股东大会会议安排 - 会议采用现场投票和网络投票相结合的方式 网络投票通过上海证券交易所系统进行 投票时间为2025年9月5日9:15-15:00 [4] - 现场会议股东需提前10分钟签到 需携带身份证明或授权文件 未通过资格审查者无表决权 [1][2] - 股东发言需报告持股数量 发言时间限5分钟 表决开始后不再接受提问 [2] 关联交易调整方案 - 与复旦通讯的关联交易额度大幅上调 2025-2027年额度均由原1.5-3亿元统一提升至5.2亿元 [8][10] - 交易模式为复旦微电按成本加利润定价销售可重构器件和存储芯片 复旦通讯需遵守统一采购价格政策 [8] - 关联关系源于复旦复控持股12.38%且交叉持股 3名董事来自复旦复控 相关董事已回避表决 [10] 华虹集团关联交易 - 因董事长张卫兼任华虹集团独董 将晶圆采购等交易调整为关联交易 2025年预计总额3.587亿元 [11][12] - 主要交易内容为向华虹采购晶圆和光罩 占预计总额的94% 定价参照市场价格协商 [11][12] - 2025年前6个月已发生交易8,372万元 上年同期为2.37亿元 差异原因未说明 [12][13] 表决与监督机制 - 现场会议设股东代表和监事计票 股东代表与律师监票 统计结果需签字确认 [3] - 表决票需明确填写同意/反对/弃权 空白或无法辨认的票计为弃权 [2] - 会议结果将结合现场与网络投票数据发布公告 H股股东不适用网络投票 [3][7]

公司投资动态 - 公司拟通过股权转让及增资方式获得兴华芯7.43%股权 并计划随产能提升继续增持 [1] - 本次投资是公司首次直接对半导体行业实体公司的投资布局 [1][4] - 公司子公司汇德芯源投资3000万元参与元禾璞华产业基金 已于7月完成工商和备案变更 [3] 公司业务转型 - 公司前身为上海轻工机械公司 2006年转向风电领域 2019年发展房地产 2023年剥离地产业务收回6.16亿现金 [2] - 当前主营业务包括房屋租赁、物业服务及美居装修等轻资产业务 [2] - 公司多处房产被征迁 截至2024年末货币资金达14.6亿 [2] 标的公司概况 - 兴华芯成立于2022年11月 从事半导体光罩制造 其项目入选2024年浙江省重大产业项目 [1] - 公司实际控制人为张汝京博士 控股股东为绍兴芯兴 [1] - 2023年3月土地摘牌 12个月产出首张样片 2024年底进入生产 [5] 技术能力与产能 - 已实现40nm及以上全制程的光罩研发与生产 [5] - 经过半年产能爬坡 目前月产能已过千片 预计年底达到第一期满产 [5] - 规划二期生产线 满产后月产能将达到3000片 [5] 行业背景与战略意义 - 光罩是半导体前道材料第三大耗材 直接关系到芯片产品质量 [5] - 全球独立光罩市场集中度高 海外头部寡头垄断 国内面临先进光罩"卡脖子"难题 [5] - 投资符合国家发展新质生产力及国产替代政策导向 [6] 合作方背景 - 张汝京博士曾创建中芯国际、新晟半导体、青岛芯恩等半导体企业 [5] - 元禾璞华是深耕半导体领域10余年的专业投资机构 培育上市企业超50家 [3]

公司战略转型 - 汇通能源拟通过股权转让及增资方式获得兴华芯7.43%股权，总交易对价1.95亿元，以增强在半导体和智能制造领域的布局 [1] - 交易分为两部分：4500万元受让绍兴芯兴持有的1.82%股权（对应注册资本3000万元），1.5亿元认购新增注册资本1亿元，每股价格均为1.5元 [1] - 当兴华芯一期产线月交货量达满产水平时，公司拟以不高于2元/股的价格进一步增资或收购股权 [1] 标的公司概况 - 兴华芯成立于2022年11月，主营半导体光罩制造，2024年第四季度开始生产销售，目前处于产能和销售爬坡期，尚未盈利 [1][2] - 半导体光罩是光刻工艺的关键耗材，精密程度直接影响芯片质量，上游为设备及材料行业，下游覆盖IC制造、封装及消费电子、家电、汽车等领域 [2] 公司财务动态 - 汇通能源预计2025年半年度净利润1700万至2400万元，同比减少70.76%至79.29%（上年同期减少5809.25万至6509.25万元） [2]

增资事项 - 公司拟与合肥国投、合肥建翔、晶汇创芯、青岛高信、晶汇聚芯、合肥晶冠等投资者共同向安徽晶镁增资11.95亿元，增资价格为1.00元/注册资本 [1] - 公司拟以货币方式认缴2亿元，资金来源于自有及自筹资金 [1] - 交易完成后公司将直接持有安徽晶镁16.67%股权 [1] 技术转让与租赁 - 公司董事会通过议案，同意以非公开协议方式向安徽晶镁转让光罩相关技术，技术转让价格为2.77亿元 [2] - 公司自2022年开始相关技术研发，并已初步建置一条光罩生产线 [2] - 公司拟向安徽晶镁及其全资子公司安徽晶瑞出租厂房及厂务配套设施、设备 [2] 战略意义 - 通过投资安徽晶镁助其布局光罩产业，与公司主营业务形成产业协同 [2] - 有助于推动产业链资源整合、增强上游供应链稳定性 [2] - 将进一步提升公司的综合竞争力 [2]

High NA EUV光刻技术挑战 - 高数值孔径(0.55)EUV技术面临电路拼接难题，需采用6×6英寸掩模版拼接或改用6×11英寸掩模版[1] - High NA EUV的曝光场面积缩小至193nm浸没式/EUV光刻的一半(13平方毫米 vs 26平方毫米)，导致吞吐量减半[1] - 变形镜头解决方案在X/Y方向分别缩小4倍/8倍，进一步限制了曝光范围[2] 拼接技术对良率的影响 - 掩模间套刻误差2nm会导致关键尺寸误差≥10%[2] - 边界区域光刻胶线宽变异可达10%-20%，接触孔可能出现重复或椭圆形缺陷[4] - 黑色边框设计导致应力松弛，扭曲相邻多层结构，需保留未图案化空白区域[3] 设计优化方案 - 完全避开边界区域可使单核设计频率降低3%，功耗增加3%[5] - 采用拼接感知设计优化后，面积损失<0.5%，性能下降约0.2%[6] - 关键优化包括防止逻辑块分裂、集群化I/O端口、避免边界附近放置标准单元[6] 大尺寸掩模版替代方案 - 6×11英寸掩模版需改造14类设备，部分设备成本可能翻倍[9] - 面积翻倍加剧EUV掩模版的应力管理和缺陷控制挑战[10] - ASML现有EUV平台可支持6×11.2英寸掩模版，无需改动光学元件[9] 行业技术经济性考量 - High NA EUV工具成本近4亿美元，生产效率是晶圆厂成本效率的关键[10] - 1nm技术节点可能是大尺寸掩模版的潜在应用时点[11] - 更大掩模版可提升现有0.33 NA光刻机效率，受益范围超出尖端应用[11]

高NA EUV光刻技术挑战 - 高NA EUV光刻技术面临电路拼接或掩模版尺寸增大的选择 拼接电路需要精确对准 而改用6×11英寸掩模版可消除拼接但需更换大部分掩模制造基础设施 [2] - 高NA EUV的变形镜头将标准6×6英寸光罩曝光范围减半 导致吞吐量下降50% 需两次曝光拼接图案 [2][3] - 2nm掩模间套刻误差会导致图案关键尺寸至少10%误差 良率面临严峻挑战 [3] 拼接技术对良率的影响 - 拼接边界附近光刻胶线宽会变化 接触孔可能出现重复或椭圆形 边界区域需避免放置关键特征 [6] - 黑色边框与未图案化空白区域导致应力松弛 扭曲邻近多层结构 影响空间图像质量 [6] - 辅助特征需精心放置以防相互干扰 跨越边界的晶圆特征需考虑线端重叠与边界相互作用 [5] 拼接感知设计优化 - 完全排除边界区域电路特征可避免问题 但会导致线路绕行 增加3%功耗并降低3%最大频率 [8] - 优化措施包括防止逻辑块分裂 集群化I/O端口 避免边界附近放置标准单元 使拼接面积损失<0.5% 性能下降约0.2% [9] - 特定区域设计规则可改善边界特征打印 但会破坏整体设计一致性 [9] 大尺寸掩模版方案 - 6×11英寸掩模版可解决拼接和吞吐量问题 ASML现有EUV平台可支持该尺寸无需改动光学元件 [11] - 掩模尺寸增大将影响14类设备 部分设备成本可能翻倍 但能避免高NA工具生产效率下降 [11][12] - EUV掩模版面积翻倍加剧应力管理和缺陷控制挑战 但可提升现有0.33 NA光刻机效率 [12] - 1nm技术节点可能是引入大尺寸掩模版的合适时机 因多数设备需升级 [12]