投资评级 - 对芯源微的投资评级为“增持”，并维持该评级 [1][7] 核心观点 - 报告认为芯源微业绩短期承压，但看好其作为涂胶显影设备龙头在国产替代加速背景下的新一轮成长 [1][7] - 业绩波动主要受存量订单结构、生产交付及验收周期等因素影响，但公司战略新品前道化学清洗机新签订单同比增幅较大，为未来增长提供新动能 [7] - 北方华创成为公司控股股东，双方有望在研发、供应链、客户资源等方面形成协同效应，加速发展 [7] 财务业绩表现 - 2025年前三季度公司实现营收9.90亿元，同比下降10.4%；归母净利润为-0.10亿元，同比转亏 [7] - 2025年第三季度单季营收为2.81亿元，同比下降31.6%，环比下降35.2%；归母净利润为-0.26亿元，同环比均转亏 [7] - 2025年前三季度公司毛利率为34.5%，同比下降7.9个百分点；销售净利率为-2.6%，同比下降12.2个百分点 [7] - 2025年第三季度单季毛利率为30.1%，同比下降16.1个百分点，环比下降7.4个百分点；销售净利率为-13.0%，同比下降20.4个百分点，环比下降15.9个百分点 [7] 运营与订单情况 - 截至2025年第三季度末，公司存货为25.26亿元，同比增长34.7%；合同负债为8.03亿元，同比增长70.9%，预示未来收入保障度较高 [7] - 2025年第三季度单季公司经营活动净现金流为0.51亿元，同比增长1.7%，环比由负转正（第二季度为-0.85亿元） [7] 产品进展与市场地位 - 前道涂胶显影设备：成功获得国内头部逻辑、存储、功率客户订单，高端机台快速突破，ArF浸没式涂胶显影机预计在2025年第四季度发往客户端验证 [7] - 前道物理清洗设备：获得国内领先逻辑客户批量订单，在26nm颗粒去除能力和产能效率上进一步提升 [7] - 前道化学清洗机台：高温SPM机台在核心指标上对标海外龙头，打破国外垄断，已获得国内多家大客户订单 [7] - 先进封装设备：后道涂胶显影机、单片式湿法设备持续获得批量重复订单，临时键合/解键合设备进入放量阶段 [7] 盈利预测与估值 - 预测公司2025年、2026年、2027年归母净利润分别为2.33亿元、3.75亿元、5.92亿元 [1][7] - 预测公司2025年、2026年、2027年营业收入分别为19.80亿元、25.35亿元、35.25亿元，同比增长率分别为12.89%、28.07%、39.04% [1][8] - 当前股价对应2025年、2026年、2027年动态市盈率分别为104倍、64倍、41倍 [1][7]

公司业务与市场地位 - 公司是国内唯一可提供前道量产型涂胶显影设备的厂商，产品累计出厂超过2000台套 [1] - 前道高产能涂胶显影机实现与多款主流光刻机联机量产，完成国内成熟制程工艺节点全覆盖 [1] - 前道物理清洗机市占率稳居国内第一，前道化学清洗机成功打破国外垄断 [1] - 后道先进封装领域涂胶显影机、单片式湿法设备已成为国内客户端主力机型并成功向海外销售 [1] - 应用于2.5D封装、HBM等领域的临时键合机、解键合机等系列新品先后推出 [1] 财务表现与运营状况 - 前三季度实现营业收入9.9亿元，同比下降10% [2] - 前三季度归母净利润为-1004.9万元 [2] - 前三季度经营活动现金流净额为-2.3亿元 [2] - 三季度末公司合同负债较去年年末增长近80% [2] - 营收下降主要因前道Track产品客户端验收节奏较慢及前道物理清洗机台验收推迟 [2] - 现金流为负主要因前道化学清洗机签单增长导致物料备货采买支出大幅增加 [2] 订单结构与增长动力 - 前三季度整体签单中约60%是前道产品，后道封装和小尺寸产品占比不到40% [3] - 前三季度整体签单同比保持增长 [3] - 化学清洗机前三季度签单是去年全年的数倍之多，增幅非常明显 [3] - 新一代高产能前道涂胶显影机力争在今年导入客户端验证，有望在明年看到效果 [3] 战略发展与未来展望 - 北方华创于今年6月成为公司控股股东并全面赋能，公司管理精细度持续提升 [3] - 公司聚焦主要资源，力争在今明两年实现前道Track产品的快速突破 [3] - 公司持续加大前道化学清洗新品的客户端导入力度，不断巩固后道先进封装领域的领先优势 [3] - 前道化学清洗机从签单到交付验收需要一定时间，前三季度尚未贡献收入，预计后续会陆续贡献收入 [2]

个股市场表现 - 拓荆科技股价下跌超过6% [1] - 长川科技股价下跌超过5% [1] - 华海清科股价下跌超过4% [1] - 芯源微股价下跌超过4% [1] 行业ETF市场表现 - 半导体材料ETF（562590）下跌4.52%，现价1.459元 [2] - 芯片设备ETF（560780）下跌4.43%，现价1.530元 [2] - 半导体设备ETF基金（159327）下跌4.37%，现价1.643元 [2] - 半导体设备ETF（159516）下跌4.34%，现价1.390元 [2] - 半导体设备ETF易方达（159558）下跌4.25%，现价1.624元 [2] - 半导体设备相关ETF整体下跌超过4% [1] 行业前景与驱动因素 - 在AI浪潮和国产化替代背景下，国内先进产线未来扩产需求持续存在 [2] - 半导体设备是晶圆代工扩张的基石，也是实现产业链自主可控的重要环节 [2] - 国产半导体设备厂家迎来发展机遇 [2]

核心观点 - 公司发布2025年第三季度未经审计的财务报告 [3][6] 主要财务数据 - 第三季度财务报表未经审计 [3] - 报告涵盖2025年1月至9月的合并利润表和合并现金流量表 [6] - 报告涵盖2025年9月30日的合并资产负债表 [6] - 本期及上期均未发生同一控制下企业合并 [6] 非经常性损益 - 公司确认存在非经常性损益项目 [4] - 对金额重大但未在相关解释性公告中列举的非经常性损益项目，或对列举项目界定为经常性损益的情况，公司需说明原因 [4] 会计数据变动 - 公司主要会计数据和财务指标在本报告期发生变动 [5] - 公司对主要会计数据、财务指标发生变动的情况及原因进行了说明 [5] 股东信息 - 报告披露了普通股股东总数和表决权恢复的优先股股东数量 [5] - 报告包含了前十名股东持股情况表 [5] - 持股5%以上股东、前10名股东及前10名无限售流通股股东未参与转融通业务出借股份 [5] - 前10名股东及前10名无限售流通股股东未因转融通出借/归还原因导致持股较上期发生变化 [5] 其他事项 - 公司无需提醒投资者关注关于报告期经营情况的其他重要信息 [5] - 2025年起首次执行新会计准则等情况不适用，未调整当年年初财务报表 [7]

公司股价表现 - 10月31日公司股价下跌1.08% 报收119.99元/股 成交额7.28亿元 换手率3.00% 总市值241.93亿元 [1] - 公司股价已连续4天下跌 区间累计跌幅达6.81% [1] 公司基本情况 - 公司全称为沈阳芯源微电子设备股份有限公司 成立于2002年12月17日 于2019年12月16日上市 [1] - 公司主营业务为半导体专用设备的研发、生产和销售 [1] - 主营业务收入构成：光刻工序涂胶显影设备占比59.86% 单片式湿法设备占比36.76% 其他(补充)占比2.51% 其它设备占比0.86% [1] 基金持仓情况 - 创金合信基金旗下创金合信创新驱动股票A（010495）三季度重仓公司股票 持有2.69万股 占基金净值比例3.42% 为第七大重仓股 [2] - 该基金于10月31日因公司股价下跌产生浮亏约3.52万元 连续4天累计浮亏23.58万元 [2] - 该基金成立于2020年12月30日 最新规模8754.88万元 今年以来收益42.34% 近一年收益36.18% 成立以来亏损1.2% [2] 基金经理信息 - 创金合信创新驱动股票A（010495）基金经理为郭镇岳 [3] - 郭镇岳累计任职时间162天 现任基金资产总规模1.17亿元 任职期间最佳基金回报55.43% 最差基金回报54.91% [3]

公司基本情况 - 公司成立于2002年12月17日，于2019年12月16日在上海证券交易所上市，注册及办公地址均为辽宁省沈阳市 [1] - 公司是国内涂胶显影设备龙头，也是目前国内唯一可提供量产型前道涂胶显影机的厂商 [1] - 公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，所属行业为电子-半导体-半导体设备 [1] 经营业绩表现 - 2025年三季度营业收入为9.9亿元，在行业中排名13/22，远低于行业第一名北方华创的273.01亿元和第二名中微公司的80.63亿元，也低于行业平均数31.95亿元和中位数11.52亿元 [2] - 主营业务构成中，光刻工序涂胶显影设备收入10.5亿元，占比59.86%，单片式湿法设备收入6.45亿元，占比36.76% [2] - 2025年三季度净利润为-2621.03万元，行业排名21/22，与行业领先企业差距巨大，远低于行业平均数5.15亿元和中位数1.27亿元 [2] 财务指标分析 - 2025年三季度资产负债率为54.77%，高于去年同期的49.59%，也高于行业平均的35.23% [3] - 当期毛利率为34.52%，低于去年同期的42.46%，也低于行业平均的38.42% [3] 股权结构与股东情况 - 控股股东为北方华创科技集团股份有限公司，实际控制人为北京电子控股有限责任公司 [4] - 董事长董博宇为工学博士，研究员，现任北方华创高级副总裁等多个职位 [4] - 截至2025年9月30日，A股股东户数为1.6万，较上期增加15.37%；户均持有流通A股数量为1.26万，较上期减少13.17% [5] - 十大流通股东中，多家基金持股变动，永赢半导体产业智选混合发起A为新进股东，香港中央结算有限公司退出十大流通股东之列 [5] 机构预测与业务亮点 - 长城证券预测公司2025-2027年归母净利润分别为2.39亿元、3.80亿元、5.95亿元 [5] - 业务亮点包括新品开发进展顺利，前道化学清洗机和临时键合机逐步放量；半导体设备市场规模持续增长，公司有望受益于国产替代浪潮，前道涂胶显影产品获国内头部客户订单 [5] - 华创证券维持公司2025-2027年收入预测20.46亿元、27.48亿元、35.98亿元，给予2026年11倍PS，对应目标价为150.2元 [6] - 业务亮点包括化学清洗机、临时键合等新产品放量注入成长新动能；前道涂胶显影国产化突破加速，高端型号验证持续推进；北方华创入主，双方产品布局互补，未来有望加强协同 [6]

行业与公司 * 行业为半导体设备制造业 公司为芯源微[1] 核心观点与论据：经营与财务表现 * 2025年前三季度公司营收9.9亿元 同比下降10% 归母净利润为负1000万元[3] * 营收下降主因前道Track产品成熟度不足导致客户端验收慢 以及前道物理清洗机大批量订单验收延迟[3] * 净利润为负受营收下降 人工成本增加导致期间费用提升 以及计划内政府补助未及时到位影响[3] * 经营活动现金流净额为-2.3亿元 主要因化学清洗机订单增长导致物料备货支出增加 以及人员增加导致薪酬支出增加[3] * 公司整体签单同比保持不错增长 前道产品签单占比连续第二年超过50% 其中约60%来自前道[6][7] 核心观点与论据：前道设备进展 * 前道化学清洗机新签订单增幅显著 前三季度订单已达去年全年数倍 占整体签单60%[2][6] * 化学清洗机主打高端产品如高温硫酸和超临界设备 采用接近国际主流日系架构 已获大客户批量重复订单[3][11] * 签单中约70%为高难度设备 30%为中低难度设备 通过高端设备黏住客户[11] * 前道Track产品中 三代机因成熟度不足 效率和稳定性欠佳 导致大客户重复签单意愿不强[5][7] * 四代机FT Orbit已完成开发并完成内部验证 计划导入客户端进行工艺验证 预计2026年第二或第三季度看到效果[2][5][7] * 第四代全彩显示机台已规划两到三个客户验证 第一台机台验证结果预计明年6月至7月出炉 若结果显著优于三代机 明年年底前可能获得小批量重复订单[9][10] 核心观点与论据：后道封装与新产品 * 后道封装领域整体签单保持温和增长 公司在HBM 2.5D等新兴领域实现全系列产品卡位[2][5] * 公司正在研发TCB热压键合战略性新产品 预计今年底之前推出样机[2][8] * TCB设备市场潜力巨大 例如1万片HBM扩产需要约30-40台TCB设备 价值量约为4-5亿元[2][8] * 无助焊剂TCB技术将拓宽应用范围 包括替代部分HBM4以上级别产品功能[8] * 由于国内HBM相关产线资源稀缺 公司正协调集团资源以顺利开展TCB设备客户端验证工作[8] 其他重要内容：行业展望与竞争格局 * 公司预计化学清洗机会成为未来几年的重要增长点[4] * 随着芯源微等企业突破高端设备 未来三年前道化学清洗机国产化率有望从目前的40%提升至80%以上[11][12] * 在80%的国产化市场中 公司预计芯源微能够占据30%以上份额[11][12] * 高端化学清洗机市场将容纳两家以上头部厂商共同发展[12]

财务表现 - 2025年前三季度营业总收入为9.9亿元人民币，同比下降10.35% [1] - 报告期内归属母公司股东净利润为-1004.92万元人民币，上年同期为盈利1.08亿元人民币 [1] - 基本每股收益为-0.05元人民币 [1]

收入和利润表现 - 第三季度营业收入为2.81亿元人民币，同比下降31.59%[3] - 年初至报告期末营业收入为9.90亿元人民币，同比下降10.35%[3] - 营业总收入从2024年前三季度的11.05亿元下降至2025年前三季度的9.90亿元，降幅为10.4%[17] - 第三季度归属于上市公司股东的净利润为-2597.34万元人民币，同比下降182.46%[3] - 年初至报告期末归属于上市公司股东的净利润为-1004.92万元人民币，同比下降109.34%[3] - 第三季度归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为-4415.05万元人民币，同比下降1134.04%[3] - 公司2025年前三季度净亏损为2621.03万元，而2024年同期净利润为1.05亿元[18] - 归属于母公司股东的净利润从2024年前三季度的1.08亿元转为2025年前三季度的净亏损1004.92万元[18] - 基本每股收益从2024年前三季度的0.54元/股下降至2025年前三季度的-0.05元/股[18] 成本和费用 - 第三季度研发投入为5570.18万元人民币，同比下降25.63%[3] - 研发投入占营业收入的比例为19.81%，同比增加1.59个百分点[3] - 研发费用从2024年前三季度的1.92亿元略降至2025年前三季度的1.88亿元，降幅为2.2%[17] 现金流表现 - 年初至报告期末经营活动产生的现金流量净额为-2.32亿元人民币，同比下降222.38%[3] - 经营活动现金流量净额由正转负，2025年前三季度为-2.32亿元，而2024年同期为1.90亿元[20] - 销售商品、提供劳务收到的现金同比增长16.2%，从13.27亿元增至15.43亿元[20] - 购买商品、接受劳务支付的现金大幅增加49.4%，从8.58亿元增至12.82亿元[20] - 支付给职工及为职工支付的现金增长30.4%，从2.60亿元增至3.39亿元[20] - 收到的税费返还为0.41亿元，较上年同期的0.75亿元下降44.9%[20] - 投资活动产生的现金流量净额为-1.68亿元，较上年同期的-0.87亿元流出扩大93.8%[20][21] - 投资支付的现金为31.10亿元，较上年同期的24.86亿元增长25.1%[21] - 筹资活动产生的现金流量净额为1.86亿元，较上年同期的3.36亿元下降44.7%[21] - 取得借款收到的现金为3.71亿元，较上年同期的6.79亿元下降45.4%[21] - 期末现金及现金等价物余额为12.98亿元，较期初的15.14亿元减少14.3%[21] 资产和负债变动 - 报告期末总资产为62.59亿元人民币，较上年度末增长11.83%[4] - 资产总计从2024年9月的559.69亿元增长至2025年9月的625.90亿元，增幅为11.8%[14][15] - 截至2025年9月30日，公司货币资金为13.92亿元人民币，较2024年末的15.83亿元有所减少[13] - 截至2025年9月30日，公司交易性金融资产为4127.67万元人民币[13] - 截至2025年9月30日，公司应收账款为4.75亿元人民币，较2024年末的5.30亿元有所下降[13] - 截至2025年9月30日，公司存货大幅增加至25.26亿元人民币，较2024年末的18.16亿元增长39.1%[13] - 截至2025年9月30日，公司流动资产合计为48.02亿元人民币，较2024年末的42.64亿元增长12.6%[13] - 截至2025年9月30日，公司预付款项为4486.22万元人民币，较2024年末的1240.02万元大幅增长261.8%[13] - 截至2025年9月30日，公司应收票据为414.38万元人民币，较2024年末的2093.29万元大幅减少80.2%[13] - 在建工程从2024年9月的4.91亿元大幅增加至2025年9月的20.90亿元，增幅达325.7%[14] - 合同负债从2024年9月的4.51亿元增长至2025年9月的8.03亿元，增幅为78.0%[14] - 一年内到期的非流动负债从2024年9月的0.78亿元激增至2025年9月的6.33亿元，增幅达714.5%[14] - 长期借款从2024年9月的10.48亿元减少至2025年9月的6.65亿元，降幅为36.5%[15] 其他重要信息 - 报告期内计入当期损益的政府补助为1068.54万元[6] - 报告期末普通股股东总数为15,960户[11] - 第一大股东北方华创科技集团股份有限公司持股35,964,665股，占总股本17.84%[11] - 第二大股东辽宁科发实业有限公司持股21,315,832股，占总股本10.57%[11]

主力资金净流出概况 - 截至10月29日收盘，沪深两市共490只个股连续5日或5日以上主力资金净流出 [1] 净流出持续时间 - 中炬高新连续31日主力资金净流出，持续时间最长 [1] - 恒申新材、东望时代连续21日主力资金净流出，位列第二 [1][4] 净流出总规模 - 招商银行主力资金净流出金额最大，连续12天累计净流出30.93亿元 [1] - 国泰海通紧随其后，10天累计净流出18.77亿元 [1] - 圣邦股份连续12天净流出18.26亿元 [1] - 华建集团6天净流出17.13亿元 [1] - ST华通6天净流出14.65亿元 [1] 净流出占成交额比例 - 迦南智能主力资金净流出占成交金额的比例排名居首，该股近5日下跌2.98% [1] - 天坛生物净流出占比达16.11% [2] - 正丹股份净流出占比达15.24% [2] - 华建集团净流出占比14.74% [1] - ST华西净流出占比14.94% [3] - 中创环保净流出占比13.12% [4] 股价表现 - 华建集团在6天净流出期间累计下跌40.29% [1] - 经纬辉开7天净流出期间下跌19.56% [1] - 新诺威7天净流出期间下跌20.32% [2] - 大有能源在8天净流出期间股价上涨29.24% [1] - *ST东易在7天净流出期间股价上涨23.74% [2]