风险提示：本文提及的行业信息与企业动态仅作梳理，不构成任何投资建议；企业经营及市场波动存在 不确定性，请注意相关风险。 受积极影响的板块 光刻机核心零部件板块：作为光刻机国产化的核心环节，直接受益于技术突破与订单放量。雪球行业分 析指出，中瓷电子的精密陶瓷零部件已供货中微公司、北方华创等设备厂商，并进入头部晶圆厂供应 链，2025年国内精密陶瓷零部件市场规模约286亿元，公司有望凭借技术优势抢占市场份额。民生证券 2025年12月研报补充，波长光电的光学镜头、广立微的量测设备等均已切入国产光刻机供应链，随着整 机研发推进，零部件企业将率先兑现业绩。 半导体特种材料板块：光刻机的高精度运行依赖特种材料支撑，需求随设备产能扩张同步增长。豆丁网 行业报告显示，光刻机制造需用到高纯度特种气体、光刻胶、超硬材料等，其中高纯度气体纯度要求达 99.9999%以上。中船特气作为国内特种气体龙头，其产品已通过国产光刻机设备厂商验证，2025年相 关业务营收预计增长60%以上；炬光科技使用的超硬碳化钨材料也因光刻技术升级需求，市场规模将实 现快速扩张。 半导体设备配套板块：光刻机的生产与调试需要大量配套设备，形成协同增长效应。 ...

行业核心驱动因素 - 全球半导体行业进入复苏快车道，2025年上半年全球半导体市场规模达3460亿美元，同比增长18.9%，全年预计增长15.4%至7280亿美元 [3] - 半导体设备作为产业先行指标迎来爆发，SEMI预测2025年全球设备出货金额近1000亿美元，2026年将飙升至1381亿美元，连续三年增长，核心驱动力是AI与HBM带来的高性能需求 [3] - AI算力爆发、存储周期上行、国产替代提速形成“三重buff”叠加，半导体设备行业正站在业绩兑现的风口上 [2] 全球市场动态与扩产 - 海外存储大厂开启“扩产竞赛”，三星、SK海力士、美光三大存储原厂2025年资本开支同比增幅超80% [5] - SK海力士全年资本开支上调至203亿美元，重点布局HBM3E与3D DRAM [5] - 技术升级驱动设备需求“量价齐升”，泛林半导体测算，NAND堆叠层数从1yy层提升至5xx层，相关设备市场规模将增长1.8倍 [8] 国内市场与国产替代 - 中国大陆是全球最大单一半导体设备市场，2025年上半年市场规模达216.2亿美元，占全球33.2% [8] - 国内存储厂商扩产提速，长鑫存储完成IPO辅导，此前估值达1400亿元，长江存储三期项目注册资本207.2亿元，表明产能扩充加速 [8] - 国家集成电路产业投资基金三期注册资本3440亿元，重点支持设备和材料，深圳等地方政府出台专项政策支持国产设备 [8] - 核心设备国产化率仍处低位，替代空间巨大，例如光刻机国产化率不足1%，量测设备不足5%，刻蚀、薄膜沉积设备仅10-30% [11][12] 存储周期与设备需求 - AI大模型是存储需求的“超级发动机”，美光数据显示，AI服务器的DRAM容量是普通服务器的8倍，NAND容量是3倍，单台AI服务器存储需求高达2TB [9] - HBM已成为高端AI芯片标配，2024-2030年全球HBM收入CAGR达33%，未来在DRAM市场的份额有望突破50% [9] - 存储行业进入“量价齐升”超级周期，需求端受AI服务器、数据中心、消费电子复苏三重拉动，供给端海外原厂将产能向高毛利的HBM和Server DRAM倾斜 [9] - 国内存储芯片长期存在15-20%的贸易逆差，扩产紧迫性高，一条12英寸存储产线的设备投资超50亿美元，前道设备占比80%以上，设备采购规模有望超百亿美元 [9][11] 投资主线与公司机会 - **核心设备主线**：刻蚀、光刻、薄膜沉积设备是核心，合计占晶圆制造设备价值量超60% [14] - 刻蚀设备领域，中微公司累计装机超4500腔，北方华创ICP/CCP刻蚀全系列布局 [16] - 薄膜沉积设备领域，拓荆科技PECVD/ALD设备国内市占第一，微导纳米High-k ALD设备产业化，盛美上海电镀设备全球市占率8.2%位列第三 [16] - **平台化龙头主线**：北方华创作为平台型龙头，涵盖刻蚀、薄膜沉积、清洗等前道核心工艺，控股芯源微完善涂胶显影短板，2025年前三季度营收同比增长33% [17] - **细分赛道机会**：量测设备等领域国产化率低、增长快 - 中科飞测缺陷检测设备累计交付超700台，HBM量测设备优势显著 [18] - 精测电子14nm先进制程明场缺陷检测设备已交付 [18] - 芯源微临时键合机获多家客户订单，步入放量阶段 [18] 行业长期展望 - 半导体设备行业将是“技术迭代+国产替代”双轮驱动，AI和存储技术持续变革催生新设备需求 [13] - 国产设备从成熟制程向先进制程、从单点突破向平台化发展，逐步实现全面替代，成长空间巨大 [13] - 随着2026年全球设备市场突破1300亿美元大关，行业将迈入“量价齐升+份额提升”的黄金增长期 [19]

文章核心观点 - 半导体设备行业正迎来由AI算力爆发、存储周期上行和国产替代提速驱动的业绩兑现期，行业成长确定性高，资金重新回流该赛道 [2] - 全球半导体市场复苏与国内扩产提速的核心逻辑清晰，半导体设备作为产业“先行指标”将迎来爆发式增长 [2] 海内外共振，设备市场升温 - 全球半导体市场进入复苏快车道，2025年上半年市场规模达3460亿美元，同比增长18.9%，全年预计增长15.4%至7280亿美元 [3] - 全球半导体设备出货金额2025年预计近1000亿美元，2026年将飙升至1381亿美元，连续三年增长，核心驱动力是AI与HBM带来的高性能需求 [3] - 海外存储大厂开启扩产竞赛，三星、SK海力士、美光三大原厂2025年资本开支同比增幅超80%，重点投向DDR5、HBM及先进结构优化 [5] - 技术升级驱动设备需求“量价齐升”，3D NAND堆叠层数向5xx层甚至1000层突破，相关设备市场规模将增长1.8倍 [8] - 国内市场双线发力：长鑫存储完成IPO辅导，估值达1400亿元；长江存储三期项目注册资本207.2亿元，产能扩充加速 [8] - 政策与资本加码护航，国家集成电路产业投资基金三期注册资本3440亿元，重点支持设备和材料 [8] - 2025年上半年，中国大陆半导体设备市场规模达216.2亿美元，占全球市场的33.2%，为全球最大单一市场 [8] 存储周期启动，设备需求迎爆发 - AI大模型是存储需求的“超级发动机”，AI服务器的DRAM容量是普通服务器的8倍，NAND容量是3倍，单台AI服务器存储需求高达2TB [8] - HBM作为解决“内存墙”的核心方案，2024-2030年全球收入CAGR达33%，未来在DRAM市场份额有望突破50% [9] - 存储行业进入“量价齐升”超级周期，需求端受AI服务器、数据中心、消费电子复苏三重拉动，供给端原厂向高毛利产品倾斜导致供需缺口扩大 [9] - 国内存储芯片长期存在15-20%的贸易逆差，扩产具有紧迫性，长鑫存储与长江存储的扩产旨在填补国内空白并参与全球竞争 [9] - 一条12英寸存储产线的设备投资超50亿美元，前道设备占比80%以上，随着扩产推进，设备采购规模有望超百亿美元 [12] - 核心设备国产化率仍处低位，替代空间巨大：光刻机国产化率不足1%，量测设备不足5%，刻蚀与薄膜沉积设备仅10-30% [12] 淘金攻略：三条主线锁定产业红利 - 半导体设备行业长期由“技术迭代+国产替代”双轮驱动，晶圆制造设备占比90%，其中刻蚀、光刻、薄膜沉积设备为核心，合计占比超60% [15] - **核心设备主线**：技术迭代驱动量价齐升。中微公司刻蚀设备累计装机超4500腔；北方华创ICP/CCP刻蚀全系列布局；拓荆科技PECVD/ALD设备国内市占第一，HBM混合键合设备突破；微导纳米High-k ALD设备产业化；盛美上海电镀设备全球市占率8.2% [18] - **平台化龙头主线**：满足一站式采购需求，客户粘性强。北方华创作为平台型龙头，产品覆盖刻蚀、薄膜沉积、清洗等前道核心工艺，2025年前三季度营收同比增长33% [18] - **细分赛道主线**：国产化率低、增长快的“小而美”机会。中科飞测量测设备累计交付超700台；精测电子14nm先进制程明场缺陷检测设备已交付；芯源微临时键合机获多家订单 [19] 结语 - 半导体设备板块表现从“短期承压”向“成长确定性兑现”价值回归 [20] - 随着2026年全球设备市场突破1300亿美元大关，行业将迈入“量价齐升+份额提升”的黄金增长期，结构性机会值得长期布局 [20]

文章核心观点 - 半导体设备行业正迎来由AI算力爆发、存储周期上行、国产替代提速共同驱动的业绩兑现期，行业处于“量价齐升+份额提升”的黄金增长期，当前是把握行业长期发展的关键窗口 [7][27] 海内外共振，设备市场升温 - **全球半导体行业复苏强劲**：2025年上半年全球半导体市场规模达3460亿美元，同比增长18.9%，全年预计增长15.4%至7280亿美元 [10] - **全球半导体设备市场高速增长**：SEMI预测2025年全球设备出货金额近1000亿美元，2026年将飙升至1381亿美元，连续三年保持增长，核心驱动力是AI与HBM带来的高性能需求 [10] - **海外存储大厂开启扩产竞赛**：三星、SK海力士、美光三大存储原厂2025年资本开支同比增幅超80%，重点投向DDR5、HBM及先进结构优化 [12] - **技术升级驱动设备需求“量价齐升”**：3D NAND堆叠层数向5xx层甚至1000层突破，泛林半导体测算，堆叠层数从1yy层提升至5xx层，相关设备市场规模将增长1.8倍 [14] - **国内扩产与国产替代双线发力**：长鑫存储完成IPO辅导，估值达1400亿元；长江存储三期项目注册资本207.2亿元，表明产能扩充加速 [14] - **政策与资本大力支持**：国家集成电路产业投资基金三期注册资本3440亿元，重点支持设备和材料；深圳等地方政府出台专项政策支持国产设备 [14] - **中国是全球最大半导体设备市场**：2025年上半年，中国大陆半导体设备市场规模达216.2亿美元，占全球市场的33.2% [14] 存储周期启动，设备需求迎爆发 - **AI是存储需求的超级发动机**：AI服务器的DRAM容量是普通服务器的8倍，NAND容量是3倍，单台AI服务器存储需求高达2TB [17] - **HBM需求高速增长**：2024-2030年全球HBM收入年复合增长率达33%，未来在DRAM市场的份额有望突破50% [17] - **存储行业进入“量价齐升”超级周期**：需求端受AI服务器、数据中心、消费电子复苏三重拉动；供给端海外原厂将产能向高毛利的HBM和Server DRAM倾斜，导致供需缺口持续扩大 [17] - **国内存储存在刚性缺口**：我国存储芯片长期存在15-20%的贸易逆差，实际缺口远超统计数据，凸显扩产紧迫性 [17] - **产线投资规模巨大**：一条12英寸存储产线的设备投资超50亿美元，前道设备占比80%以上，随着扩产推进，设备采购规模有望超百亿美元 [19] - **核心设备国产化率低，替代空间巨大**：光刻机国产化率不足1%，量测设备不足5%，刻蚀、薄膜沉积设备国产化率在10-30%之间 [19][20] 淘金攻略：三条主线锁定产业红利 - **长期驱动力**：行业由“技术迭代+国产替代”双轮驱动，国产设备从成熟制程向先进制程、从单点突破向平台化发展 [22] - **设备价值量分布**：晶圆制造设备占比90%，其中刻蚀、光刻、薄膜沉积设备是核心，合计占比超60% [23] - **主线一：核心设备（技术迭代下的量价齐升）** - 刻蚀设备：中微公司累计装机超4500腔，在3D NAND领域市占率持续提升；北方华创ICP/CCP刻蚀全系列布局，进入头部晶圆厂量产 [24] - 薄膜沉积设备：拓荆科技PECVD/ALD设备国内市占第一，HBM混合键合设备实现突破；微导纳米High-k ALD设备产业化；盛美上海电镀设备全球市占率8.2%，位列第三 [24] - **主线二：平台化龙头（一站式采购的红利赢家）** - 北方华创作为国内半导体设备平台型龙头，涵盖刻蚀、薄膜沉积、清洗等前道核心工艺，控股芯源微完善涂胶显影短板，2025年前三季度营收同比增长33% [25] - **主线三：细分赛道（国产化率低的“小而美”机会）** - 量测设备：中科飞测缺陷检测设备累计交付超700台，HBM量测设备优势显著；精测电子14nm先进制程明场缺陷检测设备已交付 [26] - 其他设备：芯源微临时键合机获多家客户订单，步入放量阶段 [26]

公司股价表现 - 11月28日股价上涨5.19%至121.13元/股，成交额1.76亿元，换手率0.60%，总市值424.15亿元 [1] 公司基本情况 - 公司位于广东省深圳市，成立于2014年12月31日，于2023年5月19日上市 [1] - 主营业务为检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售 [1] - 主营业务收入构成为检测设备60.72%，量测设备36.40%，服务及其他2.88% [1] 基金持仓情况 - 东财时代优选混合发起式A（基金代码017857）三季度持有中科飞测6500股，占基金净值比例3.98%，为第七大重仓股 [2] - 该基金成立于2023年2月24日，最新规模1427.86万元 [2] - 该基金今年以来收益26.72%，近一年收益20.19%，成立以来收益18.98% [2] - 11月28日该基金因持仓中科飞测浮盈约3.89万元 [2] 基金经理信息 - 东财时代优选混合发起式A基金经理为冯杰波，累计任职时间1年16天，现任基金资产总规模3.7亿元 [3] - 该基金经理任职期间最佳基金回报76.96%，最差基金回报-10.6% [3]

公司股价表现 - 11月18日股价上涨5% 报收131.25元/股 [1] - 当日成交金额为3.50亿元 换手率达到1.10% [1] - 公司总市值为459.59亿元 [1] 公司基本情况 - 公司全称为深圳中科飞测科技股份有限公司 位于广东省深圳市 [1] - 公司成立于2014年12月31日 于2023年5月19日上市 [1] - 主营业务为检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售 [1] - 检测设备收入占比60.72% 量测设备收入占比36.40% 服务及其他收入占比2.88% [1] 基金持仓情况 - 博时科创100ETF（588030）重仓中科飞测 为第七大重仓股 [2] - 该基金三季度减持28.49万股 当前持有130.21万股 [2] - 持有股数占基金净值比例为2.1% [2] - 11月18日该持仓实现浮盈约813.84万元 [2] 相关基金产品表现 - 博时科创100ETF（588030）成立于2023年9月6日 最新规模71.79亿元 [2] - 该基金今年以来收益率为46.42% 同类排名624/4212 [2] - 近一年收益率为41.22% 同类排名692/3956 成立以来收益率为31.05% [2]

行业与公司概述 * 行业为半导体前道量检测设备领域 公司为中科飞测 是国内领先的半导体量检测设备供应商[2] 公司市场地位与国产替代空间 * 公司是国内前道量检测设备的龙头企业 覆盖了国内主要的逻辑晶圆厂和存储晶圆厂 包括中芯国际 长江存储等主流集成电路制造产线[3] * 截至2024年底 公司交付量突破千台 覆盖约66.6%的前道质量控制检测环节市场空间[2][3] * 截至2025年9月 前道量检测环节的国产化率仅为16.4% 较2023年提升了5.2个百分点 提升空间巨大[2][3] * 中国占全球35%的半导体前道量测和检测设备市场份额 但国产化率仅为20%左右[16] 技术与产品优势 * 公司具备28~14纳米节点及先进封装能力 并已实现部分28纳米量检测产品的出货[2][4] * 主要产品包括缺陷检测设备（有图形和无图形） 量测设备及智能软件系统[2][5] * 公司产品通过了HBM等场景验证 截至2024年底 有图形晶圆缺陷检测设备交付超过300台[5] * 具体产品系列包括无图形晶圆缺陷检测（Spruce系列） 三合一图形晶圆缺陷检测（Sweet Gum系列） 暗场缺陷检测（Cycom Mult系列） 明场纳米光学缺陷检（Redwood系列）以及关键尺寸量测（Cedar系列 Palm系列 Dragon Blood系列）[18] 研发实力与团队 * 研发团队实力雄厚 核心技术团队由程璐 黄有为和杨乐领导 均来自中科院微电子所[6] * 技术实现了从90纳米到14纳米节点的突破 未来可能在7纳米节点取得关键进展[6] * 截至2025年上半年 研发人员规模从2024年的465人增加到577人 同比增加112人[6][18] * 公司拥有良率管理系统 缺陷自动分类系统和光刻套刻分析反馈系统等软件[6] * 截至2024年底 公司累计专利数量601项 其中发明专利178项[18] 财务表现与运营情况 * 受益于国产替代及AI驱动下先进制程扩产 公司营收高速增长 2025年前三季度营业收入达12亿元 同比增长47.92%[2][19] * 受高额研发费用影响 归母净利润亏损1,469.85万元 但毛利率保持在50%左右[2][19] * 2025年前三季度研发费用达4.4亿元 同比增长30%[18] * 公司订单覆盖金额显著高于往年 存货余额逐步上升 显示公司进入快速增长阶段[2][20] * 截至2024年前三季度 前道检测试出货176台 生产245台 两侧测试出货106台 生产139台[2][20] * 公司前五大客户占比约40%[22] 行业前景与市场规模 * 前道量检测贯穿整个半导体制造过程 对良率控制影响巨大 随着先进制程提升 单机价值与单产线使用量增加 市场规模快速增长[8] * 2023年半导体行业周期触底 2024年增速转正 2024年底全球半导体设备市场规模预计达1,000亿美元 同比增长10.2%[12] * 预计2025年全球半导体设备市场规模将增长至1,210亿美元[2][13] * 前道良检测设备市场规模预计2026年将达到143.7亿美元[2][13] * 电子束量测设备市场规模2022年为7.2亿美元 预计到2029年将达到25.8亿美元 复合年增长率为19.9%[14] 竞争格局 * 全球前道量测和检测设备领域中 科磊（KLA）是核心龙头 占据超过60%的全球市占率[15] * 其他全球竞争者包括日立高新和应用材料公司等[15] * 国内除中科飞测外 还有天准科技 东方晶源和精测电子等公司积极布局[17] 未来展望与预期 * 预计2025至2027年公司营收将保持中速增长 营收分别达到16.66亿元 22.94亿元和33.67亿元 同比增速分别为48.92% 56.48%和46.72%[4][23][24] * 随着产品放量和营收规模提升 各项费用将有效降低 研发费用占比预计从2025年的30%逐步下降至2027年的20%[4][24] * 毛利率预计分别为54% 54.6%及53.74%左右 盈利能力有望逐步释放[24] * 公司受益于先进制程扩产 国产化率提升及先进制程良检设备突破 将在营收规模与利润率上实现跃升[25] * 公司正在进行扩产项目 包括2025年的定增项目 计划投资高端半导体质量检测建设和研发中心[22]

公司股价表现 - 11月14日股价上涨5 59%至132 83元/股 [1] - 当日成交额5 00亿元，换手率1 58% [1] - 公司总市值465 12亿元 [1] 公司基本情况 - 公司全称为深圳中科飞测科技股份有限公司，位于广东省深圳市 [1] - 公司成立于2014年12月31日，于2023年5月19日上市 [1] - 主营业务为检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售 [1] - 检测设备收入占比60 72%，量测设备收入占比36 40%，服务及其他收入占比2 88% [1] 基金持仓情况 - 东财时代优选混合发起式A（017857）三季度持有中科飞测6500股，占基金净值比例3 98%，为第七大重仓股 [2] - 该基金于11月14日因中科飞测股价上涨浮盈约4 57万元 [2] - 该基金成立于2023年2月24日，最新规模1427 86万元 [2] - 该基金今年以来收益30 71%，同类排名3018/8140 [2]

公司股价表现 - 11月4日，中科飞测股价上涨5.07%，报收121.88元/股，成交金额达9.19亿元，换手率为3.11%，总市值为426.78亿元 [1] 公司基本情况 - 深圳中科飞测科技股份有限公司位于广东省深圳市龙华区观澜街道观光路银星科技园1301号，成立于2014年12月31日，于2023年5月19日上市 [1] - 公司主营业务为检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售 [1] - 主营业务收入构成为：检测设备占比60.72%，量测设备占比36.40%，服务及其他占比2.88% [1] 基金持仓情况 - 华商基金旗下华商创新成长混合发起式A（000541）三季度重仓持有中科飞测54.55万股，占基金净值比例为3.61%，为第三大重仓股 [2] - 该基金最新规模为9.87亿元，今年以来收益率为62.02%，同类排名454/8150，近一年收益率为58.14%，同类排名650/8043，成立以来收益率为261.74% [2] - 基于当日股价涨幅，该基金持有中科飞测单日浮盈约320.75万元 [2] 基金经理信息 - 华商创新成长混合发起式A（000541）基金经理为厉骞，累计任职时间5年317天，现任基金资产总规模180.87亿元 [3] - 厉骞任职期间最佳基金回报为183.93%，最差基金回报为-26.69% [3]

公司股价表现 - 11月4日股价上涨5.07%至121.88元/股 [1] - 当日成交额9.20亿元 换手率3.11% [1] - 公司总市值达426.78亿元 [1] 公司基本情况 - 公司全称为深圳中科飞测科技股份有限公司 位于广东省深圳市 [1] - 公司成立于2014年12月31日 于2023年5月19日上市 [1] - 主营业务为检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售 [1] - 检测设备收入占比60.72% 量测设备收入占比36.40% 服务及其他收入占比2.88% [1] 基金持仓情况 - 创金合信专精特新股票发起A基金重仓持有中科飞测 [2] - 该基金三季度减持3.21万股 当前持有13.62万股 [2] - 中科飞测占该基金净值比例为4.99% 为第八大重仓股 [2] - 11月4日股价上涨为该基金带来约80.09万元浮盈 [2] 相关基金表现 - 创金合信专精特新股票发起A基金成立于2022年1月26日 最新规模1.07亿元 [2] - 该基金今年以来收益50.04% 同类排名594/4216 [2] - 近一年收益53.35% 同类排名563/3896 成立以来收益66.83% [2] - 基金经理为王先伟 累计任职时间4年253天 现任基金资产总规模4.19亿元 [3]