文章核心观点 - 半导体离子注入机行业正处在技术突破、市场扩容与国产替代三重驱动的关键发展阶段，行业技术壁垒极高，市场高度集中，但国产厂商正加速突破，国产替代进程显著 [4] - 全球市场规模稳步增长，中国市场增速与占比持续提升，是未来重要的增长极和竞争焦点 [5] - 行业面临技术、验证、供应链和人才等多重壁垒，但下游需求、政策支持、技术国产化及工艺多样化趋势构成了行业发展的核心驱动力 [4][16][17][18][19] 半导体离子注入机行业发展市场规模概况 - **全球市场规模**：2024年全球半导体离子注入机市场销售额达31.02亿美元，预计2031年将增长至35.30亿美元，2025-2031年复合年增长率为2.7% [5] - **中国市场地位**：2024年中国市场需求规模为11.87亿美元，占全球市场的38.28%，预计2031年将达13.91亿美元，全球占比提升至39.40% [5] - **生产格局**：美国和日本是两大重要生产地区，2024年产量市场份额分别为74.05%和15.27%，预计未来几年中国将保持最快增速，2031年份额有望达到14.88% [5] - **产品结构**：大束流离子注入机占据主导地位，预计2031年份额将达58.71%，高能离子注入机增速更快，未来几年年均复合增长率为5.7% [5] - **应用领域**：逻辑元件是最大应用市场，2024年份额约为42.78%，未来几年复合年增长率约1.2%，图像传感器和功率器件受下游市场驱动增长较快 [8] - **技术趋势**：随着功率器件等发展，高温注入（铝离子）和氢/氦离子注入产品的市场份额将稳步扩大 [8] - **竞争格局**：国际市场高度集中，应用材料、亚舍立、住友重工、日新和ULVAC等前五大厂商2024年占据约95.6%的市场份额，中国市场前五大厂商份额约为93.6%，但季华恒一、华海清科、北方华创等新进入者加剧了国内市场竞争 [11] 半导体离子注入机行业发展主要特点 - **工艺关键性与技术壁垒**：离子注入机是芯片制造四大核心装备之一，技术门槛极高，开发难度仅次于光刻机 [12] - **市场集中度高**：市场长期由美日企业主导，形成技术成熟、客户黏性强的垄断格局，国产厂商处于逐步替代阶段 [13] - **主流技术类型分化**：市场主流为低能大束流注入机（适配超浅结工艺），中束流注入机用于中深层掺杂，高能注入机用于背面注入与深沟槽结构，氢/氦注入、高温注入等特色工艺成为差异化竞争点 [14] - **国产化进展**：国内厂商如凯世通、烁科中科信、汉辰科技、思锐智能等已实现中束流与大束流平台突破，高能平台逐步验证中，部分国产设备已在12英寸产线实现导入 [15] 半导体离子注入机行业发展有利因素分析 - **下游需求拉动**：全球晶圆制造产能扩张，以及功率器件、图像传感器、第三代半导体、新能源汽车、AI芯片等新兴应用快速增长，直接推动了设备需求 [16] - **技术国产替代**：国产厂商在中束流、大束流乃至高能离子注入平台上持续取得突破，设备开始进入12英寸产线，国产替代正从“可用”迈向“可信” [17] - **政策支持**：国家“强基工程”、集成电路重大专项及地方政府的资金补贴与产业配套政策，为本土企业提供了良好的发展土壤 [18] - **工艺多样化趋势**：高温注入、氢/氦注入、SOI结构制造、MEMS器件加工等新型工艺需求，推动设备向多工艺融合、平台化、定制化方向演进 [19] 半导体离子注入机行业发展不利因素分析 - **技术壁垒高，研发周期长**：设备涉及多学科交叉，从原型设计到工艺验证通常需5至8年，研发周期长、技术迭代慢 [20] - **国际垄断格局稳固**：美日企业设备深度嵌入主流晶圆厂工艺流程，客户黏性极强，国产设备在高端市场导入难度大 [21] - **客户验证门槛高**：晶圆厂对设备要求极高，验证周期往往超过两年，严重制约了国产设备的市场导入速度 [22] - **核心零部件依赖进口**：高精度加速器组件、磁控系统、真空阀门等关键部件高度依赖海外供应，存在“卡脖子”隐患 [23] - **人才与经验积累不足**：国内在关键领域人才储备相对薄弱，企业在设备架构设计、工艺适配等方面经验有限 [24][25] 进入半导体离子注入机行业壁垒 - **技术壁垒**：设备融合多学科技术，系统集成度极高，技术门槛远高于一般工艺设备 [26] - **研发周期与资金壁垒**：从原型设计到客户验证需5-8年，单台设备开发成本可达数亿元人民币，资金压力巨大 [26] - **客户验证壁垒**：晶圆厂验证周期长达1-2年甚至更久，需要客户信任与产线协同能力 [27] - **人才与经验壁垒**：国内在关键领域人才储备薄弱，缺乏长期积累的设备架构设计与客户协同经验 [28] - **品牌壁垒**：市场由应用材料、亚舍立、日新等美日企业主导，客户黏性强，服务体系完善，新进入者突破难度极高 [29]

芯片龙头ETF市场表现 - 12月9日芯片龙头ETF开盘下跌0.38% 报价为1.046元 [1] - 该ETF自2021年8月19日成立以来总回报为5.16% 但近一个月回报为负2.03% [1] 芯片龙头ETF持仓股表现 - 重仓股普遍下跌 其中寒武纪开盘跌幅最大为3.02% 芯原股份跌2.06% 中芯国际跌1.38% 中微公司跌1.47% 海光信息跌1.33% [1] - 部分个股表现相对抗跌 澜起科技与豪威集团微涨0.02% 北方华创与长电科技跌幅较小分别为0.43% [1] 芯片龙头ETF产品信息 - 该ETF的业绩比较基准为中证芯片产业指数收益率 [1] - 基金管理人为富国基金管理有限公司 基金经理为张圣贤 [1]

涉及的行业与公司 * 行业：中国半导体设备行业 [2] * 公司：北方华创、中微公司、盛美上海、拓荆科技、华海清科、中科飞测、金海通 [6][41] 核心观点与论据 * **中国晶圆厂设备支出展望**：预计2025-2027年中国WFE支出将持续增长，2025年支出上调至401亿美元，2026/27年分别上调至440亿/445亿美元，对应同比增长8.2%/9.9%/1.1% [9] 市场普遍认为2026年支出将下降的观点过于保守 [11] * **需求驱动因素**： * **先进逻辑与存储扩产**：先进逻辑产能扩张预计从2025年的4-5万片/月增至2026年的6-8万片/月 [11] 存储方面，长鑫存储和长江存储的合计WFE资本支出预计在2026年增长64%至90亿美元 [3] * **进口数据佐证**：作为领先指标，2025年前10个月上海和广东的光刻机进口额同比分别增长46%和66% [3] 同期中国半导体生产设备进口额恢复同比增长 [18] * **成熟制程满载**：中芯国际和华虹半导体等成熟制程产线利用率高企，并因供应紧张而提高晶圆价格 [20] * **政策支持**：中国第十四个五年规划将支持WFE支出在未来五年保持可持续性 [3] * **本土化进展**：氧化/快速热处理设备及物理气相沉积设备的进口占比持续下降，表明本土化取得扎实进展 [29] 北方华创是本土物理气相沉积和氧化炉设备的领导者 [29] * **公司业绩与增长**：主要中国WFE公司2025年第三季度合计营收达179亿元人民币，同比增长39% [34] 覆盖的三家WFE供应商合计营收预计在2025-2027年分别增长44%/41%/32%，增速超过中国WFE整体需求，表明份额持续提升 [49] * **估值与市场表现**：中国WFE指数价格自10月初高点已回调9% [39] 覆盖的中国WFE公司平均2026年预期市盈率为38倍，对应2026-2028年32%的每股收益复合年增长率，估值具有吸引力 [39] 其2026-2028年净利润复合年增长率预计为32%，显著高于全球同行的8% [46] 重点公司分析 * **北方华创**： * **核心观点**：被新增为关键买入标的，是主要受益者 [2] 市场低估了其在3D NAND产能扩张中的份额增长潜力，以及其在先进逻辑扩产中的需求 [42] * **竞争优势**：在高深宽比电容耦合等离子体刻蚀方面进展超预期 [4] 产品组合更广，其可服务市场覆盖刻蚀、沉积、炉管、清洗，约占WFE总支出的50%，而同行仅专注于单一细分领域 [42] * **财务预测**：2026/27年每股收益预测较市场共识高出5%/13% [43] 2027年每股收益预测上调7% [5] 预计2026-2028年每股收益复合年增长率为30% [50] * **目标价与评级**：目标价从545.50元人民币上调至587.50元人民币，评级为买入 [55] * **中微公司**： * **核心观点**：市场担忧其2025/26年盈利能力，但高研发投入为长期增长铺平道路 [44] * **财务预测**：2027年每股收益预测上调2% [5] * **目标价与评级**：目标价从351.50元人民币微调至352.50元人民币，评级为买入 [60] * **盛美上海**： * **核心观点**：市场担忧清洗领域竞争加剧，但公司在高端清洗工具方面取得扎实进展，预计将抢占日本同行的份额 [45] 9月向主要逻辑客户交付了首台KrF涂胶显影设备 [45] * **财务预测**：2027年每股收益预测上调2% [5] * **目标价与评级**：维持222.00元人民币目标价和买入评级 [64] 风险提示 * **行业下行风险**：宏观经济和终端需求差于预期、地缘政治紧张局势加剧及限制延长、半导体下行周期长于预期、中国晶圆厂暂停项目并削减资本支出超出预期、研发进展慢于预期 [78] * **行业上行风险**：终端需求复苏快于预期、地缘政治紧张局势缓解及限制取消、半导体行业下行周期短于预期、中国晶圆厂资本支出计划比预期更激进、中国WFE供应商取得技术突破导致市场份额大幅提升 [79] * **北方华创特定风险**：地缘政治紧张局势加剧及限制扩大、中国WFE需求弱于预期、竞争加剧导致在刻蚀、沉积和清洗业务中市场份额流失 [75] * **中微公司特定风险**：地缘政治紧张局势加剧及限制扩大、中国WFE需求弱于预期、竞争加剧导致刻蚀市场份额流失、新产品开发时间长于预期、关键管理和研发领导离职 [76] * **盛美上海特定风险**：地缘政治紧张局势加剧及限制延长、中国WFE需求弱于预期、竞争加剧导致清洗设备市场份额流失、新产品开发时间长于预期 [77]

行业与公司 * 涉及的行业为中国互联网与人工智能（AI）行业，具体包括AI模型、云服务、AI芯片与服务器、AI智能体平台及SaaS开发商等细分领域[1] * 报告由摩根大通证券（中国）有限公司发布，分析师团队包括姚橙、陈祺、冯令天、徐文韬[4] * 报告明确覆盖并给出投资评级的公司包括：阿里巴巴、腾讯、百度、中微公司、北方华创、华勤技术、浪潮信息[1][32] 核心事件：DeepSeek V3.2发布 * DeepSeek于近期发布了DeepSeek-V3.2和V3.2-Speciale模型，作为2025年9月29日发布的实验性V3.2-Exp模型的后续产品[2] * V3.2模型保留了V3.1-Terminus的混合专家（MoE）架构主体，但引入了DeepSeek稀疏注意力机制（DSA），这是唯一的架构变动[2] * 模型被定位为“为Agent（智能体）构建的推理优先模型”，集成了“思考+工具调用”，思维链和工具调用可在单一轨迹中交错[2] * 模型在大约1,800个合成智能体环境和大约8.5万个复杂指令上进行了训练[2] * Speciale版本放宽了长度和计算限制，在多个推理基准上媲美Gemini 3.0 Pro和GPT-5级系统[2] 性能与效率提升 * DSA机制将长序列的计算复杂度从平方级（O(L²)）降至准线性级（O(L·k)）[3][24] * 当处理长度为128k tokens时，对比V3.1-Terminus，V3.2推理速度提升2-3倍，GPU内存占用减少约30-40%[3][24] * DeepSeek V3.2的Artificial Analysis智能指数从V3.1的大约54提高到约66，智能水平提升22%[17] * 在H800等加速器上，每个token的长上下文成本约降低50%[24] 定价冲击与成本效益 * DeepSeek V3.2实现了API结构性降价，每百万tokens的输入/输出价格分别降至0.28美元/0.42美元[3][19] * 对比V3.1 Reasoning（输入0.42美元/输出1.34美元），输入成本降低33%，输出成本降低69%[3][19] * 对比更早的R1模型（输入1.35美元/输出4.00美元），降价幅度更大[3][19] * 部分工作负载的长上下文推理成本降低了6-10倍[3][19] * 报告将此称为中国AI市场的第二波“DeepSeek冲击”，即以国内适中的价格获得接近前沿模型的开源推理能力[1][3][20] 对中国AI生态的受益者分析 云运营商 * 提供模型即服务（MaaS）的云运营商是直接受益者，例如阿里云、腾讯云和百度智能云[13] * 云供应商可以提高AI工作负载的利润率（价格相同、成本下降），或通过降价推动MaaS普及率[13] * V3.2已迅速在国内云端部署，华为云和Ascend实现了Day-0支持，寒武纪、海光、优刻得等也已集成或优化[13] * 阿里云明确指出其集成的V3.2-Exp处理长文本的成本比V3.1低[13] 国内芯片与服务器制造商 * 主要受益者包括国内芯片制造商，其次是国内GPU/服务器厂商[14] * V3.2-Exp是率先在首日便针对非CUDA生态（包括华为CANN堆栈和Ascend硬件、寒武纪vLLM-MLU、海光DTK）进行优化的国产主流前沿模型之一[1][14] * 这表明GPT-5级开源模型可以在国产加速器上高效运行，降低了中国AI买家的潜在执行风险，并可能带动增量需求[14] AI智能体平台与垂直SaaS开发商 * 对于智能体SaaS和垂直AI开发商，V3.2可以在大幅降低可变成本的情况下，提供更高智能、更长记忆引擎，改善单位经济效益[16] * V3.2的“思考+工具调用”和128k-token上下文能力面向AI助理、开发者智能体和垂直行业（编码、法律、金融、医疗保健）助理的工作流程[16] * Hugging Face和ModelScope上提供的宽松式许可开放权重模型，降低了独立SaaS构建者微调或自托管的门槛[16] 行业竞争格局与定价趋势 * DeepSeek V3.2是前沿大语言模型API的“价格颠覆者”，其定价明显低于其他具有类似智能水平的模型，将对竞争对手的token价格造成下行压力[26] * 对比中美大语言模型API，中国模型（如DeepSeek V3.2、Kimi K2 Thinking等）处于“最具吸引力”价值象限，每百万token价格低于2美元，尤其在输出方面成本效益显著[27] * 美国旗舰闭源模型（如GPT-5.1、Claude Opus 4.5等）占据更高的价格带，智能水平略胜一筹，但成本溢价明显[27] * 美国生态在绝对峰值性能上领先，但中国API在性价比方面竞争激烈，为大规模部署提供了更优的价值主张[27] 模型代际对比（V3.2 vs V3.1） * **架构与效率**：V3.1使用标准的密集多头潜在注意力（MLA）；V3.2引入DSA，在长上下文下大幅降低计算复杂度和成本[24] * **能力定位**：V3.1是强大的混合“思考”模型，聚焦一般聊天和稳定性；V3.2是以推理为先的智能体级引擎，针对智能体行为深度训练[21][24] * **硬件生态**：V3.1主要针对英伟达CUDA优化；V3.2为华为Ascend、寒武纪、海光提供了Day-0支持，标志着明确转向国产硬件自主[24]

证券代码：002371 证券简称：北方华创 公告编号：2025-071 北方华创科技集团股份有限公司 关于 2025 年股票期权激励计划内幕信息知情人及激励对象 买卖公司股票情况的报告 本公司及董事会全体成员保证信息披露的内容真实、准确、完整，没有虚 假记载、误导性陈述或者重大遗漏。 北方华创科技集团股份有限公司（简称"公司"）于 2025 年 11 月 21 日召开 了第八届董事会第二十九次会议，审议通过了《关于<北方华创科技集团股份有 限公司 2025 年股票期权激励计划（草案）>及其摘要的议案》等议案，具体内容 详见公司 2025 年 11 月 22 日刊登于信息披露媒体《中国证券报》《证券时报》《上 海证券报》及巨潮资讯网（www.cninfo.com.cn）上的相关公告。 根据《上市公司股权激励管理办法》（以下简称"《管理办法》"）、《深圳证 券交易所上市公司自律监管指南第 1 号——业务办理》等相关规定，公司针对 2025 年股票期权激励计划（以下简称"本次激励计划"）采取了充分必要的保密 措施，对本次激励计划的内幕信息知情人做了必要登记,并对内幕信息知情人及 激励对象在本次激励计划公告前 6 个 ...

北方华创科技集团股份有限公司 对外担保管理制度 （2025 年 12 月 8 日，经公司 2025 年第三次临时股东大会审议通过） 第一章 总则 第一条 为规范北方华创科技集团股份有限公司（以下简称"公司"）的对外担 保行为，有效防范公司对外担保风险，确保公司资产安全，维护股东利益，根据《公 司法》《民法典》《深圳证券交易所股票上市规则》《深圳证券交易所上市公司自律监 管指引第 1 号——主板上市公司规范运作》等法律法规以及《北方华创科技集团股 份有限公司章程》（以下简称"《公司章程》"）的有关规定，结合公司的实际情况， 制定本制度。如下属子公司为上市公司的，优先适用其上市所在地的法律法规和监 管规则。 第二条 本制度所称对外担保是指公司为他人提供的担保，包括公司对下属子公 司（包括全资子公司、控股子公司和实际控制的子公司，下同）提供的担保。公司 下属子公司的对外担保，视同公司行为，其对外担保应执行本制度。担保形式包括 保证、抵押及质押。具体种类可能是银行借款担保、银行开立信用证和银行承兑汇 票担保、开具保函等因向银行申请授信而提供的担保行为。 第三条 公司对外担保实行统一管理，非经公司董事会或股东会审议批准 ...

北方华创科技集团股份有限公司 公司章程 （2025 年 12 月 8 日，经公司 2025 年第三次临时股东大会审议通过） 二○二五年十二月修订 | 第一章 | 总则 | 1 | | --- | --- | --- | | 第二章 | 经营方针和范围 | 2 | | 第三章 | 股份 | 2 | | 第一节 | 股份发行 | 2 | | 第二节 | 股份增减和回购 | 3 | | 第三节 | 股份转让 | 4 | | 第四章 | 股东和股东会 | 5 | | 第一节 | 股东 | 5 | | 第二节 | 控股股东和实际控制人 | 7 | | 第三节 | 股东会的一般规定 | 8 | | 第四节 | 股东会的召集 | 10 | | 第五节 | 股东会的提案与通知 | 12 | | 第六节 | 股东会的召开 | 13 | | 第七节 | 股东会的表决和决议 | 15 | | 第五章 | 董事和董事会 | 18 | | 第一节 | 董事的一般规定 | 18 | | 第二节 | 董事会 | 21 | | 第三节 | 独立董事 | 25 | | 第四节 | 董事会专门委员会 | 27 | | 第六章 | 公司管理层 | ...

北方华创科技集团股份有限公司 股东会议事规则 （2025 年 12 月 8 日，经公司 2025 年第三次临时股东大会审议通过） 第一章 总则 第一条 为维护北方华创科技集团股份有限公司（以下简称"公司"）及公司 股东的合法权益，保证股东会会议程序及决议的合法性，提高股东会议事效率，根 据《中华人民共和国公司法》（以下简称"《公司法》"）、《中华人民共和国证 券法》、《上市公司股东会规则》（以下简称"《股东会规则》"）、《北方华创 科技集团股份有限公司章程》（以下简称"《公司章程》"）等有关规定，结合公 司实际情况，制定本规则。 第二条 公司应当严格按照法律、行政法规、本规则及《公司章程》的相关规 定召开股东会，保证股东能够依法行使权利。 公司董事会应当切实履行职责，认真、按时组织召开股东会。公司全体董事应 当勤勉尽责，确保股东会正常召开和依法行使职权。 第三条 股东会应当在《公司法》《股东会规则》《公司章程》规定的范围内 行使职权。 第四条 股东会分为年度股东会和临时股东会。年度股东会每年召开一次，应 当于上一会计年度结束后的六个月内举行。临时股东会不定期召开，出现《公司法》 相关规定的应当召开临时股东会的 ...

（2025 年 12 月 8 日，经 2025 年第三次临时股东大会审议通过） 第一章 总则 第一条 为完善北方华创科技集团股份有限公司（以下简称"公司"）治理结构， 促进公司规范运作，维护公司和股东的利益，根据《中华人民共和国公司法》（以下 简称"《公司法》"）《中华人民共和国证券法》（以下简称"《证券法》"）《上市公司章 程指引》《上市公司治理准则》《深圳证券交易所股票上市规则》（以下简称"《股票 上市规则》"）《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第 1 号——主板上市公司规范 运作》《国务院办公厅关于上市公司独立董事制度改革的意见》《上市公司独立董事 管理办法》等法律、行政法规、规范性文件以及《北方华创科技集团股份有限公司 章程》（以下简称"《公司章程》"）的有关规定，并结合公司实际情况，制定本制度。 第二条 独立董事是指不在公司担任除董事外的其他职务，并与公司及其主要 股东、实际控制人不存在直接或者间接利害关系，或者其他可能影响其进行独立客 观判断关系的董事。 独立董事应当独立履行职责，不受公司及其主要股东、实际控制人等单位或者 个人的影响。 第三条 独立董事对公司及全体股东负有忠实与勤勉义务。独立董 ...

北方华创科技集团股份有限公司 董事会议事规则 （2025 年 12 月 8 日，经 2025 年第三次临时股东大会审议通过） 第一章 总则 同意后，提交董事会审议： （一）披露财务会计报告及定期报告中的财务信息、内部控制评价报告； 第一条 为健全和规范北方华创科技集团股份有限公司（以下简称"公司"） 董事会议事和决策程序，保证公司经营、管理工作的顺利进行，根据《中华人民共 和国公司法》（以下简称"《公司法》"）、《中华人民共和国证券法》、《上市 公司治理准则》、《深圳证券交易所股票上市规则》（以下简称"《上市规则》"） 及其他有关法律、法规、规范性文件和《北方华创科技集团股份有限公司章程》 （以下简称"《公司章程》"）的规定，并结合公司的实际情况，制定本规则。 第二条 制定本规则的目的是规范公司董事会议事程序，提高董事会工作效率 和科学决策的水平。 第三条 公司依法设立董事会，董事会是公司经营管理的决策机构，维护公司 和全体股东的利益，在《公司章程》和股东会的授权范围内，负责公司发展目标和 重大经营活动的决策。 第四条 董事会对外代表公司，代表公司执行公司事务的董事担任公司法定代 表人。公司设执行委员会（以下 ...