投资评级 - 维持"增持"评级 基于刻蚀设备优势夯实基本盘 薄膜与量测业务开辟新增量空间的判断 [4][6] 核心财务表现 - 2025H1实现营收49.61亿元 同比增长43.88% 归母净利润7.06亿元 同比增长36.62% [1] - 2025Q2单季营收27.87亿元 同比增长51.26% 环比增长28.25% 归母净利润3.93亿元 同比增长46.82% 环比增长25.47% [1] - 毛利率39.86% 同比下降1.46个百分点 归母净利率14.23% 同比下降0.76个百分点 主因新品导入初期成本偏高及大客户销售折扣 [2] - 研发费用率22.50% 同比增加6.04个百分点 体现持续高研发投入战略 [2] 刻蚀设备业务 - 刻蚀设备2025H1营收37.81亿元 同比增长约40% 累计装机量超4500台 同比新增900+台 [3] - 单反应台设备装机约1200台 双反应台设备装机约3300台 其中Primo HD-RIEe累计装机约120台 Primo UD-RIE累计装机约200台 [3] - 面向28nm及以下工艺推出Primo SD-RIE（可调节电极间距）、Primo Halona（晶边刻蚀）等新品 [3] - ICP设备累计装机1200余台 今年订单首次超过CCP 在逻辑、DRAM、3D NAND等领域实现规模化量产 [3] 薄膜与量测设备业务 - 薄膜设备已规划50余种机型中约40种的研发路径 预计未来3-5年逐步落地 [4] - EPI设备已运送产线 LPCVD设备（涵盖存储用三类钨沉积工艺）和ALD设备（TiN、TiAl、TaN）在客户产线稳定运行逾一年 [4] - LPCVD设备销售2025H1同比大幅增长608.19% 验证产业化与客户导入能力 [4] - 通过设立超微公司切入电子束检测领域 把握先进制程及先进封装产业机遇 [4] 盈利预测与估值 - 预计2025/2026/2027年归母净利润分别为22.56/31.63/43.05亿元 对应PE为59/42/31倍 [4] - 预计2025/2026/2027年营收分别为120.32/157.22/200.90亿元 同比增长32.73%/30.67%/27.79% [5] - 预计毛利率将从2024年的41.1%提升至2027年的43.8% 净利润率从17.8%提升至21.4% [14] - 净资产收益率预计从2024年的8.66%提升至2027年的15.19% [14]

投资评级 - 增持(维持) [2] 核心观点 - 公司2025年上半年收入7.02亿元，同比增长51.39%，归母净利润-0.18亿元，大幅减亏，新获政府补助125.40万元 [9] - 无图形晶圆缺陷检测设备累计交付超300台，覆盖超100家客户，第三代产品通过多家客户验证，第四代产品已出货至头部客户产线验证 [9] - 纳米图形晶圆缺陷检测设备完成明场和暗场样机研发，已小批量出货至头部客户产线，暗场设备获客户积极反馈，推动订单增长 [9] - 缺陷自动分类系统和光刻套刻分析反馈系统已在多家芯片制造商研发与量产环节应用，提升良率管控能力和套刻精度 [9] - 预计2025-2027年营业收入19.16/26.80/34.44亿元，归母净利润2.19/3.91/5.94亿元，对应PE 146.4/81.9/53.9倍 [9] 财务数据与预测 - 2023-2027年营业收入预测：8.91/13.80/19.16/26.80/34.44亿元，增长率74.9%/54.9%/38.8%/39.9%/28.5% [7][10] - 2023-2027年归母净利润预测：1.40/-0.12/2.19/3.91/5.94亿元，增长率1072.4%/-108.2%/—/78.7%/52.0% [7][10] - 2023-2027年EPS预测：0.49/-0.04/0.68/1.22/1.85元 [7][10] - 2023-2027年毛利率：47.8%/48.9%/53.4%/53.5%/52.7% [10] - 2023-2027年ROE：5.8%/-0.5%/8.3%/13.3%/17.6% [7][10] 业务进展 - 无图形晶圆缺陷检测设备技术性能优异，市占率持续提升 [9] - 纳米图形晶圆检测设备研发按计划推进，明场设备验证周期较长，暗场设备进展顺利 [9] - 分析及分类系统产品加速推广，配套软件产业链逐步完善 [9]

报告公司投资评级 - 维持“买入”评级 [7][9] 报告的核心观点 - 报告研究的具体公司在技术、客户、品牌等方面积累深厚，持续拓宽产品框架，产业化应用领域扩大，在手订单充足，成长性突出且确定 [9] - 预计2025 - 2027年公司归母净利润分别为9.5亿元、12.9亿元和16.7亿元，对应当前股价市盈率水平分别为46x、34x和26x [9] 根据相关目录分别进行总结 财务数据 - 2024年公司实现营业收入41.03亿元，同比增加51.70%；实现归母净利润6.88亿元，同比增加3.86% [2][4] - 2025Q1公司实现营收7.09亿元，同比增加50.22%；实现归母净利润 - 1.47亿元，同比减少1503.33% [2][4] - 2024年薄膜沉积设备、先进键合设备及配套量检测设备分别实现营收38.63亿元、0.96亿元，同比增速分别为 + 50.29%、 + 48.78% [9] - 2024年公司毛利率水平同比减少5.43pct至41.69%；2025Q1公司整体毛利率同比下降23.61pct至19.89% [9] - 截至2024年报告期末，公司在手订单金额约94亿元 [9] 业务发展 - 新机台确收节奏加快，在手订单饱满确保后续增长 [9] - 薄膜领域扩大覆盖面，键合产品持续完善布局，薄膜沉积设备客户端产线运行稳定性优异 [9] 股权激励 - 公司公布《2025年限制性股票激励计划（草案）》，拟向不超过1072人授予不超过126.7894万股限制性股票，约占股本总额的0.45%，授予价格为每股90元 [9] - 激励计划考核年度为2025 - 2026年，以2023年营收和归母净利润为基数，2025年和2026年公司营业收入目标分别约为50亿元、60亿元，归母净利润（未考虑股份支付费用影响）目标分别约为10.6亿元、12.6亿元 [9] 财务报表及预测指标 |项目|2024A|2025E|2026E|2027E| | ---- | ---- | ---- | ---- | ---- | |营业总收入（百万元）|4103|5769|7572|9206| |归母净利润（百万元）|688|954|1288|1675| |每股收益（元）|2.48|3.41|4.60|5.99| |市盈率|61.96|45.83|33.96|26.12| |市净率|8.10|7.02|5.82|4.76| |总资产收益率|4.5%|5.6%|6.2%|7.2%| |净资产收益率|13.0%|15.3%|17.1%|18.2%| |净利率|16.8%|16.5%|17.0%|18.2%| |资产负债率|65.4%|63.0%|63.6%|60.5%| |总资产周转率|0.32|0.36|0.40|0.42| [14]

收入增长 - 2024年公司实现收入41.03亿元，同比增长51.70% [1] - 2025年Q1收入7.09亿元，同比增长50.22% [1] - 薄膜沉积设备收入38.63亿元，同比增长50.29%，PECVD为核心产品且销售收入创历史新高 [1] - 键合设备收入0.96亿元，同比增长48.78%，晶圆对晶圆混合键合设备等获得重复订单 [1] 产品与技术进展 - ALD设备凭借工艺覆盖率领先优势，ALD SiCO、SiN、AlN等工艺设备获得重复订单并实现出货 [1] - HDPCVD系列产品通过客户端验证后逐步放量 [1] - SACVD系列产品持续拓展应用领域，量产规模扩大 [1] - Flowable CVD系列产品取得突破性进展，2024年实现首台产业化应用且复购设备通过验证 [1] - 新推出的键合套准精度量测设备及键合强度检测设备通过客户验证 [1] 利润与研发 - 2024年归母净利润6.88亿元，同比+3.86%，扣非归母净利润3.56亿元，同比+14.10% [2] - 2024年研发费用7.56亿元，同比增长31.26% [2] - 2024年毛利率41.69%，同比降低5.43pct，主要因新产品/新工艺收入占比提升且验证成本较高 [2] - 2025年Q1毛利率19.89%，同比-27.42pct，同样受新产品/新工艺影响 [2] 订单与未来收入 - 2024年末在手订单约94亿元 [2] - 2025年Q1末存货78.12亿元，同比增长39.18%，其中发出商品同比增长94% [2] - 2025年Q1合同负债37.52亿元，同比增长170.65%，显示在手订单饱满 [2] 盈利预测 - 预计2025-2027年收入为57.84/78.12/95.96亿元 [3] - 预计2025-2027年归母净利润为9.00/13.36/16.16亿元 [3] - 2025年PE为49X [3]