核心观点 报告认为，半导体设备行业正迎来“AI驱动新成长”与“自主可控大时代”的双重机遇[3] 2025年行业呈现高景气，前道设备营收持续高增长，后道设备迎来爆发式增长[3] 展望2026年，AI将继续驱动全球半导体市场创历史新高，预计同比增长9%至7607亿美元[3][36] 同时，国内晶圆厂产能利用率回升、扩产意愿强烈，AI驱动的存储超级周期与国内先进逻辑及存储扩产有望共振，叠加自主可控逻辑下国产化率提升，将共同带动设备需求向上[3][44] 投资上，报告重点推荐四大景气方向，并建议沿四条主线布局龙头公司[4] 2025年行业复盘 - **市场表现与估值**：2025年初至12月8日，半导体设备（申万）指数累计上涨62.3%，跑赢上证指数42.0个百分点[13] 截至同期，行业PE(TTM)为72倍，处于28%的历史分位点，估值处于较低水平[13] - **前道设备业绩**：2025年第三季度，前道设备整体营收同比增长36%，归母净利润同比增长22%[15] 其中，龙头公司北方华创、中微公司营收保持高增速，拓荆科技营收同比大增124%[15] 但行业盈利能力下滑，2025年前三季度整体毛利率为40.4%，同比下降2.8个百分点，整体净利率为11.4%，同比下降0.6个百分点[21] 多数公司毛利率出现下滑[21] - **后道设备业绩**：后道设备迎来爆发式增长，2025年第三季度营收同比增长61%，归母净利润同比增长161%[24] 龙头公司华峰测控、长川科技营收连续三个季度同比持续增长[24] 尽管行业整体毛利率同比下滑1.6个百分点至59.2%，但净利率同比提升5.6个百分点至23.8%，盈利能力显著提升[27] 2026年行业展望 - **全球市场增长**：AI是半导体行业增长的核心引擎，预计2025年全球半导体销售额同比增长11%至7009亿美元，创历史新高，2026年预计将继续增长9%至7607亿美元[36] 全球八大CSP（云服务提供商）资本开支预计在2026年同比增长40%至6000亿美元[36] - **设备市场预测**：2024年全球半导体设备销售额达1171亿美元，同比增长10%[41] 预计2025年同比增长13.7%至1330亿美元，2026年继续增长9%[41] 其中，晶圆制造设备(WFE)预计2025年增长11%至1157亿美元，2026年增长9%；测试设备预计2025年增长48%至112亿美元，2026年增长12%；封装设备预计2025年增长19.6%至64亿美元，2026年增长9.2%[41] - **中国市场地位**：2024年中国大陆半导体设备销售额达496亿美元，同比增长35%，占据全球42%的市场份额[41] - **国内扩产动力**：国内晶圆厂产能利用率持续回升，中芯国际3Q2025产能利用率达95.8%，华虹半导体同期产能利用率高达109.5%[44] 预计2026年国内先进逻辑扩产将提速[44] 存储方面，AI驱动存储超级周期，DRAM及NAND价格快速上涨，预计2026年需求分别同比增长26%和21%[44] 国内长江存储和长鑫存储扩产计划明确，预计2026年国内存储扩产将加速[44] - **自主可控进展**：国内半导体设备厂商在重点环节均实现28nm制程突破，部分环节已达先进节点[47] 但ALD、光刻、量测检测、离子注入、涂胶显影等环节国产化率仍极低，约在10%左右，是当前国产化的“卡脖子”环节[50][51] 推荐四大景气方向 - **方向一：AI驱动存储超级周期**：AI驱动的HBM和高端存储需求创造了结构性设备投资机会[4] 3D NAND堆叠与DRAM技术迭代使刻蚀、薄膜沉积设备的使用量和价值量倍增[4] 建议紧跟长鑫、长存等国内龙头扩产步伐，布局存储业务占比高的设备公司[4][58] - **方向二：光刻机国产化破晓**：光刻机是国产化率最低、技术壁垒最高的环节[59] 2026年28nm光刻机有望实现从0到1的量产突破，将带动核心子系统与零部件公司业绩与估值双提升[4][64] - **方向三：前沿技术演进，ALD设备迎来黄金发展期**：在3D NAND、GAA晶体管、3D DRAM等前沿领域，ALD技术从辅助工艺升级为核心工艺，是前道设备中增长最快的环节之一[4][71] 外部管制下，国产厂商正迎来替代窗口期[4] - **方向四：先进封装延续摩尔定律**：面对制程微缩瓶颈，先进封装成为提升性能的主航道[4] AI芯片对CoWoS、HBM的需求爆发，催生了从TSV刻蚀、微凸块电镀到高精度键合、测试的全链条设备需求[4] 该领域技术门槛呈阶梯分布，为国产设备商提供了广阔的切入和替代空间[4][81] 投资建议及重点公司 - **投资主线**：报告建议沿四条主线布局[4][87] 1. **平台型龙头**：北方华创 2. **细分领域龙头**：中微公司（刻蚀）、拓荆科技（薄膜沉积CVD龙头）、微导纳米（ALD龙头） 3. **高弹性与突破标的**：关注芯源微（涂胶显影）、华海清科（CMP）、华峰测控/长川科技（测试），以及光刻机产业链公司 - **重点公司核心逻辑**： - **北方华创**：作为平台型龙头，覆盖刻蚀、薄膜、热处理、清洗等多领域，受益于国产算力发展、先进制程扩产及国产化率提升三重驱动[90][92] - **中微公司**：刻蚀设备领军企业，其CCP、ICP设备在先进逻辑和存储芯片制造中大量量产；同时薄膜设备（如CVD钨、ALD氮化钛等）已实现放量，工艺覆盖度不断提升[94][95] - **拓荆科技**：中国薄膜沉积设备龙头，PECVD、ALD、SACVD等设备工艺覆盖面不断扩大，先进制程设备进入规模化量产；同时键合及配套量检测设备陆续出货，应用于先进存储和逻辑领域[97][98] - **微导纳米**：半导体ALD设备龙头，深度绑定国内存储客户，将受益于存储扩产浪潮；此外，在光伏ALD设备领域保持领先，并正在研发锂电ALD镀膜设备，有望打造第三增长曲线[100][102]

活动概况 - 杭州高新区（滨江）于12月17日至19日组织近二十家上市后备企业高管赴上海开展研学活动 [1] - 活动旨在推动科技、产业与资本深度融合，搭建科技企业与金融市场的对接桥梁，助力企业高质量发展 [1] - 活动由杭州高新区（滨江）发展和改革局、党委人才办主办，采用“实地参访+深度对话+场景体验”的多元形式 [1][2] 产业前沿与技术创新学习 - 研学团首日参访上海人形机器人创新孵化器，实地参观研发成果与应用场景，了解行业前沿动态 [2] - 孵化器副总经理彭拓宇分享了发展背景、运营现状及产业赋能价值 [2] - 若山资本创始人刘宁生以“构建企业核心护城河”为主题进行专题授课，提供实操性指导 [2] 资本市场对接与金融产品学习 - 研学团次日参与上海证券交易所全国首单“5050人才专项ABS”挂牌仪式，观摩流程并听取产品设计逻辑解读 [3] - 该创新金融产品为科技型企业开辟了传统股权融资之外兼顾融资效率与人才留存的新资本运作路径 [3] - 研学团与上交所相关负责人进行座谈交流 [3] - 在深圳证券交易所上海中心，总监李放瑜解读了深市多层次资本市场功能定位及服务创新型企业的核心抓手 [4] - 高级经理叶思辰系统解读了深市各板块上市规则、差异化定位及资本市场趋势，并介绍了深交所对浙江企业的服务支持 [4] - 滨江企业代表就股权架构梳理、合规材料筹备等实际问题与深交所专家进行了一对一深度探讨 [4] 标杆企业参访与行业交流 - 活动最后一日，研学团参访华大半导体，该公司重点布局汽车电子、工业控制、物联网领域的控制芯片、功率半导体、高端模拟芯片和安全芯片 [5] - 华大半导体形成了竞争力强劲的产品矩阵及全面的解决方案 [5] - 研学团参访至纯科技（603690），该公司深耕半导体制造领域的湿法工艺整体解决方案 [5] - 至纯科技的技术方案广泛应用于芯片制造等高端制造场景，进入了中芯国际、长江存储等行业头部企业供应链 [5] - 两家企业高管与研学团围绕技术创新突破、企业数字化转型、产业链协同发展等关键议题展开经验分享与探讨 [5] 活动成果与影响 - 活动为期三天，内容涵盖前沿产业、金融领域及资本市场实践，为滨江上市后备企业高管带来深度学习交流 [6] - 企业管理者通过活动对多层次资本市场运作逻辑、企业上市核心路径与关键挑战有了更全面深刻的认知 [6] - 活动在与行业领军者的思想碰撞中拓宽了企业发展视野，明晰了创新方向 [6] - 此次活动搭建了滨江与上海优质资源对接的桥梁，为区域科技、产业与资本深度融合注入新活力 [6] - 活动为滨江企业借力资本市场实现高质量发展、冲刺上市目标奠定了更为坚实的基础 [6]

证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2025-121 关于为控股子公司提供担保的公告 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述 或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。 重要内容提示： 担保对象及基本情况 | 被担保人名称 | 本次担保金额 | 实际为其提供的 | | 是否在前期预计 | 本次担保是否有 | | --- | --- | --- | --- | --- | --- | | | | 担保余额（不含本 次担保金额） | | 额度内 | 反担保 | | 上海波汇科技有限 | 万元 1,000 | 5,000 | 万元 | 是 | 否 | | 公司 | | | | | | | 对外担保逾期的累计金额（万元） | 0 | | --- | --- | | 截至本公告日上市公司及其控股 子公司对外担保总额（万元） | 333,088.15 | | 对外担保总额占上市公司最近一 | 68.95% | | 期经审计净资产的比例（%） | | | 特别风险提示（如有请勾选） | ☑担保金额（含本次）超过上市公司最近一期 | | | 经审计净资产 50 ...

至纯科技公告称，公司为控股子公司波汇科技向银行申请授信贷款，与上海浦东发展银行松江支行签订 《最高额保证合同》，提供1000万元连带责任保证，无反担保，截至公告日累计为其担保余额5000万 元。本次担保金额在股东会批准额度内，无需再审议。波汇科技为公司全资子公司，公司持股100%。 截至公告日，公司实际对外担保总额33.31亿元，占2024年度经审计净资产的68.95%，无逾期担保。 ...

公司股价与交易表现 - 12月26日盘中，公司股价下跌2.02%，报30.60元/股，总市值117.19亿元，当日成交额3.70亿元，换手率3.14% [1] - 当日主力资金净流出2442.52万元，特大单与大单均呈现净卖出状态，其中特大单净卖出1018.36万元，大单净卖出1424.16万元 [1] - 公司今年以来股价上涨22.11%，近期表现各异，近5个交易日上涨5.12%，近20日上涨6.25%，近60日上涨3.07% [1] - 今年以来公司已7次登上龙虎榜，最近一次为10月15日，龙虎榜净买入额为-9341.60万元，买入总计3.58亿元（占总成交额7.92%），卖出总计4.51亿元（占总成交额9.98%） [1] 公司业务与财务概况 - 公司主营业务为半导体制程设备、工艺支持设备的研发生产销售，以及高纯工艺系统建设、电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务 [2] - 主营业务收入构成为：系统集成72.70%，设备业务18.70%，电子材料8.29%，其他(补充)0.30% [2] - 2025年1-9月，公司实现营业收入23.67亿元，同比减少10.33%；归母净利润8469.67万元，同比减少56.08% [2] - 公司A股上市后累计派现2.48亿元，近三年累计派现1.36亿元 [3] 公司股东与机构持仓 - 截至10月31日，公司股东户数为11.08万户，较上期增加43.52%；人均流通股为3457股，较上期减少30.32% [2] - 截至2025年9月30日，香港中央结算有限公司为新进第四大流通股东，持股668.43万股；国泰中证半导体材料设备主题ETF为新进第九大流通股东，持股281.15万股；南方中证1000ETF退出十大流通股东之列 [3] 公司行业与概念归属 - 公司所属申万行业为电子-半导体-半导体设备 [2] - 公司所属概念板块包括中芯国际概念、半导体设备、大基金概念、集成电路、半导体等 [2]

公司股价表现与交易数据 - 12月24日，至纯科技股价上涨1.6%，报收31.20元/股，成交额12.26亿元，换手率10.17%，总市值119.48亿元 [1] - 公司股价已连续3天上涨，区间累计涨幅达7.18% [1] 公司基本信息与业务构成 - 上海至纯洁净系统科技股份有限公司成立于2000年11月13日，于2017年1月13日上市 [1] - 公司主营业务涉及半导体制程设备、工艺支持设备的研发、生产和销售，以及高纯工艺系统建设、电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务 [1] - 主营业务收入构成为：系统集成72.70%，设备业务18.70%，电子材料8.29%，其他(补充)0.30% [1] 基金持仓与浮盈情况 - 汇安基金旗下汇安趋势动力股票A（005628）在第三季度重仓至纯科技，持有6.78万股，占基金净值比例为4.59%，为第八大重仓股 [2] - 测算显示，12月24日该基金持仓至纯科技浮盈约3.32万元，连续3天上涨期间累计浮盈14.17万元 [2] 相关基金表现 - 汇安趋势动力股票A（005628）最新规模为1000.6万元，今年以来收益率为27.38%，同类排名1843/4197 [2] - 该基金近一年收益率为20.49%，同类排名2542/4157，成立以来收益率为40.47% [2] - 基金经理陈思余累计任职时间2年62天，现任基金资产总规模3.62亿元，任职期间最佳基金回报36.21%，最差基金回报-3.29% [3]

活动与奖项概述 - 格隆汇于12月22日在线举办“科技赋能·资本破局”分享会 并在会上揭晓了“金格奖”年度卓越公司评选榜单 [1] - 共有8家上市公司荣获“年度卓越IR团队（大市值）”奖项 按公司首字母顺序排列分别为复宏汉霖(02696.HK)、鹏欣资源(600490.SH)、首程控股(00697.HK)、新世界发展(00017.HK)、至纯科技(603690.SH)、中国燃气(00384.HK)、中国再保险(01508.HK)、中集集团(000039.SZ/02039.HK) [1] 奖项评选标准与目的 - 该奖项旨在表彰优秀的上市公司投资者关系团队为推动行业变革与发展作出的卓越贡献 [1] - 评选着重关注IR团队与投资者之间的交流渠道建设与沟通联系 并引领市场以长远目光考量企业综合表现 [1] - 评选通过定量数据分析和专家评审团等方式得出最终结果 [1] - 在当前市场日渐成熟、监管趋严的背景下 投资者关系工作正向“数字化”、“精细化”、“系统化”方向发展 [1] 评选机构与范围 - 格隆汇以“全球视野，下注中国”为初衷 旨在打造投资圈中最具参考价值的上市公司及独角兽公司排行榜 [2] - 此次“金格奖”评选覆盖港交所、上交所、深交所、纽交所、美国证券交易所、纳斯达克证券交易所挂牌上市的全部上市公司及独角兽公司 [2]

公司股价与交易表现 - 12月22日盘中，公司股价上涨2.03%，报29.70元/股，总市值113.74亿元，当日成交额1.99亿元，换手率1.76% [1] - 当日资金流向显示主力资金净流入1442.95万元，其中特大单净买入132.66万元，大单净买入1310.29万元 [1] - 公司股价今年以来累计上涨18.52%，近期表现方面，近5个交易日涨1.02%，近20日涨5.39%，近60日涨3.41% [1] - 今年以来公司已7次登上龙虎榜，最近一次为10月15日，当日龙虎榜净卖出9341.60万元，买入总额3.58亿元（占总成交额7.92%），卖出总额4.51亿元（占总成交额9.98%） [1] 公司业务与行业概况 - 公司主营业务为半导体制程设备、工艺支持设备的研发生产销售，以及高纯工艺系统建设、电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务 [2] - 主营业务收入构成为：系统集成72.70%，设备业务18.70%，电子材料8.29%，其他(补充)0.30% [2] - 公司所属申万行业为电子-半导体-半导体设备，所属概念板块包括中芯国际概念、大基金概念、中盘、融资融券、集成电路等 [2] 公司财务与股东情况 - 2025年1-9月，公司实现营业收入23.67亿元，同比减少10.33%；归母净利润8469.67万元，同比减少56.08% [2] - 截至10月31日，公司股东户数为11.08万户，较上期增加43.52%；人均流通股为3457股，较上期减少30.32% [2] - 公司A股上市后累计派现2.48亿元，近三年累计派现1.36亿元 [3] - 截至2025年9月30日，十大流通股东中，香港中央结算有限公司为新进第四大股东，持股668.43万股；国泰中证半导体材料设备主题ETF为新进第九大股东，持股281.15万股；南方中证1000ETF退出十大流通股东之列 [3]

公司融资与合作 - 控股子公司至纯精密气体完成3.15亿元人民币增资扩股，资本实力显著增强，为后续项目建设、技术研发及业务拓展提供支撑 [2] - 增资引入包括梅塞尔中国在内的多家产业投资方，梅塞尔中国以5000万元人民币参与本轮增资 [2] - 至纯科技与梅塞尔中国达成战略合作协议，形成“投资+业务协同”的合作模式，有助于推动合作内容更快落地 [2] - 增资完成后，至纯科技仍保持对子公司的实际控制权，上市公司合并报表范围不发生变化 [2] 公司业务与技术 - 电子大宗气体被广泛应用于晶圆制造核心工序，对纯度控制、连续供应和安全管理要求极高 [2] - 至纯科技此前已在高纯介质系统及气体现场服务领域形成技术积累，并通过实际项目验证了其系统集成和运营能力 [2] - 梅塞尔集团在全球工业气体领域拥有长期运营经验，其在电子气体技术、供应链管理及安全体系方面的优势，与至纯科技的本土化服务能力形成互补 [2] - 双方合作有助于提升电子大宗气体项目的整体运营水平 [2] 行业背景与战略意义 - 随着国内半导体制造能力不断提升，电子大宗气体领域的本土化配套需求持续增长 [2] - 电子大宗气体作为半导体产业的重要基础支撑，其供应稳定性已成为产业链安全的重要一环 [3] - 公司通过引入产业资本、强化战略合作，有望在保持公司治理稳定的前提下，加快在该细分领域的规模化布局 [3] - 此次增资与合作兼顾了长期战略与股东利益，有助于公司在半导体核心配套领域持续推进高质量发展 [3]

公司对外担保情况 - 截至公告日 公司实际对外担保总额为324,365.59万元人民币 [1] - 该担保总额占公司2024年度经审计归属于上市公司股东净资产的67.14% [1] - 公司不存在对全资及控股子公司以外的担保对象提供担保的情形 [1] - 公司不存在对控股股东和实际控制人及其关联人提供担保的情形 [1] - 公司及控股子公司不存在逾期担保的情形 [1]