Workflow
材料汇
icon
搜索文档
60页PPT详解固态电池技术路线及产业化进展
材料汇· 2025-05-30 15:35
固态电池技术概述 - 固态电池使用固态电解质替代传统锂电池的电解液和隔膜,突破能量密度上限(理论500+Wh/kg)并解决安全隐患 [4] - 正极材料可沿用磷酸铁锂/三元等,负极从硅系逐步过渡到锂金属,包装采用铝塑膜 [4] - 与传统液态电池相比,固态电池工作温度范围更广(-30℃至150℃),热稳定性提升300%以上 [5][16] 技术路线对比 - 液态电池能量密度<300Wh/kg,热极限140-180℃;半固态达400Wh/kg,热极限>180℃;全固态>500Wh/kg,热稳定>300℃ [7] - 半固态电池液体含量<10%,兼容现有产线;全固态无需隔膜,可匹配高容量电极材料 [8] - 氧化物电解质离子电导率3×10⁻⁴至8.5×10⁻⁴ S/cm,石榴石型LLZO稳定性最佳 [27] 材料创新 - 正极材料中富锂锰基理论容量>300mAh/g,电压平台4.5V,但循环性能差制约商业化 [9][10] - 硅碳负极比容量达3590mAh/g,锂金属负极达3860mAh/g,但存在体积膨胀问题 [12] - 采用锂金属负极的固态电池能量密度可达383Wh/kg,较传统石墨负极提升66% [13][14] 生产工艺 - 半固态电池需调整隔膜参数(孔径更大/强度更高),采用湿法+涂覆工艺 [60] - 全固态电池成膜工艺包括湿法/干法/气相沉积,干法工艺成本低但膜厚较大 [62] - 固态电池省去注液等环节可降本34%,高安全性减少PACK成本9% [36] 应用场景 - 智己L6搭载固态电池实现-30℃下90%容量保持率,续航超1000km [21] - eVTOL领域要求电池能量密度2030年达500Wh/kg,功率密度1.25kW/kg [109][113] - 人形机器人需高倍率(>5C)电池支持瞬时动作,循环寿命要求>1000次 [121] 产业化进展 - 中国规划2026年实现400Wh/kg固态电池量产,2030年普及600Wh/kg产品 [75][77] - 宁德时代凝聚态电池能量密度500Wh/kg,比亚迪计划2027年全固态装车 [72][75] - 全球首座GWh级固态电池工厂由辉能科技建成,设计产能2GWh [72]
【内部培训】如何构建你的知识体系(新材料篇)?
材料汇· 2025-05-30 15:35
知识体系构建 - 知识体系由大量知识点组成有序结构,需通过广度积累和深度框架建立[12][19] - 知识体系金字塔包含隐性知识、跨界能力、行动力、模型等层级[14] - 爱因斯坦司机故事说明知识应用比单纯记忆更重要[16] 思维模型 - 多元思维模型整合历史学/心理学/经济学等跨学科工具[24] - 系统思维需避免"只见树木不见森林"的片面视角[26][30] - 结构化思维可采用金字塔原理组织信息[39][41] 行业研究方法 - 产业链分析需梳理上游原材料到下游终端产品的价值流向[51][52] - PESTEL模型涵盖政策/经济/社会/技术/环境/法律六维度[57][58] - 波特五力模型分析供应商/客户/竞争者/替代品/新进入者[63][64] - 商业模式画布包含价值主张/客户关系/核心资源等9要素[69] 行业生命周期 - 分幼稚期/成长期/成熟期/衰退期四阶段特征[59] - 新材料领域显示不同细分技术处于各生命周期阶段[62] - 幼稚期适合风险投资,成熟期可获稳定回报[59] 数据获取渠道 - 包括金融机构报告/咨询公司分析/行业论坛/企业课件等[49] - 需结合展会论坛和从业者交流获取一手信息[46][47] 分析框架工具 - 麦肯锡七步法/5W2H/SWOT等9种常用方法论[50] - 价值链分析区分基础活动与支持性活动[53][54] - SWOT矩阵组合内部能力与外部环境制定策略[71][72]
更多报告
材料汇· 2025-05-28 14:44
更多报告可前往 知识星球-材料汇(1000+份报告) ,链接如下: https://t.zsxq.com/WNpPc 或者扫一扫一下二维码 期待-江湖有你 一直在路上,所以停下脚步,只在于分享 1、 记得关注"材料汇" (左下角) ,以可以接收更多 有价值的文章 。 2、记得添加小编微信 (长按 or 扫描下图二维码) ,小编亦是 新材料达人 。还有更多惊喜等着你 (报告下载or审核后入群) 。 (小编微信二维码) 3、 您的支持与鼓励,是小编最大的动力 。请记得 分享给身边朋友or朋友圈, 让更多人关注 材料汇 。 4 、材料汇 是小编的个人业余爱好 , 小编 本职是专注新材料领域投资 ,有 融资需求 朋友欢迎加小编微信 。 感谢看完 小编期待遇见 志同道合的 你!!! ...
光刻机:半导体技术之巅,国产替代空间广阔(附10+报告1000页+)
材料汇· 2025-05-28 14:23
光刻机行业概述 - 光刻机是集成电路制造中最核心、最复杂的工艺设备,决定了晶体管的最小特征尺寸及密度,工艺费用占制造成本1/3,耗时占比40%-50% [2] - 光刻机技术壁垒极高,由光源系统、光学系统、工件台/掩模台系统等十余种子系统构成,光学系统要求原子级别平坦度(如Zeiss EUV反射镜)[3][13] - 全球市场由ASML(91.4%高端份额)、Nikon、Canon垄断,2024年三大巨头出货683台,销售额264亿美元,其中EUV单台均价超1.9亿欧元(+11% YoY)[20][25][26] 技术发展路线 - 光源波长从436nm(g-line)演进至13.5nm(EUV),当前ASML湿法DUV NA达1.35,EUV正从0.33NA向0.55NA突破 [8][9] - 技术代际分为5代:UV(g/i-line)→DUV(KrF/ArF)→EUV,浸没式ArF可支持7nm制程,EUV成本过高但为7nm以下必需 [9][43] - EUV光源功率需达250瓦,采用激光等离子体技术(LPP),光线经多层反射后仅剩5%能量,工作环境需真空 [46][47][52] 市场格局与需求 - 2024年中国占ASML销售额36%(90亿欧元),对应84.6亿美元市场,国内半导体设备市场规模超2000亿元,光刻设备占20% [4][26] - AI驱动高端光刻需求:EUV曝光次数将从2025年5次/芯片增至2030年25-30次,DRAM领域EUV支出CAGR达15-25% [35][38] - i-line/KrF等中低端机型仍占出货量36%(2024年Canon出货233台),国产替代空间显著 [22][23] 国产化进展 - 上海微电子可量产90nm ArF光刻机,28nm浸没式研发中,长光所实现32nm线宽EUV曝光 [39][40] - 国产化率仅2.5%,2023年进口光刻机225台(87.5亿美元),但紫外光刻机(RegularUV)已国产,深紫外(DeepUV)加速产业化 [4][40] - 关键部件突破:科益虹源完成60W ArF光源,福晶科技供应KBFF晶体,茂莱光学开发248nm照明系统光学器件 [54][67][68] 产业链投资机会 - 核心环节:激光光源(科益虹源)、物镜系统(北京博鲁斯潘机床)、双工作台(磁浮平面电机技术)[56][61][64] - 光学元件:茂莱光学(DUV器件)、波长光电(平行光源系统)、腾景科技(合分束器试样)[66][67][70] - 精密零部件:富创精密(7nm以下制程零部件)、汇成真空(掩模版镀膜设备)[75][76] 技术挑战与趋势 - EUV反射镜需0.05nm表面粗糙度,ASML依赖蔡司多层镀膜技术(40层介质层,误差<0.05nm)[48][49] - 高NA(0.55)物镜加工依赖五轴机床+离子束抛光,国内ULTR-700VG机床通过检测 [56] - AI/汽车电子推动需求:2030年汽车半导体市场预计1120亿美元(2025年700亿美元)[33][36]
未来产业:超导材料在可控核聚变的应用及相关企业(附19页PPT)
材料汇· 2025-05-28 14:23
超导材料概述 - 超导材料具有零电阻、完全抗磁性等宏观量子现象,在电力能源、医疗装备、交通运输等领域有重要应用价值 [2] - 全球低温超导材料占比超导材料超9成,高温超导当前受限于技术,市场应用占比较小,但随着超导线缆、可控核聚变等发展,预计高温超导市场份额将逐步扩大 [2] - 超导材料应用可分为强电应用、弱电应用以及量子应用,也可分为高温超导和低温超导应用 [2] 超导材料分类 - 按照临界温度,超导体分为低温超导体(临界温度低于-248℃至-243℃)和高温超导体(高于该温度) [3] - ITER项目中心螺管、纵场线圈采用Nb3Sn超导材料,极向场、校正场线圈采用NbTi低温超导材料 [3] - 新一代核聚变装置(如美国CFS公司的SPARC托卡马克装置)考虑采用高温超导材料,以降低运行成本和提高系统效率 [3] 超导材料应用 - 超导材料在可控核聚变中用于超导磁体,ITER中磁体部分所占成本高达28% [2] - 国内核聚变创业公司星环聚能和能量奇点的磁体系统均采用高温超导材料加工建造 [3] - 高温超导可以工作在更高温区,有更高热惯性,鲁棒性更强,适合复杂恶劣环境 [3] 超导材料产业链 - 上游原材料主要包括Bi、Ba、La、Sm、Y等金属元素的氧化物 [7] - 中游包括BSCCO线材带材薄膜、YBCO带材薄膜、铁基带材、MgB2线材等的加工 [7] - 下游应用包括电力能源、医疗设备、交通运输、国防军事等 [8] 超导材料核心工艺 - 超导线材通过绕制超导线圈制成超导磁体,需经过线材性能评价、磁体设计及烧制等流程 [11] - MgB2线材制备工艺主要包括粉末装管法和中心镁扩散法,粉末装管技术可分为原位法和先位法 [11] 超导材料特性 - 超导材料具有绝对零电阻、完全抗磁性、磁通量子化等物理特性,适用于需要突破传统功能材料电磁能力极限的地方 [17] - 超导材料在磁约束可控核聚变中用于提升磁场强度,聚变功率与磁场强度的四次方成正比 [17] 低温超导应用 - NbTi低温超导线图技术成熟,应用于加速器、核磁共振、人体医学成像等领域 [22] - Nb3Sn主要应用在9T@4.2K以上的超导磁体中,市场份额远小于NbTi [22] 高温超导应用 - 第一代高温超导带材成本高,第二代ReBCO带材有望大幅降低生产成本,商业前景广阔 [22] - ReBCO带材在16T@4.2K以上超导磁体系统研制中发展潜力巨大 [22] ITER超导磁体系统 - ITER磁体系统由环向场线圈、极向场线圈、校正线圈及中心螺管组成 [23] - 环向场线圈采用Nb3Sn超导材料,极向场、校正场线圈采用NbTi低温超导材料 [23] 高温超导磁体创新 - SPARC采用稀土领铜氧化物高温超导材料制成的磁体,局部磁场强度达20T,远超ITER的5.3T [35] - 能量奇点自主研制的"洪荒70"是全球唯一一台全高温超导材质建造的托卡马克 [36] 国内超导企业 - 联创光电突破了大口径制冷机直接冷却高温超导磁体技术,正在研发20K温区6T以上YBCO制冷机直接冷却超导磁体 [48] - 精达股份通过投资上海超导科技,涉足高温超导带材生产,服务于全球核聚变研究群体及商业核聚变开发公司 [48] - 永鼎股份子公司东部超导是国内高温超导带材头部企业,产品应用于超导感应加热、可控核聚变磁体等领域 [49] - 西部超导开发出核聚变用NbTi超导线材工程化生产技术,生产出最大长度达9万米的多芯NbTi超导线材 [49]
一张PPT看懂汽车玻璃在智能化浪潮下的新机遇
材料汇· 2025-05-27 15:12
汽车玻璃行业核心观点 - 汽车玻璃是具备持续升级能力的优质零部件赛道,其收入增长主要受四大因素驱动:全球汽车销量及保有量、市场份额、单车面积、单平米价格[3][4] - 电动智能化趋势推动汽车玻璃功能持续升级,从基础遮风挡雨延伸至隔热/隔音/可加热/调光/天线等复合功能[7][8] - 全景天幕玻璃因美观性和性价比优势快速渗透,2024年国内乘用车渗透率达14%,新能源车渗透率超30%[19][24][26] - 前挡风玻璃因HUD技术升级价值显著提升,W-HUD前挡价值量达500元,AR-HUD达1000元[11][30] - 智能调光玻璃在高端车型加速应用,主流技术方案包括PDLC/SPD/EC三种,单车价值可达3000+元[42][46] 产品升级路径 前挡风玻璃 - HUD技术推动前挡风ASP从200元提升至500-1000元,W-HUD当前主流,AR-HUD逐步渗透[11][30] - 2023年国内前装HUD渗透率突破10%,预计2027年将超45%[33] - 需采用楔形PVB夹层或反射膜层解决重影问题[29] 天窗玻璃 - 演进路径:无天窗→小天窗→全景天窗→天幕玻璃[20] - 天幕玻璃面积达0.5-1.0㎡,基础价值700元,镀膜/调光版本可达1500-3000元[11][21] - 特斯拉/蔚来/比亚迪等主流新能源车型均已采用[23] 边窗玻璃 - 传统边窗ASP约200元,升级为双层/夹层后可达400-800元[11] - 升级方向包括隔音/隔热/隐私/憎水等功能[34][35] - 小米SU7搭载福耀UV-IR超隔绝门玻,红外透射比仅13%[38] 智能化创新方向 智能调光技术 - 可实现透光率动态调节,解决天幕玻璃遮阳问题[40] - 蔚来ET7等车型采用EC技术,选配价格9500元[46] - 从天幕向边窗渗透,问界M9后排隐私玻璃选配价2万元[41] 玻璃天线 - 将天线集成于玻璃,支持5G/800Mbps高速传输[48][50] - 福耀开发印刷/夹丝/镀膜/TAGA四种天线方案[49] 玻璃显示 - 两种实现路径:集成Micro LED或投影显示[53] - 友达/大陆等厂商已推出车窗投影解决方案[51] 市场数据表现 - 福耀高附加值产品占比2024年提升5.02个百分点,单平米价格达229.11元(2012年131.06元)[13][16] - 国内汽玻单车ASP从2013年593元增至2024年908元,预计2027年达1314元[55] - 前挡风ASP贡献最大增量,2024年达272元(2013年200元)[55] - 天窗ASP增速最快,从2013年43元增至2024年241元[55]
科睿迅:半导体核心材料国产化领军者,开启PVA Brush领域新篇章
材料汇· 2025-05-27 15:12
核心技术突破 - 公司自主研发的半导体级PVA清洗刷填补国内空白,成为首家实现CMP后清洗晶圆刷国产化的企业[2][3] - PVA清洗刷采用多孔发泡工艺,具备高效清洁、超高洁净度和耐化学性三大优势,性能全面对标海外竞品[4] - 产品已通过国内头部Fab厂验证,覆盖12英寸晶圆清洗需求,关键指标超越国际竞品[4] 产能建设 - 2024年9月南通经开区年产20万支PVA清洗刷项目落成,是国内首条量产线,一期规划年产9万支[5][6] - 工厂采用百级洁净室标准,颗粒脱落量低于0.01ppb,使用寿命超5000次清洗循环,适配28nm以上制程[6] - 2025年4月实现单釜单批次300支满负荷稳定运行,产能快速爬坡满足市场需求[9] 资本与技术 - 2024年上半年完成500万元天使轮融资,2025年引入头部产业资金,重点投入产线建设和产品迭代[12][13] - 核心团队拥有30年PVA产品开发经验,已形成从材料研发到量产的完整技术闭环[13] - 正在申报10余项专利,未来将持续布局半导体清洗器件领域[13] 行业价值 - 2025年全球先进封装市场规模预计达850亿美元,公司产品助力Fab厂降本增效[16] - 国产化打破100%进口依赖,提升供应链安全性,保障芯片制造连续性[6][16] - 通过与国内设备厂商联合开发,推动半导体清洗工艺自主创新[16] 未来规划 - 以半导体清洗刷为起点,向高端PVA材料多元化应用延伸[18] - 计划2025年前完成全国主要Fab厂覆盖,并逐步进军国际市场[18] - 目标成为全球半导体材料领域的重要参与者[18]
培训资料:如何做研究与投资?从四个逻辑分析几个大类行业
材料汇· 2025-05-26 14:10
研究与投资方法论 - 时间管理是研究工作的核心资产,应聚焦大问题、大方向、大概率事件,把握产业与企业宏观趋势[3] - 研究需在正确路径上持续积累,建立科学方法论并优化思维框架,避免在错误方向消耗精力[4] - 分析框架应包含四个维度:宏观逻辑(社会思潮/政经关系)、产业逻辑(核心驱动因素)、业务逻辑(战略布局)、财务逻辑(经营验证)[5][6] - 把握产业本质需识别三类特征:经济学属性(如水电行业类似杠杆利率产品)、核心驱动要素(如消费品的产品力)、关键拐点变化(如TMT流量红利结束)[7][8] - 企业评估三维模型:时间维度(商业模式持久性)、空间维度(规模经济边界)、人的维度(企业家精神与治理结构)[9][10][11] 行业分析框架 消费品行业 - 人口红利消失导致大单品增长时代终结,结构升级与品类创新成为主要机会[12] - 消费者主导权增强,厂商需建立高效互动机制,利用IT技术实现精准营销与供应链优化[12] - 品牌价值分化加剧,优质产品力更易获得市场份额,渠道价值被压缩[13] 服务业 - 体验消费占比提升符合人均GDP增长规律,服务与产品融合趋势显著[14] - 关键指标包括:付费用户数、续单率/流失率、ARPU值、客户推荐率(NPS)[15] - 传统服务业呈线性增长,互联网服务业呈现指数级增长与赢者通吃特征[17] 制造业 - 中国制造业仍具全球竞争力,工程师红利与本土市场优势支撑升级[18] - 技术变革推动非标品规模化(如定制家具),突破"规模是敌人"的传统限制[19] - 评估重点:产能扩张的边际利润率、长期竞争力(核心技术/品牌溢价)[19] TMT行业 - 技术进步导致行业集中度加速提升,技术路径选择错误成本极高[21] - 财务特征非线性:研发型企业体现为"人员费用→收入→利润"滞后链条[22] - 当前处于技术曲线转换期,需关注AI/AR/VR等下一代终端形态创新[21] 研究流程与能力建设 - 研究三环节:归纳(信息结构化)、演绎(假设构建)、实证(验证假设)[24][25] - 优秀研究员三大特质:求知欲(无压力驱动力)、诚实(纠错能力)、独立(原创思维)[26][27][28][29][30] - 能力培养需1万小时专业训练,资深者需保持"经验清零"心态应对技术变革[31] - 日常工作建议:建立专家智慧圈(每个领域3名专家)、广泛跨学科阅读、构建个性化研究体系[33][34][35][36] - 文档管理采用结构化EXCEL底稿,持续沉淀研究数据便于复盘[37] 时间分配与机会把握 - 70-80%精力投入重要问题,用排除法筛选标的(如长期趋势向下/团队无变革的行业)[39][40] - 深度研究5家公司的价值远高于泛泛研究20家公司,确定性比覆盖率更重要[41][42] - 机会选择标准:代表社会经济发展方向的关键变化,不追求全覆盖但避免重大遗漏[43] - 估值判断应基于长期自由现金流贴现,而非静态PE/PB指标[45] - 新机会发掘源于持续产业交流与前瞻性阅读,非被动等待[46][47]
机器人腱绳深度:市场空间、发展趋势、产业链及公司
材料汇· 2025-05-26 14:10
灵巧手传动技术 - 灵巧手是人形机器人不可或缺的部位,机械传动机构的选择对其性能至关重要,决定了机械设计复杂度、成本、传动效率和可靠性 [4] - 主要传动方式包括腱绳传动、连杆传动和齿轮/蜗轮蜗杆传动 [4] - 腱绳传动通过模拟人体肌腱牵引机制,使用高强度材料传递动力,显著提升灵巧手的轻量化与灵活度 [6] - 齿轮/蜗轮蜗杆传动在工业机器人中应用广泛,能获得稳定传动比,传递效率高、可靠性强,但重量和惯性较大 [6] - 连杆传动多用于工业和商业用途,能够抓取大型物体且结构设计紧凑,但远距离控制困难 [6] 腱绳传动方案 - 主流腱绳传动方案包括N型、N+1型和2N型三种 [8] - N型传动方案驱动器数目最少,能降低驱动系统整体尺寸和电气系统复杂度,但需要预紧装置 [8] - N+1型传动方案腱绳数目最少,但单个腱绳与驱动单元负载较大 [10] - 2N型传动方案承载能力强、动态特性好,但所需驱动单元数目较多 [10] - 特斯拉Optimus灵巧手从第一代"腱绳+蜗轮蜗杆"传动发展到第三代"行星齿轮箱+丝杠+腱绳"结构,自由度从11个提升至22个 [25] 腱绳材料 - 腱绳材料分为不锈钢和高分子纤维两大类,高分子纤维使用更为广泛 [11] - 超高分子量聚乙烯纤维(UHMWPE)是目前世界上工业化的比强度和比模量最高的纤维 [46] - UHMWPE纤维强度是优质钢材的15倍、玻璃和尼龙66的4倍、碳纤维的2.6倍、芳纶纤维的1.7倍 [14] - PBO纤维具有超高强度、超高模量、耐高温和高环境稳定性特点,被称为"21世纪超级纤维" [58] - 钢丝绳具有良好的耐磨性与抗疲劳性,但灵活度与耐腐蚀性相对较差 [72] 市场空间 - 人形机器人远期市场规模可达10万亿级别 [33] - 1000万台人形机器人出货对应腱绳市场规模达352亿元 [34] - 22自由度灵巧手需要88根腱绳,按40元/根测算,单机价值量约3520元 [34] - 人形机器人发展分为5个能力等级,从Lv1基础能力到Lv5全面具身智能 [32] - 2028、2035、2040、2045年,我国人形机器人将陆续进入Lv2-Lv5阶段 [33] 产业链分析 - 上游为超高分子量聚乙烯纤维粉料、高强度钢丝等核心原材料 [39] - 中游为腱绳制造与集成,涉及纤维编织、表面处理、传动结构设计 [39] - 下游主要应用于人形机器人灵巧手、手术机器人及工业柔性抓取等领域 [39] - UHMWPE粉料2023年全球产能约41.4万吨/年,亚洲占57.9% [41] - 中国2023年UHMWPE纤维需求量达3.4万吨,占全球需求的61%以上 [47] 相关公司 - 南山智尚3600吨超高分子量聚乙烯纤维项目全线建成运营,产品规格覆盖100D至2400D全品类纤维 [82] - 大业股份开发直径0.1mm级超细钢丝绳,适配手术机器人及Optimus第二代腱绳方案 [86] - 恒辉安防规划新增12,000吨超高分子量聚乙烯纤维产能,一期4,800吨预计2025年9月投产 [88] - 同益中拥有UHMWPE纤维产能约8560吨,航天科工四足机器人"绝影"采用其军用级腱绳 [91] - 联混新科2万吨/年UHMWPE装置已产出高端隔膜料、纤维料等5个牌号产品 [93] 发展趋势 - 改进生产工艺和优化纤维结构,提升腱绳材料强度和弹性 [97] - 采用新型涂层技术、复合材料研发,增强耐磨性和耐腐蚀性 [97] - 研发更轻量化腱绳材料,提高设备运行效率和便携性 [97] - 结合纳米技术和功能化改性,赋予抗菌防霉能力 [97] - 研发具有智能感知功能的腱绳材料,实现实时监测和智能调控 [97]
一份PPT带你看懂光刻胶分类、工艺、成分以及光刻胶市场和痛点
材料汇· 2025-05-25 14:37
光刻胶分类与特性 - 光刻胶按化学反应原理分为正性光刻胶和负性光刻胶 [3] - 正性光刻胶受光照射后发生分解反应,可溶于显影液,具有分辨率高、对比度好的优点,但粘附性差、抗刻蚀能力差且成本高 [3] - 负性光刻胶曝光后形成交联网格结构,在显影液中不可溶,具有良好粘附能力和抗刻蚀能力,感光速度快,但显影时易发生变形影响分辨率 [3] - 按显示效果分类,正性光刻胶形成的图形与掩膜版相同,负性光刻胶形成的图形与光罩相反 [7] - 正胶曝光后溶解度是未曝光时的10倍,在IC制造中应用更普遍 [8] 光刻胶成分与反应机理 - 正胶主要成分包括树脂、光引发剂等 [11] - 树脂成分为酚醛树脂,由对甲酚与甲醛缩合而成 [12] - 光引发反应中重氮萘醌(DQ)在光照下分解生成茚羧酸(ICA) [21] - DQ与树脂反应后改变溶解性,曝光区域在碱性显影液中溶解度提高 [24] - 负胶按感光性树脂化学结构分为聚肉桂酸酯类和聚烃类-双叠氮类 [40] - 聚肉桂酸酯类通过侧链肉桂酰基团二聚反应交联 [43] - 聚烃类-双叠氮类需交联剂参与形成三维不溶结构 [48] 光刻胶工艺流程 - 光刻胶工艺步骤包括基底清洗、表面处理、旋涂、对准曝光、显影等 [54] - 预处理阶段使用HMDS作为粘附促进剂,需正确使用蒸汽沉积方法 [66][67] - 旋涂工艺中转速与膜厚关系密切,4000rpm是薄胶常用参考点 [77] - 前烘温度和时间对正胶和负胶的显影效果有显著影响 [88][90] - 显影液选择需考虑与光刻胶兼容性、金属离子含量等因素 [102][105] 半导体光刻胶市场格局 - 光刻胶占晶圆制造成本约12% [161] - 全球市场被JSR、东京应化、杜邦等海外企业垄断 [164] - 国内企业如彤程新材、晶瑞电材等在g/i线和KrF胶有所突破,但高端ArF和EUV胶仍依赖进口 [165] - 发展痛点包括光刻机限售、原材料垄断和上下游强绑定等 [171][174][176]