本概况 - 主营业务为半导体自动化测试系统研发生产销售 测试系统收入占比85.72% [1] - 属于半导体设备行业 涉及集成电路、芯片概念等板块 [1] - A股上市后累计派现5.65亿元 近三年累计派现3.36亿元 [3]

股价表现与交易数据 - 9月26日盘中下跌2.07%至18.47元/股 成交额5.62亿元 换手率3.21% 总市值171.89亿元[1] - 主力资金净流出1320.81万元 特大单净卖出2829.12万元（买入2766.36万元占比4.92% 卖出5595.48万元占比9.96%）[1] - 年内累计上涨26.70% 近5/20/60日分别上涨9.03%、18.47%、38.17%[1] 主营业务结构 - 房产销售占比48.34% 专用设备制造占比41.44% 物业服务占比6.14% 房产租赁占比2.58%[1] - 主营业务覆盖集成电路和光伏领域核心装备及房地产[1] - 行业分类属于房地产开发-住宅开发 概念板块包括半导体设备/中芯国际/大基金/半导体/OLED[1] 股东结构与机构持仓 - 股东户数5.06万户 较上期减少5.44% 人均流通股18,394股 较上期增加5.76%[2] - 南方信息创新混合A增持551.23万股至1446.70万股（第四大股东） 香港中央结算增持70.60万股至1046.30万股（第五大股东）[3] - 南方中证房地产ETF增持22.87万股至829.93万股（第七大股东） 南方中证1000ETF增持114.44万股至601.86万股（第九大股东）[3] - 华夏中证1000ETF新进354.70万股成为第十大股东[3] 财务业绩表现 - 2025年上半年营业收入6.99亿元 同比增长247.76%[2] - 归母净利润4080.62万元 同比增长157.63%[2] 分红历史记录 - A股上市后累计派现25.46亿元[3] - 近三年累计派现2.12亿元[3]

投资评级 - 维持"买入"评级 对应2025年9月24日收盘价PE为76倍、58倍、48倍 [5][9] 核心观点 - 公司发布2025年限制性股票激励计划 授予382.76万股限制性股票（占股本总额0.83%） 授予价格24.30元/股 覆盖420名核心人才（占2024年末员工总数28%） 深度绑定技术与管理团队 [1] - 业绩考核目标为2025-2027年净利率不低于10% 或半导体新签订单年化复合增长率不低于35% 彰显公司对半导体设备业务的信心 [2] - 预计2025-2028年期权成本摊销费用分别为902万元、4915万元、2176万元、753万元 虽短期影响净利润 但长期提升团队稳定性与经营价值 [2] 半导体设备业务 - ALD设备覆盖先进工艺：为国内领先ALD设备商 产品涵盖主流ALD薄膜材料及工艺 首台量产型High-k ALD设备突破28nm制程节点High-k栅氧层工艺 技术覆盖HKMG、柱状电容器、金属化薄膜沉积及高深宽比3D NAND/DRAM/TSV等工艺 应用场景包括逻辑芯片、存储芯片、先进封装、化合物半导体和新型显示 [3] - CVD设备多领域突破：PECVD设备从高端材料（高温硬掩模已获批量订单）向通用材料（SiO₂、SiN、SiON、a-Si等）扩展 目标覆盖全温阈、全化学源、全应用场景 LPCVD设备已实现SiGe、poly-Si、doped a-Si工艺产业化并获重复订单 [4] 光伏设备业务 - 为国内光伏ALD设备龙头 首家将ALD技术规模化应用于光伏电池生产 技术覆盖TOPCon、XBC、钙钛矿等高效电池 已开发XBC整线解决方案 钙钛矿板式ALD设备进入产业化应用 受益于新技术迭代与行业反内卷趋势 [8] 新兴领域布局 - ALD技术拓展至柔性电子（卷对卷设备已产业化）、MEMS、催化及光学器件等领域 新能源领域正在研发批量式粉末ALD沉积设备及材料改性设备 旨在提升镀膜厚度控制、包覆率与均匀性 目前处于开发阶段 [8] 财务预测 - 预计2025-2027年营收分别为27.48亿元、30.95亿元、34.32亿元（同比增长1.8%、12.6%、10.9%） 归母净利润分别为3.48亿元、4.59亿元、5.46亿元（同比增长53.4%、31.9%、19.1%） 每股收益分别为0.75元、0.99元、1.19元 [9] - 毛利率预计维持在37%-40%区间 净利率从2024年8.4%提升至2027年15.9% ROE从2024年8.7%升至2027年13.5% [9] 市场表现与估值 - 截至报告日收盘价57.40元 总市值264.70亿元 总股本4.61亿股 [5] - 当前估值对应2025年PE 76倍 2026年PE 58倍 2027年PE 48倍 [9]

股价表现与交易数据 - 9月25日盘中股价下跌2.04%至16.80元/股 成交额2.19亿元 换手率8.74% 总市值30.91亿元 [1] - 主力资金净流出1093.85万元 特大单买入占比4.70%卖出占比3.61% 大单买入占比20.65%卖出占比26.72% [1] - 今年以来股价累计上涨20.86% 近5日/20日/60日分别上涨3.58%/5.26%/8.81% [1] 公司基本面概况 - 主营业务为臭氧设备系统(45.02%)和乙醛酸及副产品(40.94%) 配件及其他占比11.27% [2] - 2025年上半年营业收入2.59亿元 同比增长22.99% 归母净利润-988.17万元 同比减亏59.97% [2] - A股上市后累计派现4966.66万元 近三年累计派现368.03万元 [3] 市场参与情况 - 今年以来1次登上龙虎榜 最近3月28日净卖出5413.27万元 买入额占比6.15% 卖出额占比12.22% [1] - 截至9月10日股东户数1.92万户 较上期微降0.04% 人均流通股7627股 微增0.04% [2] 行业属性与概念板块 - 属于环保设备Ⅲ行业 概念板块涵盖光刻胶/先进封装/半导体设备/热泵/半导体等 [2]

ETF市场表现 - 智能网联汽车ETF(159872)大幅上涨10.02% [1] - 油气资源ETF(159309)显著上涨8.86% [1] - 油气资源ETF(563150)上涨4.96% [1] - 通信ETF广发(159507)下跌3.0% [1] - 半导体设备ETF(561980)下跌2.53% [1] - 消费ETF沪港深(517550)下跌2.03% [1]

核心竞争优势 - 核心技术为材料的自主研发 通过弹簧钢热处理工艺提升材料性能 实现汽车弹簧高应力 抗疲劳和轻量化 [2] - 自制材料产能不足 正在南京加速扩建材料产能以优化制造成本 [3] 发展战略规划 - 聚焦主业 强化主营业务核心地位 对现有产品进行轻量化和智能化改造升级 [2] - 重点拓展海外市场及阀类和异形弹簧业务 优化产品结构 走向全球化 [2] - 考虑将阀类及异形弹簧产品整合成为单独的事业部 [3] 人形机器人业务 - 持续送样并有小批量订单 目前体量很小 不对公司业绩产生影响 [2] - 由销售总监主导拓展 暂不成立专门团队 [3] 财务表现预期 - 2024年下半年产能释放较多 且2024年全年业绩基数较高 增速相较往年有所放缓 [3] - 汽车零部件行业存在普遍年降压力 通过技术工艺改造实现生产流程降本增效 [3] 其他投资情况 - 控股股东浙江华纬控股有限公司投资了半导体设备公司 公司不便代表回答具体情况 [3]

核心观点 - 报告核心观点为A股市场在2025年9月24日呈现普涨格局，主要指数多数收涨，市场成交活跃，科技成长板块如半导体、新能源等表现尤为突出[1][2] 市场回顾：指数表现 - 沪指涨0.83%，收报3853.64点[1] - 深证成指涨1.80%，收报13356.14点[1] - 科创50指数涨3.49%，收报1456.47点[1] - 创业板指涨2.28%，收报3185.57点[1] - 全市场4457只个股上涨，852只个股下跌，120只个股收平，呈现涨多跌少格局[1] - 沪深两市成交额合计23268亿元，较上个交易日缩量1675.98亿元[1] 市场回顾：行业表现 - 申万一级行业中除银行、煤炭、通信下跌外，其余全部上涨[1] - 电力设备、电子、传媒、计算机、房地产、机械设备等行业涨幅靠前[1] 市场回顾：概念板块表现 - 涨幅居前概念板块集中于半导体产业链（半导体硅片、半导体设备、晶圆产业、半导体材料、中芯国际产业链、半导体精选、先进封装、半导体产业、国家大基金、存储器、HBM）和新能源电池（BC电池、锂电电解液、TOPcon电池）等领域[2] - 工业气体板块亦涨幅居前[2]