半导体设备行业研究关键要点 行业与公司 * 行业为半导体设备及零部件行业 公司包括拓荆科技 华创 中微公司 中科飞测 精测电子 长川科技 金海通 华峰测控 北方华创 维导纳米等[1][2][15] 核心观点与论据 * 地缘政治紧张和许可证限制加速中国半导体设备 材料和零部件的自主可控进程 半导体设备板块估值合理 值得重点关注[1][3] * 光刻机是半导体设备中最关键的子领域 国内正处于从0到1的突破阶段 但高端DUV和EUV光刻机进口受阻 国产替代需求迫切[1][5] * 国内薄膜沉积和刻蚀技术发展较好 拓荆科技在CVD领域表现突出 华创在PVD领域领先 中微公司和华创在刻蚀领域实现了较成功的国产替代 自主可控水平较高[1][6][7] * 检量测设备国产化率较低 不超过15% 中科飞测 精测电子等公司虽有突破 但大规模放量仍需时日[1][8] * 后道测试与分选设备如长川科技 金海通 华峰测控已取得突破 并且盈利能力强[1][9] * 半导体设备行业关注点在于光刻机国产突破和下游先进逻辑与存储扩产[1][10] * 国内晶圆代工厂成熟制程投资稳定 先进制程（AI算力芯片）需求旺盛但供给不足 受限于核心光刻机设备被禁[11][12] * 存储领域NAND和DRAM扩产动力强劲 长鑫存储三期扩产预计将带来数百亿人民币的国产设备需求 长川产能约13万片 占全球8% 预计明年全球占比提升至15% 即24万片 需要约9万片扩产 对应700-900亿人民币设备投资空间 DRAM尤其是HBM需求迫切 推动相关封装生产[1][13] * 半导体设备零部件国产化相对滞后 国产化率仍然偏低 但其分散性高 对美国依赖度较低 市场具有小批量 多品种 定制化和多样化的特点 随着中美关系变化 国产化需求显现[2][14][16][17] * 建议关注平台型公司（北方华创 中微公司 拓荆科技）和特色公司（中科飞测 精测电子） 以及光刻机相关企业 具体零部件类型建议关注管道 阀门 陶瓷件 机械加工件以及喷淋头等[2][15][18] 其他重要内容 * 半导体设备是一个全球市场规模超千亿美元的大行业 细分领域包括光刻机 薄膜沉积 刻蚀 检量测 清洗和去胶等 其中光刻机 薄膜沉积和刻蚀设备是前道三大主设备 价值量排名前三[4] * 全球光刻机领军者是ASML 其DUV使用193纳米或248纳米光源 可实现7纳米制程 EUV使用13.5纳米光源 适用于3纳米及以下制程 尼康和佳能市占率较低[5] * 维导纳米专注于ALD 并逐渐涉足CVD[6] * 刻蚀技术包括CCP和ICP 中微公司最初专注于CCP现在也涉足ICP 华创则从ICP扩展至CCP[7] * 美国撤销了一些中国境内晶圆厂的许可证 加大了国外企业在中国生产芯片的难度[3] * 国内企业如寒武纪 海光信息 华为升腾等订单充足 英伟达产品在国内拓展受阻[12]

半导体设备板块近期表现 - 半导体设备指数3日累计上涨16.85% 9月22日至24日分别上涨1.95%、5.49%、8.65% [1] - 9月10日至24日板块大涨逾33% 近3个月上涨51.57% 年内涨幅达58.73% [2][5] - 9月24日多只主题ETF涨幅超9% 其中国泰半导体设备ETF涨9.55% 易方达涨9.44% 万家涨9.4% [1] 股价表现突出的个股 - 长川科技、北方华创、盛美上海等个股单日涨幅均超10% [1] - 中芯国际和北方华创等龙头企业股价创历史新高 [1] 上涨驱动因素 - 长江存储三期公司注册成立 标志扩产启动 半导体设备国产化率有望提升 [2] - 存储芯片价格涨幅超预期 推动全球存储芯片产能扩张 [2] - 工博会光刻机展示对市场情绪产生催化作用 [2] - 板块存在补涨需求 8月算力行情中芯片设计公司上涨后 设备材料环节迎来补涨 [3] 估值水平与资金动向 - 半导体设备ETF标的指数PETTM为89.45x 处于上市以来73.04%分位 [4] - 板块被机构视为第四季度胜负手 在AI大趋势中估值相对偏低 [4] 短期回调分析 - 9月25日半导体设备指数回调1.22% 因短期涨幅过大积累获利盘 [4][6] - 回调属于技术性修正 板块进入严重超买区间后存在调整压力 [6] 长期成长逻辑 - 2025年中国大陆晶圆厂设备投资预计连续四年保持300亿美元高位 [6] - 国产化率持续提升+资本开支扩张构成核心驱动 [6] - 半导体设备国产化率持续提高 在国产算力及自主可控驱动下发展趋势明确 [6] 细分领域机会 - AI芯片发展带来封测设备新需求 包括高性能SoC测试机和存储测试机 [8] - 2.5D/3D HBM封装技术需要先进封装设备和键合设备支撑 [8] - 刻蚀设备用量和重要性因光刻多重图案化等技术趋势显著提升 [8] - SoC、HBM、电源管理芯片测试设备及服务器主板级测试设备需求将快速增长 [8] 产业进展与政策支持 - 国产设备交付取得重大突破 政策层面持续加码 [7] - 大基金三期首投锁定设备领域 为设备企业发展提供支持 [7] - 半导体设备环节呈现量价齐升态势 [7]

会议安排 - 2025年9月8日董事会审议通过召开股东大会议案[7] - 9月9日公告召开股东大会通知[8] - 9月25日14:30现场会议召开，由董事长主持[9] 参会情况 - 现场7名股东及代理人，代表股份223,608,658股，占比35.4672%[11] - 网络568名股东，代表股份45,600,310股，占比7.2328%[11] - 合计575名，代表股份269,208,968股，占比42.7000%[11] 议案表决 - 审议《关于变更董事及专门委员会委员的议案》[13] - 议案同意269,034,168股，占比99.9351%[16] - 议案获通过，表决合法有效[17][18]

股东大会信息 - 2025年第二次临时股东大会于9月25日14:30召开[2] - 出席会议股东及代表共575人，代表股份269,208,968股，占比42.7000%[4] 议案表决情况 - 《关于变更董事及专门委员会委员的议案》同意269,034,168股，占比99.9351%[8] - 中小股东对该议案同意45,475,110股，占比99.6171%[9] 合法性说明 - 律师认为股东大会召集、召开及表决等事宜均合法有效[10]

个股振幅 - 今日A股共有9只个股振幅超过20% [1] - N建发致新振幅达205.67% [1] - N锦华 N联合动力等个股振幅居前 [1] 个股换手率 - 今日A股共有23只个股换手率超过30% [1] - N锦华 N建发致新 N联合动力等个股换手率居前 [1] 主力资金流向 - 主力资金净流入计算机 电力设备 传媒 通信 有色金属等板块 [1] - 主力资金净流出电子 机械设备 基础化工 家用电器 国防军工等板块 [1] - 浪潮信息净流入17.77亿元 新易盛净流入12.83亿元 华工科技净流入11.73亿元 宁德时代净流入11.15亿元 C联合动净流入10.66亿元 [1] - 胜宏科技净流出16.20亿元 和而泰净流出9.29亿元 先导智能净流出7.80亿元 长川科技净流出7.49亿元 立讯精密净流出7.43亿元 [1]

股价表现与交易异常 - 公司股价在9月25日开盘后一度冲至99.5元创历史新高 年内累计涨幅超过120% [1] - 股价随后快速回落 一度下跌4.07%至92.4元 [1] - 公司股票交易价格连续两个交易日收盘价格涨幅偏离值累计超过30% 属于异常波动情况 [1] 股东减持情况 - 股东长川投资通过集中竞价及大宗交易方式合计减持1122万股 占公司总股本1.7796% [1] - 减持时间段为2025年8月25日至2025年9月24日 减持比例达到公司总股本1.00% [1] - 本次减持计划已实施完成 减持股份总数未超过计划约定数量 [1] 公司经营状况 - 公司目前生产经营正常 内外部环境未发生重大变化 [1]

减持计划实施情况 - 公司实际控制人一致行动人杭州长川投资管理合伙企业通过集中竞价及大宗交易方式完成减持计划 累计减持11,219,977股 占总股本比例1.7796% 未超过原计划11,220,000股上限 [1][2] - 减持实施时间为2025年8月25日至9月24日 通过集中竞价减持4,186,700股(8月25-27日及9月24日) 通过大宗交易减持7,033,277股(9月23-24日) [2][4] 股东减持明细 - 集中竞价减持均价从50.94元/股至96.32元/股 其中8月27日减持1,723,300股均价59.59元/股 9月24日减持151,400股均价96.32元/股 [4] - 大宗交易减持均价分别为69.00元/股(9月23日减持2,296,477股)和80.00元/股(9月24日减持2,736,800股) [4] 减持金额与股价表现 - 长川投资累计套现7.15亿元 其中9月23-24日通过大宗交易套现3.92亿元 [2] - 公司股价在减持期间出现显著波动 9月23日及24日连续涨停 涨幅均为20% [2][4] - 因连续两个交易日收盘价格涨幅偏离值累计超过30% 公司触发深圳证券交易所创业板交易异常波动情形 [4] 股东关系说明 - 杭州长川投资管理合伙企业为实际控制人赵轶之一致行动人 由赵轶之配偶徐昕控制的企业 [2] - 除已披露的减持计划外 控股股东及实际控制人在股价异常波动期间无其他股票买卖行为 [5]

业绩预告概况 - 5家创业板公司公布前三季业绩预告 全部为预增类型 [1] 公司业绩表现 - 长川科技预计净利润增幅中值达138.39% 最新收盘价96.32元 年内涨幅118.75% 属于电子行业 [1] - 中泰股份预计净利润增幅中值为79.28% 最新收盘价21.85元 年内涨幅83.52% 属于公用事业 [1] - N联合预计净利润增幅中值为44.16% 属于汽车行业 [1] - N建发预计净利润增幅中值为35.00% 属于医药生物行业 [1] - 艾芬达预计净利润增幅中值为14.72% 最新收盘价55.40元 年内跌幅25.91% 属于轻工制造行业 [1]

行业融资净买入情况 - 电子行业获融资净买入额居首 当日净买入11095百万元 [1] - 电力设备 机械设备 房地产 传媒 通信等行业获融资净买入金额均超400百万元 [1] - 申万31个一级行业中有17个行业获融资净买入 [1] 个股融资净买入情况 - 1729只个股获融资净买入 其中148股净买入金额超5000万元 [1] - 14股获融资净买入额超300百万元 [1] - 立讯精密获融资净买入额居首 净买入1461百万元 [1] - 融资净买入金额居前个股包括中芯国际 海光信息 宁德时代 新易盛 张江高科 长川科技 兆易创新 阳光电源等 [1]

股价表现 - 9月23日股价大涨20% 9月24日再次20%涨停 两个交易日累计涨幅达44% [2] - 每股股价攀升至96.32元 刷新上市以来新高 市值突破600亿元 [3] 股东减持 - 持股5%以上股东长川投资计划减持不超过1122万股 占总股本比例1.7796% [5] - 通过大宗交易减持229.65万股 均价69元/股 另减持273.68万股 均价80元/股 通过集中竞价减持15.14万股 均价96.32元/股 [6] - 减持计划实施完毕 控股股东及实际控制人在异动期间无其他股票买卖行为 [6] 业绩预告 - 预计2025年前三季度归母净利润8.27亿元至8.77亿元 同比增长131.39%至145.38% [7] - 第三季度归母净利润4亿元至4.5亿元 同比增长180.67%至215.75% [7] - 半导体行业需求持续增长 客户需求旺盛 产品订单充裕 销售收入同比大幅增长 [7] 行业背景 - 半导体设备产业近期备受关注 A股相关企业股价上涨明显 [6] - 公司主要从事集成电路专用设备研发、生产和销售 属于国家高新技术企业和软件企业 [6]