股份回购 - 2024年第一期回购资金3000 - 6000万元，价格不超51元/股，累计回购803,658股[1][2] - 2024年第二期回购资金4000 - 8000万元，价格不超42.76元/股，累计回购2,901,842股[4] - 截至核查日，回购专用账户共持有3,705,500股[4] 分红与股本 - 2025年5月22日新增股份3,479,154股，总股本增至461,157,283股[7] - 以扣减回购股份后为基数，拟派发现金红利19,974,795.68元、20,127,878.45元[5][8] - 虚拟分派每股现金红利约0.04365元/股[9] 除权除息 - 以6月3日收盘价测算，虚拟、实际除权除息参考价分别为28.71635元/股、28.716元/股[9][10] - 除权除息参考价格影响约0.00122%[10]

分红信息 - 公司拟每股派现0.044元（含税），每10股派0.44元（含税）[3][6] - 以457451783股为基数，拟派现20127878.45元（含税）[6] 时间安排 - 股权登记日为2025/6/24，除权（息）日和发放日为2025/6/25[3][8] 股本变动 - 2025年5月22日新增股份3479154股，总股本增至461157283股[6] 除权参考 - 本次除权（息）参考价=前收盘价格－0.04365元/股[7] 税负情况 - 持股超1年暂免个税，每股派现0.044元[9][11] - 持股1个月内税负20%，1个月至1年税负10%[10] - 限售股及QFII等税后每股派现0.0396元[11]

回购相关 - 2024年第二期回购资金4000 - 8000万元，原价格上限42.76元/股[4] - 2025年6月25日起价格上限调为42.72元/股[3][7] - 调整后拟回购93.63 - 187.27万股，占比0.20% - 0.41%[8] 分红相关 - 拟每10股派现0.44元，不转增不送股[6] - 2025年6月24日登记，6月25日除权（息）[6] - 每股现金红利约0.04365元/股[7]

回购方案 - 首次披露日为2024/11/15，由董事长王磊提议[2] - 实施期限为董事会审议通过后12个月[2][4] - 预计回购金额4000万元~8000万元[2] - 用途为员工持股计划或股权激励[2] 回购进展 - 累计已回购股数2901842股，占总股本0.63%[2] - 累计已回购金额79526891.92元[2] - 实际回购价格区间23.66元/股~30.70元/股[2] 公司股本 - 公司总股本为461157283股[5]

报告公司投资评级 - 投资评级为增持（维持） [1] 报告的核心观点 - 微导纳米2025年4月25日发布2024年年报，4月28日发布2025年一季报，2024年营收上升但归母净利润下降，2025年一季度营收和归母净利润大幅上升 [3][4] - 2024年半导体设备收入增长且占比提升，光伏设备收入增长但毛利率下降，在手订单中半导体领域增长明显 [5] - 2024年利润受研发费用增加和计提坏账及资产减值损失影响，经营现金流净额为负 [6] - 半导体业务推进产品布局和市场拓展，光伏业务稳健经营并持续技术升级 [7][8] - 考虑光伏行业景气度下行，调整2025 - 2027年营收和归母净利润预测，维持“增持”评级 [8] 根据相关目录分别进行总结 财务数据 - 2024年营收27.00亿元，同比上升60.74%；归母净利润2.27亿元，同比下降16.16%；毛利率39.99%，同比下降3.65pct；归母净利率8.40%，同比减少7.70pct [3] - 2024年Q4营收11.56亿元，同比提高75.58%；归母净利润0.76亿元，同比下降34.14%；毛利率42.18%，同比下降3.44pct；净利率6.57%，同比下降10.95pct [4] - 2025年Q1营收5.10亿元，同比提高198.95%；归母净利润0.84亿元，同比上升2253.57%；毛利率36.14%，同比下降6.76pct；净利率16.48%，同比上升14.39pct [4] - 2024年半导体设备收入3.27亿元，同比增长168.44%，毛利率27.68%，同比增长0.44pct；光伏设备收入22.90亿元，同比增长52.94%，毛利率40.67%，同比下降3.14pct [5] - 2024年研发费用2.67亿元，同比增长50.78%；计提坏账损失及资产减值损失共计3.80亿元，同比增长165.61% [6] - 2024年经营活动产生的现金流量净额为 - 99,989.87万元 [6] - 调整2025 - 2027年营业收入分别为29.46/33.32/35.89亿元，归母净利润分别为2.88/4.40/4.97亿元 [8] 业务发展 半导体业务 - ALD设备在高介电常数材料等领域产业化应用并获批量重复订单，CVD设备在硬掩膜等领域产业化突破进入存储芯片产线 [7] - 在先进封装领域开发多项技术，已在部分客户端进行样机测试 [7] - 在新型显示硅基OLED等阻水阻氧保护层制备方面获知名厂商验收和重复订单 [7] 光伏业务 - TOPCon电池领域，ALD设备成主流技术路线，PE - Tox+PE - Poly设备产业化进展顺利，整线工艺技术持续创新 [8] - XBC领域，ALD设备累计市场占有率第一，开发高产能LPCVD设备并发货验证 [8] - 积极探索开发钙钛矿/钙钛矿叠层电池技术 [8]

融资计划 - 公司拟发行可转债募资不超过11.7亿元，用于半导体薄膜沉积设备智能化工厂、研发实验室扩建及补充流动资金[1][2] - 半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目总投资6.7亿元，拟使用募资6.43亿元，占总募资额54.96%，预计达产后年销售收入15.65亿元，税后财务内部收益率23.10%，静态投资回收期6.24年[2] - 研发实验室扩建项目总投资4.3亿元，拟使用募资2.27亿元，旨在提升研发能力及科技成果转化能力[3] - 拟使用3亿元补充流动资金，以满足业务快速发展需求[3] 业务发展 - 公司形成以ALD技术为核心，CVD等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系，布局逻辑、存储、新型显示器、化合物半导体等细分领域[4] - 2024年营收27亿元，同比增长198.95%，但净利润0.84亿元同比下滑16.16%[4] - 2024年一季度营收5.1亿元，同比增长198.95%，净利润0.84亿元，同比增长2253.57%[5] - 半导体业务2024年收入3.27亿元，同比增长168%，占营收比重从2022年6.87%提升至2024年12.14%[6] 研发投入与订单储备 - 2022-2024年研发投入累计8.65亿元，其中每年超60%投向半导体领域[5] - 截至2024年底，半导体业务在手订单15.05亿元，同比增长65.91%，总在手订单67.72亿元（光伏51.88亿元，新兴应用0.79亿元）[6] - 2024年新增专利授权49项，累计授权178项，新增申请252项，累计申请613项[6]

融资进展 - 2025年5月23日公司可转债申请获上交所审核通过[1] - 发行可转债尚需获证监会同意注册[1] - 最终能否获批及时间不确定[1]

股权激励计划执行情况 - 公司完成2023年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期及预留授予部分第一个归属期股份登记，上市流通总数为3,479,154股，上市日期为2025年6月3日[1] - 首次授予部分第二个归属期实际归属2,711,702股，涉及262名激励对象，原可归属数量为2,725,652股，4名激励对象自愿放弃13,950股[10] - 预留授予部分第一个归属期实际归属767,452股，涉及237名激励对象，原可归属数量为780,211股，16名激励对象自愿放弃12,759股[11] 激励对象归属细节 - 首次授予部分第二个归属期中，总经理ZHOU REN（周仁）归属75.742万股，占其获授总量的20%，核心骨干人员归属22.722万股，占比20%[8] - 董事会秘书龙文归属4.31万股（占25%），财务负责人俞潇莹归属2.8725万股（占25%），核心技术人员吴兴华归属2.6505万股（占22.5%）[9] - 预留授予部分第一个归属期合计归属76.7452万股，占预留总量的24.81%，涉及237名核心骨干及中层管理人员[11] 股本变动与财务影响 - 归属后公司总股本由457,678,129股增至461,157,283股，控股股东及实际控制人持股比例未发生变化[15] - 以2025年第一季度净利润8,410万元计算，归属后基本每股收益从0.1852元/股摊薄，新增股份占总股本比例0.76%[16] - 激励对象合计缴纳出资5,101.62万元，其中3,479,154元计入股本，4,753.7万元计入资本公积[15] 决策程序与时间线 - 2023年3月董事会及股东大会审议通过激励计划草案，2024年3月完成预留授予决策[5][6] - 2025年4月董事会审议通过本次归属条件成就议案，并作废部分未归属股票[8] - 天职国际会计师事务所出具验资报告，确认激励对象出资及股本变更情况[15]

现金分红调整 - 公司2024年年度利润分配拟维持每10股派发现金红利0.44元（含税）不变，派发现金红利总额由19,974,795.68元（含税）调整为20,127,878.45元（含税）[1] - 调整原因是公司完成了2023年限制性股票激励计划股份登记手续，新增股份后总股本变为457,451,783股，按照每股分配比例不变原则相应调整分红总额[1] - 调整前公司总股本为457,678,129股，扣减回购专用证券账户中3,705,500股后作为分红基数[2] 利润分配方案 - 公司分别于2025年4月25日和5月19日召开董事会和股东大会审议通过2024年年度利润分配方案[1] - 调整后公司总股本为461,157,283股，扣减回购股份后每10股派发现金红利0.44元（含税）[3] - 现金分红和回购金额合计93,025,108.37元，占2024年度归属于上市公司股东净利润的41.03%[3] 股份变动情况 - 公司已完成2023年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期及预留授予部分第一个归属期的股份登记手续[1] - 调整前回购专用证券账户中股份总数为3,705,500股[2] - 公司不进行资本公积金转增股本，不送红股[3]

股票上市与归属 - 本次股票上市股数为3479154股，上市流通总数为3479154股，上市流通日期为2025年6月3日[2] - 本次归属股票上市流通数量347.9154万股，其中首次授予部分271.1702万股，预留授予部分76.7452万股[16] 激励计划 - 2023年3月相关会议审议通过激励计划相关议案并进行公示等[2][3][4][5] - 2024年3 - 7月相关会议审议通过授予预留限制性股票等议案[7][8][9] - 首次授予部分第二个归属期归属数量为2711702股，首次授予日为2023年3月29日[10] - 2023年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期实际可归属262人，归属271.1702万股，占首次获授总量22.87%[11][12][13] - 2023年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期实际可归属237人，归属76.7452万股，占预留获授总量24.81%[14][15] - 首次授予价格调整后，A类激励对象5.135元/股，B、C类激励对象17.315元/股，预留授予价格17.315元/股[11][14] 财务数据 - 公司2025年1 - 3月实现归属于上市公司股东的净利润8410.290638万元，基本每股收益0.1852元/股[22] - 本次归属后公司股本总数由45767.8129万股增加至46115.7283万股[19] - 截至2025年5月13日，公司收到465名激励对象出资额合计5101.6177万元，增加股本347.9154万元，增加资本公积 - 股本溢价4753.7023万元[20] 其他 - 激励对象为公司董事和高级管理人员，任职期间每年转让股份不得超所持总数25%，离职后半年内不得转让[17] - 本次归属的限制性股票数量占归属前公司总股本的比例约为0.76%，对公司财务状况及经营成果不构成重大影响[22]