半导体设备零部件行业概述 - 半导体设备零部件是半导体产业的核心基石，直接影响设备性能、质量及产业链自主可控性 [3][4] - 零部件按功能可分为机械加工件、物料传送类、电气类、真空类、气液输送类、光学类、热管理类等 [5][6][7][8][9] - 精密机加件（如腔体、机械手）为定制化产品，通用外购件（如阀门、密封圈）需通过双重认证，技术壁垒较高 [5] 细分零部件技术特点 - **机械加工类**：ESC静电吸盘需满足陶瓷材料导热性、耐磨性及精密加工要求 [6] - **物料传送类**：机械手臂需耐高温、耐磨材料，适应真空环境搬运晶圆 [6] - **电气类**：射频电源要求供电平稳，传感器涵盖压力、温度等多种类型 [7] - **真空类**：真空泵技术难点包括气体动力学设计、微米级精密加工等 [7] - **光学类**：光栅、激光源等对光学性能要求极高，用于光刻机等设备 [9] 行业增长驱动因素 - 2024年全球半导体设备销售额预计达1170亿美元，同比增长10% [10] - 2025年Q1全球半导体设备出货金额同比增长21%至320.5亿美元 [10] - 国内厂商北方华创Q1营收同比增长37.9%，盛美上海净利润同比大增207.21% [11] 国产化与市场需求 - 国内晶圆厂扩产推动设备零部件替换需求激增，本地化配套需求迫切 [11] - 国产设备技术突破降低外部依赖，形成技术与市场双重提升 [12] - 零部件企业如富创精密海外营收占比达30.25%，同比增长48.98% [15] 资本动态与企业出海 - 富创精密、先锋精科等登陆科创板，蓝动精密获A+轮数千万元融资 [13][14] - 托伦斯精密完成亿元C轮融资，聚焦刻蚀、薄膜沉积设备零部件 [14] - 企业通过并购（如富创投资Compart Systems）及海外建厂（江丰电子韩国基地）拓展市场 [15]

科创板政策与行业动向 - 上交所联合有关部门在全国重点省市及科技企业聚集地举办科创板改革"1+6"政策宣介会，旨在推动政策落地见效并提升支持地方经济和科技创新的效能 [1] - 股权投资机构对"1+6"政策反响积极，认为其将促进"科技-产业-资本"良性循环，增强科技型企业信心 [1] - 未盈利企业科创板IPO受理案例增加，第五套标准重启后首家IPO过会，彰显改革决心并稳定市场预期 [1] 科创板改革解读 - 科创板改革从"试验田"迈向"示范田"，2025年陆家嘴论坛发布的"1+6"政策助力科技自立自强和地方经济高质量发展 [2] - 上海、北京将发挥集成电路、生物医药、人工智能等产业集聚优势，推动典型案例落地 [2] - 科创板硬科技属性鲜明，聚焦电子芯片、生物医药、智能制造等先进制造业领域，科创信息ETF、科创芯片ETF等代表新质生产力方向 [2] 科创板行情回顾及资金流向 - 过去一周科创50指数下跌0.35%，科创生物板块大幅上涨 [3] - 今年以来科创生物板块收益28.21%，领先其他细分板块（科创50收益0.42%，科创芯片收益12.65%） [4] - 科创板前五大行业（电子、医药生物、计算机、电力设备、机械设备）合计占市值87.2% [4] - 当周科创板ETF资金净流入33.6亿元，但年初以来净流出165.7亿元 [4] 新一代信息技术产业 - 电子芯片行业受AI竞赛推动，Meta、微软、亚马逊等科技巨头今年计划投入3200亿美元于数据中心建设，较两年前增长超2倍 [5][6] - AI算力需求爆发带动服务器、AI芯片、光芯片等环节价值量提升 [5] - 科创信息指数权重股中，中芯国际（权重10.30%）、海光信息（9.26%）、寒武纪（8.85%）为前三大成分股，本周分别下跌1.24%、2.47%、6.50% [9][10] 高端装备制造业 - 1-5月挖掘机内销同比+25.7%，基建投资拉动效应显现，东南亚及非洲外需市场保持增长 [6] - 中央财经委会议提出加强海洋经济顶层设计，鼓励社会资本参与深海科技、智能舰艇等海洋装备领域 [6] - 需关注7月9日美国关税宽限期结束对工程机械、工具五金等出口链企业的影响 [6] 医药行业 - 国家医保局等发布《支持创新药高质量发展的若干措施》，构建创新药研发、准入、支付全链条支持体系 [7] - 2025年医保目录调整启动，首次纳入商业健康保险创新药品目录 [7] - 国家药监局发布十大举措支持高端医疗器械创新发展，聚焦医用机器人等新质生产力领域 [7] - 创新药板块大额BD交易频出，行情向整体板块扩散 [7] 科创板ETF产品 - 科创50ETF前三大权重股为中芯国际（10.38%）、海光信息（8.68%）、寒武纪（8.29%），本周分别下跌1.24%、2.47%、6.50% [12][13] - 科创芯片ETF前三大权重股为中芯国际（10.23%）、海光信息（10.17%）、寒武纪（9.61%），本周恒玄科技（-33.40%）、华海清科（-32.34%）跌幅显著 [15][16]

半导体设备技术突破 - 北方华创发布SICRIUS PY302系列12英寸低压化学气相硅沉积立式炉设备 攻克高深宽比结构填充、高平坦度薄膜生长和兼容低温工艺三大技术瓶颈 [2] - 北方华创在集成电路装备领域实现多项关键技术突破 包括电容耦合等离子体刻蚀设备(CCP)、原子层沉积设备(ALD)、高端单片清洗机等新产品 [4] - 中微公司高深宽比设备(等离子体刻蚀和金属薄膜沉积设备)已批量出货给国内先进存储客户产线 下一代超高深宽比设备有望取得领先市场份额 [8] 行业发展趋势 - 半导体行业处于复苏中期 呈现高端紧俏、中低端承压的结构性分化格局 [2] - 全球半导体设备市场规模预测上调 2025年从1040亿美元调升至1090亿美元(同比增长6%) 2026年预测1100亿美元 [4] - AI浪潮推动全球科技竞赛 中国大陆先进晶圆厂扩张和设备销售持续加速 [5] - 2025下半年行业将进入扩张期 本土芯片企业需把握高端制造、国产替代等结构性机会 [6] 国产半导体设备表现 - A股半导体设备板块2025年一季度营业收入同比增长32%至190.45亿元 归母净利润同比增长28%至27.82亿元 [3] - 长川科技预计上半年净利润增长68%-95% 屹唐股份预计中报利润增长24%-37% [3] - 公募基金持续加仓半导体设备股 北方华创、中微公司等进入二季度公募基金重仓股前列 [7] - 国产设备厂商在清洗、薄膜沉积、测试与封装等环节逐步实现突破 营收规模与研发投入稳步提升 [3] 市场需求与订单情况 - 北方华创预计2025年第二季度营收保持良好态势 全年业绩有望继续增长 [4] - 国内半导体设备公司新签订单保持旺盛增长 先进工艺订单较强 全年新签订单或超预期 [7] - 中微公司金属钨系列薄膜产品已取得批量订单并持续放量 多个新品验证进展顺利 [8] - 中国大陆晶圆厂产能增速持续领跑全球 高端设备国产化率提升趋势明确 [8]

指数表现 - 中证半导体材料设备主题指数(931743)上涨1 23% 成分股雅克科技(002409)上涨4 01% 至纯科技(603690)上涨3 76% 江丰电子(300666)上涨3 20% [3] - 半导体材料ETF(562590)上涨1 27% 最新价报1 11元 近2周累计上涨1 85% 涨幅排名可比基金2/5 [3] 流动性表现 - 半导体材料ETF盘中换手16 45% 成交5474 53万元 市场交投活跃 [3] - 近1年日均成交1732 44万元 排名可比基金前2 [3] 规模与份额 - 半导体材料ETF近1周规模增长411 30万元 新增规模位居可比基金1/5 [3] - 近1周份额增长800 00万份 新增份额位居可比基金1/5 [3] 跟踪精度 - 半导体材料ETF近2月跟踪误差为0 015% 在可比基金中跟踪精度最高 [3] 指数构成 - 中证半导体材料设备主题指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为样本 [4] - 前十大权重股合计占比62 78% 包括北方华创(16 44%) 中微公司(13 55%) 沪硅产业(5 61%)等 [4][6] 成分股表现 - 权重股中微公司(688012)上涨2 08% 沪硅产业(688126)上涨2 09% 南大光电(300346)上涨1 45% [6] - 雅克科技(002409)上涨4 01% 权重占比3 24% [6]

指数表现 - 中证数字经济主题指数(931582)上涨0 83%，成分股浪潮信息(000977)上涨3 76%，澜起科技(688008)上涨3 11%，紫光股份(000938)上涨2 69%，中微公司(688012)上涨2 14%，华润微(688396)上涨1 94% [1] - 数字经济ETF(560800)上涨0 53%，最新价报0 76元 [1] - 数字经济ETF盘中换手0 5%，成交373 61万元，近1年日均成交2350 79万元 [1] 规模与份额 - 数字经济ETF近3月规模增长3126 68万元，新增规模位居可比基金1/2 [1] - 数字经济ETF近1周份额增长800 00万份，新增份额位居可比基金1/2 [1] 行业动态 - 2025全球数字经济大会在北京召开，主题为"建设全球数字友好城市"，北京数字经济产业创新指数位居全国第一 [1] - 国家数据局介绍《"数据要素×"三年行动计划(2024-2026年）》成效及未来规划，中国人民银行将研究制定新阶段金融科技发展规划，深化金融数字化智能化转型 [2] 指数成分 - 中证数字经济主题指数前十大权重股合计占比51 3%，包括东方财富(300059)、中芯国际(688981)、北方华创(002371)、海光信息(688041)、寒武纪(688256)、汇川技术(300124)、科大讯飞(002230)、豪威集团(603501)、中科曙光(603019)、海康威视(002415) [2] - 东方财富权重8 12%，中芯国际权重6 58%，汇川技术权重5 49%，北方华创权重4 95%，海光信息权重4 85% [3] - 澜起科技(688008)权重3 31%，当日上涨3 11% [3]

报告行业投资评级 - 对中国晶圆厂设备（WFE）市场维持积极看法，对北方华创（002371.SZ）、中微公司（688012.SS）和ACM Research（ACMR.O）维持增持（OW）评级 [1][6] 报告的核心观点 - 因2025年下半年逻辑代工需求好于预期以及本地化需求推动的持续份额增长，看好中国WFE市场 [1] - 预计2025年下半年中国WFE需求强劲，逻辑代工将推动需求增长，进口数据可能改善 [2] - 中国WFE企业持续获得份额，产品组合不断扩大，有望获得更大市场份额 [4] - 尽管市场担忧成熟节点代工资本支出的可持续性，但政府追求本地化的意愿可能使该情况在2025年下半年得到缓解 [5] - 中国WFE将在2025年继续跑赢海外同行，领先企业有望通过丰富的产品组合和更先进的研发扩大市场份额 [6] 根据相关目录分别进行总结 中国WFE市场前景 - 2025年下半年和2026年上半年中国WFE市场前景乐观，因逻辑代工需求强劲和本地化趋势 [1] - 预计2025年下半年中国WFE需求旺盛，逻辑代工是主要驱动力，进口可能回升 [2] - 上调2025年中国WFE总可寻址市场（TAM）预测至403亿美元（同比下降3%），2026年预测至362亿美元（同比下降10%） [3] 中国WFE企业份额情况 - 2025年中国代工资本支出中约25%将用于国产WFE，高于2024年的20% [4] - 中国WFE企业不断拓展产品组合，有望获得更大市场份额 [4] 成熟节点产能情况 - 市场担忧中国成熟节点代工资本支出的可持续性，1 - 5月半导体设备进口同比下降4% [5] - 行业调查显示，至少在2025年下半年，政府追求本地化的意愿可能使经济因素退居其次 [5] 股票影响 - 预计2025年中国WFE将继续跑赢海外同行，领先企业有望扩大市场份额 [6] - 维持对北方华创、中微公司和ACM Research的增持评级，并相应上调目标价格 [6] 产能扩张情况 - 中国顶级代工厂如中芯国际和华虹半导体利用率高，正在继续建设新设施并扩大产能 [14] - 多家企业正在积极扩大中国内存产能，预计2025年HBM3e将有快速发展 [14] 进口情况 - 2025年5月中国半导体设备进口额为21亿美元，同比下降2%，三个月移动平均同比下降7% [21] - 1 - 5月中国半导体设备进口同比下降4%，来自日本、荷兰、新加坡和美国的进口均同比下降 [21] - 行业调查显示，设备进口可能从7月开始增加 [21] 中国WFE公司市场份额 - 展示了全球和中国半导体设备公司在不同工艺技术上的对比 [28] - 列出了中国半导体设备市场各设备类别的市场规模和中国供应商的市场份额 [29] 北方华创（002371.SZ） - 目标价格上调至408元，采用剩余收益模型估值 [35][55] - 看好其作为中国半导体设备本地化趋势的长期受益者，关键客户将继续积极扩产 [37] - 上调2025 - 2027年每股收益（EPS）估计，上调幅度分别为3%、5%和5% [51] 中微公司（688012.SS） - 目标价格上调至238元，采用剩余收益模型估值 [69][89] - 看好其新订单情况，认为其战略定位有利于受益于中国对国产蚀刻设备和沉积设备的需求 [75] - 上调2025 - 2027年EPS估计，上调幅度分别为3%、4%和4% [86] ACM Research（ACMR.O） - 目标价格上调至33.8美元，采用剩余收益模型估值 [101][124] - 看好2025年中国WFE需求，其长期收入目标为30亿美元，市场份额增长超预期 [107] - 上调2025、2026和2027年EPS估计，上调幅度分别为7%、9%和9% [120]

指数表现 - 上证国新科创板国企指数收盘上涨0 12% 报998 75点 成交额111 92亿元 [1] - 近一个月上涨3 35% 近三个月上涨1 34% 年至今上涨2 55% [1] - 指数以2022年12月30日为基日 以1000 0点为基点 [1] 指数构成 - 十大权重股分别为华海清科（5 89%）、华润微（5 17%）、中芯国际（4 98%）、海光信息（4 91%）、西部超导（4 87%）、华虹公司（4 68%）、中微公司（4 56%）、国盾量子（3 52%）、晶合集成（3 37%）、中科星图（3 04%） [1] - 持仓样本全部来自上海证券交易所 占比100 00% [1] 行业分布 - 信息技术占比54 75% 工业占比28 85% 原材料占比8 97% 通信服务占比5 12% 医药卫生占比2 32% [2] 指数调整规则 - 样本每半年调整一次 实施时间为每年6月和12月的第二个星期五的下一交易日 [2] - 权重因子随样本定期调整而调整 特殊情况下进行临时调整 [2] - 样本退市时从指数中剔除 公司发生收购合并分拆等情形参照细则处理 [2]

报告行业投资评级 - 看好（维持） [4] 报告的核心观点 - 国内先进存储和逻辑产能扩张有望带动半导体设备需求，面临地缘政治、关税波动和出口管制的不确定性，半导体设备行业有望加速国产化进程 [2] - 出口管制是国产化良机，25Q1中国大陆半导体设备市场下滑但国产设备厂商业绩高增，国产半导体设备行业有望加速国产化进程 [7] - 中国晶圆代工产业保持产能扩张趋势，相应设备的资本开支需求有望长期持续 [7] - 国内先进存储持续突破，国产设备有望深度受益 [7] - 多家国产设备厂展示业绩增长的良好信心，先进制程设备进展将是关键，国内头部半导体设备厂商在先进制程设备上持续突破，将充分受益于国内先进逻辑和存储产线的扩产 [7] 投资建议与投资标的 - 建议关注国内半导体设备行业，包括北方华创(002371，买入)、盛美上海(688082，买入)、拓荆科技(688072，买入)、中微公司(688012，买入)、芯源微(688037，买入)、万业企业(600641，增持)、华海清科(688120，未评级)、精智达(688627，未评级)、至纯科技(603690，未评级)、赛腾股份(603283，未评级)、精测电子(300567，买入)、中科飞测(688361，未评级) [2] 数据支撑 - 2025Q1中国大陆半导体制造设备销售额为102.6亿美元，环比下降14%，同比下降18% [7] - A股25Q1财报数据显示，半导体设备板块营收同比增长39%到189亿，归母净利润同比增长38%到28.0亿元，存货同比增长30%到647亿元 [7] - 2024年中国大陆以21%的全球代工产能份额位居第二，仅次于中国台湾（23%），Yole Group预测到2030年中国大陆在全球晶圆代工产能中的占比有望提升至30% [7] - 国内代工龙头中芯国际预计产能以每年5万片12英寸左右幅度增加，对应一年投资约75亿美元，其中八成用于购买设备 [7] - 盛美上海预计2025年营收将在65亿至71亿之间，即同比增长约16%到26%之间 [7]

报告公司投资评级 - 报告对公司的投资评级为“买进” [3][8][11] 报告的核心观点 - 伴随中美贸易摩擦升级，先进制程产能问题制约中国AI产业发展，预计2H25起中国政府会有更多资金、政策向先进制程倾斜，中国半导体产业有望迎来先进工艺扩张契机，公司作为国内半导体刻蚀设备领域龙头，竞争力提升，目前股价对应2025 - 27年PE分别为50倍、41倍和33倍，考虑中美科技纷争加剧，公司估值有提升空间，给予买进评级 [8] 根据相关目录分别进行总结 公司基本资讯 - 公司产业别为机械设备，2025年7月4日A股股价178.02元，上证指数3461.15，股价12个月高/低为256.99/115.5元，总发行股数62615万股，A股数62615万股，A股市值1114.66亿元，主要股东为上海创业投资有限公司，持股15.02%，每股净值32.27元，股价/账面净值5.52，一个月、三个月、一年股价涨跌分别为-1.1%、-4.8%、28.7% [2] 近期评等 - 2025年4月24日前日收盘187.35元，评等为买进；2024年9月25日前日收盘120.97元，评等为买进；产品组合中销售专用设备占比79%，销售备品备件占比19%，设备维护占比1% [3] 机构投资者占比 - 基金占流通A股比例22.4%，一般法人占比31.6% [4] 财务数据 - 2023 - 2027F年纯利分别为17.86亿元、16.16亿元、21.97亿元、26.83亿元、33.83亿元，同比增减分别为52.7%、 - 9.5%、36.0%、22.1%、26.1%；每股盈余分别为2.87元、2.60元、3.54元、4.32元、5.44元，同比增减与纯利一致；市盈率分别为62.0、68.5、50.3、41.2、32.7；股利分别为0元、0.3元、0.45元、0.55元、0.65元；股息率分别为0.00%、0.17%、0.25%、0.31%、0.37% [10] - 2023 - 2027F年营业收入分别为62.64亿元、90.65亿元、117.64亿元、142.32亿元、169.66亿元；经营成本分别为33.93亿元、53.43亿元、68.30亿元、84.05亿元、99.37亿元等 [14] - 2023 - 2027F年货币资金分别为70.90亿元、77.62亿元、83.61亿元、82.85亿元、91.35亿元；应收账款分别为11.65亿元、13.52亿元、15.28亿元、18.49亿元、23.85亿元等 [15] - 2023 - 2024年及2025F - 2027F年经营活动产生的现金流量净额分别为9.49亿元、9.49亿元、17.23亿元、22.33亿元、25.61亿元；投资活动产生的现金流量净额分别为 - 19.22亿元、 - 19.22亿元、 - 16.00亿元、 - 25.09亿元、 - 20.11亿元等 [16] 行业与公司发展趋势 - 2H25先进制程将是产业重点，美国施压使中国半导体产业关键设备及工具面临断供威胁，中国高阶GPU产品、存储产品需求缺口需先进制程填补，预计2H25起政府会有更多资金、政策向先进制程倾斜，公司作为国内核心半导体设备企业，在刻蚀、薄膜领域有技术储备，有望受益 [11] - 1Q25公司营收继续高速增长，实现营收21.7亿元，YOY增长35.4%；实现净利润3.1亿元，YOY增长25.7%，EPS0.5元；综合毛利率41.5%，较上年同期下降3.4个百分点；截止1Q25，合同负债30.7亿元，较上年末增加19%，订单增长良好且在手订单丰富；1Q25研发投入约6.9亿元，YOY增长91%，研发力度持续加强 [11] - 预计公司2025 - 2027年实现净利润22亿元、26.8亿元和33.8亿元，YOY分别增长36%、21%和19%，EPS分别为3.55元、4.32元和5.44元 [11]

2024年年度权益分派方案 - 每股现金红利0.30元，每10股派发现金红利3.00元（含税）[2] - 分配方案以权益分派股权登记日的公司A股总股本626,145,307股扣除回购专户股份2,096,273股后的624,049,034股为基数[3] - 合计拟派发现金红利187,214,710.20元（含税）[3] 差异化分红方案 - 差异化分红除权（息）参考价格计算公式为：前收盘价格-0.2990元/股[6] - 每股现金红利=（624,049,034股×0.30元）÷626,145,307股≈0.2990元[5] - 本次仅进行现金分红，不进行资本公积金转增股本，不送红股，流通股份变动比例为0[5] 分配实施细节 - 公司回购专用证券账户中的股份不参与利润分配[7] - 无限售条件流通股的红利委托中国结算上海分公司通过其资金清算系统向股权登记日收市后登记在册的股东派发[7] - 未办理指定交易的股东红利暂由中国结算上海分公司保管，待办理指定交易后再进行派发[7] 扣税说明 - 自然人股东和证券投资基金持股超过1年暂免征收个人所得税，每股实际派发现金红利0.30元[8] - QFII股东按10%税率代扣代缴企业所得税，实际派发现金红利为税后每股0.27元[9] - 沪股通投资者按10%税率代扣代缴所得税，实际派发现金红利为税后每股0.27元[10] - 其他法人股东及机构投资者自行缴纳所得税，实际派发现金红利为税前每股0.30元[10]