财务业绩同比增长 - 营业收入同比增长43.70%至5.04亿元人民币[30][32] - 归属于上市公司股东的净利润同比增长97.91%至6940.67万元人民币[30][32] - 扣除非经常性损益的净利润同比增长122.41%至6578.28万元人民币[30][32] - 基本每股收益同比增长95.24%至0.82元/股[31][37] - 加权平均净资产收益率增加3.13个百分点至7.43%[31] - 公司实现营业收入50425.73万元，同比增长43.70%[78] - 归属于上市公司股东的净利润6940.67万元，同比增长97.91%[78] - 营业收入504257341.67元，同比增长43.70%[100] 成本与费用 - 营业成本301956994.12元，同比增长45.27%[100] - 研发投入总额为4268.65万元人民币，同比下降13.59%[61] - 研发投入占营业收入比例下降5.61个百分点至8.47%[31] - 研发投入占营业收入比例为8.47%，同比下降5.61个百分点[61] - 研发费用42686545.49元，同比下降13.59%[100] 资产与现金流状况 - 经营活动现金流量净额改善至1.12亿元人民币（去年同期为-1.39亿元）[30][32] - 归属于上市公司股东的净资产同比增长118.73%至19.63亿元人民币[30][32] - 总资产同比增长76.27%至34.57亿元人民币[30][32] - 公司资产总额345652.33万元，归属于上市公司股东的净资产196256.75万元[78] - 货币资金682443273.73元，同比增长193.98%[107] - 合同负债627763695.29元，同比增长77.99%[107] - 经营活动现金流量净额111572436.08元，同比改善[100] - 投资活动现金流量净额-674663615.18元，主要因购买理财产品[104] - 筹资活动现金流量净额1009148826.17元，同比增长775.56%[100] - 其他流动资产695339845.42元，同比增长758.34%[107] - 报告期末应收款项融资余额12,188,378.30元[120] - 报告期末其他权益工具投资余额10,000,000.00元[120] 研发活动与技术创新 - 研发人员数量253人，同比增长52.41%，占总员工比例35.29%[67] - 研发人员平均薪酬12.36万元，同比增长40.78%[67] - 累计获得专利授权237项，其中发明专利167项[60] - 在研项目4个，预计总投资规模3.21亿元人民币，累计已投入1.81亿元[64] - 前道涂胶显影设备研发项目累计投入8566.79万元，占预计总投资53.2%[64] - 单片式湿法设备研制项目本期投入1277.84万元，累计投入2867.61万元[64] - 核心零部件技术研发项目本期投入1803.95万元，累计投入6024.43万元[64] - 公司共获得专利授权237项，其中发明专利167项[79] - 公司拥有软件著作权56项[79] - 公司前道涂胶显影设备在28nm及以上工艺节点达到国际先进水平，光刻胶涂覆缺陷及成本控制技术、在线式工艺缺陷检测技术取得突破[56] - 公司前道物理清洗机在自动刷压控制技术上已达到国际先进水平[56] - 公司核心技术涵盖光刻工艺胶膜均匀涂敷技术，在28nm及以上技术节点达到国际先进水平并已开始部分量产[53] - 公司高产能设备架构及机械手优化调度技术在集成电路前道加工领域达到国际先进水平[53] - 公司内部微环境精确控制技术在28nm及以上节点颗粒控制指标达到国际先进水平[53] - 公司晶圆正反面颗粒清洗技术在40nm及以上颗粒去除率达到国际先进水平[54] - 公司化学药品精确供给及回收技术在流量控制精度（±1%）、温度控制精度（±0.5℃）等参数达到国际先进水平[54] - 公司不同尺寸晶圆兼容高效能浸泡单元技术在多种尺寸晶圆兼容方面领先国际知名企业[54] 业务与市场表现 - 前道涂胶显影机新签订单规模同比大幅增长[80] - 公司产品包括涂胶显影机和单片式湿法设备，应用于8/12英寸前道晶圆加工及6英寸以下化合物/MEMS/LED芯片制造[48] - 公司为国家级专精特新"小巨人"企业，主营半导体涂胶显影设备[57] - 公司前道物理清洗机达到国际先进水平并成功实现国产替代[82] - 公司产品通过SEMIS2国际安规认证[74] - 公司主持制定喷胶机、涂胶机两项行业标准[73] - 半导体设备全球销售额预计2022年达1175亿美元（SEMI数据）[44] - 2022年本土晶圆厂加速扩产提升资本开支，为国内半导体设备行业带来饱满订单需求[45] 公司治理与合规 - 公司董事会、监事会及高级管理人员保证半年度报告内容的真实性、准确性和完整性[4] - 公司已在本报告中详细阐述生产经营过程中可能面临的各种风险[5] - 不存在被控股股东及其关联方非经营性占用资金情况[8] - 不存在违反规定决策程序对外提供担保的情况[8] - 不存在半数以上董事无法保证半年度报告真实性、准确性和完整性的情况[8] - 报告期内公司无控股股东及其他关联方非经营性占用资金情况[194] - 报告期内公司无违规担保情况[196] - 报告期内公司无重大诉讼及仲裁事项[198] - 公司2022年半年度报告未经审计[6] 关联交易与承诺 - 公司向关联方沈阳富创精密设备股份有限公司采购原材料及劳务预计金额1000万元人民币，实际发生金额0元人民币[198] - 公司向关联方上海广川科技有限公司采购原材料及劳务预计金额1000万元人民币，实际发生金额64.08万元人民币[198] - 报告期内公司与关联方实际发生的关联交易总额为64.08万元人民币，远低于预计的2000万元人民币[198] - 公司关联交易实际执行率仅为3.2%（64.08万元/2000万元）[198] - 公司股东承诺自上市之日起36个月内不转让所持股份[145] - 公司董事及高级管理人员自上市之日起36个月内不得转让直接和间接持有的首次发行股份的25%[148] - 公司监事自上市之日起36个月内每年转让股份不超过持有总数的25%[148] - 核心技术人自上市之日起12个月及离职后6个月内不得转让股份[148] - 核心技术人员限售期满后4年内每年转让上市前股份不超过上市时持有总数的25%[148] - 第一大股东先进制造承诺避免与公司产生同业竞争[151] - 第一大股东先进制造承诺减少与公司关联交易并确保价格公允[154] - 持股5%以上股东承诺减少关联交易并遵循公平合理原则[154] - 先进制造、中科院沈自所、科发实业承诺限售期届满后2年内每年减持不超过发行前持股总数的25%[157] - 国科投资承诺锁定期满后每年减持不超过发行前持股总数的25%[160] - 周冰冰承诺锁定期满后2年内累计减持不超过上市时持股总数的100%[163] - 公司上市之日起三年内若连续20个交易日收盘价低于最近一期经审计每股净资产将触发股价稳定措施[166] - 公司回购股份单次上限为股份总数的2%[166] - 公司第一大股东增持股份单次上限为股份总数的2%[169] - 董事及高管增持资金要求为上年度税后收入的20%-50%[169] - 稳定股价方案实施期限为公告后90个自然日[166][169] - 股价稳定措施包含公司回购/第一大股东增持/董事高管增持三类主体[166][169] - 触发条件为收盘价连续20日低于调整后每股净资产[166][172] - 稳定方案终止条件包括连续10日收盘价高于每股净资产等三种情形[172] - 未履行增持承诺将扣留股东分红及高管收入[172] - 承诺有效期自2019年6月6日起公司上市后3年[166][172] - 公司董事及高级管理人员承诺履行稳定股价预案，未履行将扣留现金分红及收入[175] - 公司承诺若不符合发行上市条件，将在证监会确认后5个工作日内启动股份购回程序[175] - 第一大股东先进制造承诺不干预公司经营管理，不侵占公司利益[178] - 公司董事及高级管理人员承诺约束职务消费行为，推动薪酬制度与填补回报措施挂钩[178] - 公司及股东承诺遵守公司章程和上市后前三年股东分红回报规划[181] - 公司承诺招股说明书无虚假记载，若存在将依法回购全部新股并赔偿投资者损失[181] - 先进制造承诺对公司招股说明书真实性、准确性、完整性承担法律责任[181] - 公司承诺若招股说明书存在虚假记载或重大遗漏将依法回购全部新股并赔偿投资者损失[184] - 公司董事监事及高级管理人员承诺对信息披露真实性准确性完整性承担个别和连带法律责任[184][187] - 公司上市前全体股东承诺未履行承诺事项时将在股东大会及指定媒体公开说明原因并道歉[187] - 公司核心技术人员承诺若未履行承诺将停止领取薪酬且持有股份不得转让[191] - 第一大股东先进制造承诺承担发行人社保公积金补缴责任及相应赔偿义务[191] - 公司及全体董事监事承诺募集说明书不存在虚假记载误导性陈述或重大遗漏[191] - 公司高级管理人员承诺不无偿向他人输送利益及约束职务消费行为[191] - 招股说明书相关承诺起始日期为2019年6月6日且长期有效[184][187][191] - 赔偿投资者损失工作将在证券监督管理部门认定后10个交易日内启动[184][187] - 回购价格确定为首次公开发行价加上同期银行存款利息[184] - 公司董事及高管承诺将薪酬制度与公司填补回报措施执行情况挂钩[193] - 公司控股股东承诺不越权干预公司经营管理活动且不侵占公司利益[193] - 关联方承诺若违反填补回报措施将依法承担法律责任[193] 投资与子公司活动 - 公司投资设立上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司，初始注册资本17,000万元人民币，持股比例5.88%[115] - 2021年3月上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司增资至127,000万元，公司持股比例降至0.78%[115] - 公司控股子公司上海芯源微企业发展有限公司成立，注册资本5,000万元人民币，公司持股80%[116] - 2021年4月公司全资收购上海芯源微企业发展有限公司，持股比例增至100%[116] - 2021年9月公司以货币形式向上海芯源微企业发展有限公司出资5,000万元[116] - 2022年公司使用募集资金25,000万元向上海芯源微增资，注册资本增至30,000万元[119] - 上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司总资产1,766,735.15万元，净利润-36.24万元[121] - 上海芯源微企业发展有限公司营业收入6,549.13万元，净利润-1,060.23万元[121] 股权激励 - 公司推出两期限制性股票激励计划，覆盖激励对象共计139人次[84] - 公司以39.80元/股授予价格向43名激励对象授予16.25万股限制性股票[135] - 限制性股票授予价格由39.8元/股调整为39.5元/股[135] - 2020年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期归属6.75万股[135] - 2021年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期归属19.47万股[135] - 归属股份于2022年5月30日完成登记并于2022年6月6日上市流通[135] 前瞻性陈述与风险提示 - 公司未来计划、发展战略等前瞻性陈述不构成对投资者的实质承诺[7] - 董事会决议通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案不适用[7] - 公司治理特殊安排等重要事项不适用[7] - 其他事项不适用[10] 政府补助 - 政府补助金额2030.77万元，占净利润比例29.26%[98] 公司基本信息 - 公司注册地址和办公地址均为辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号[25] - 公司法定代表人宗润福[25] - 公司股票简称芯源微股票代码688037在上海证券交易所科创板上市[27] - 公司董事会秘书李风莉联系电话024-86688037[26] - 公司电子信箱688037@kingsemi.com[25][26] - 公司网址http://www.kingsemi.com[25] - 公司半年度报告备置地点未披露[27] - 公司信息披露报纸包括中国证券报上海证券报证券日报证券时报[27] - 公司外文名称KINGSEMI Co., Ltd.外文名称缩写KINGSEMI[25] - 公司主要从事半导体专用设备研发生产和销售[138] 环境保护与节能 - 公司建立完善环境保护制度体系包括环保培训及隐患识别[139] - 公司采购设备时选用技术先进节能设备以减少电能损耗[142] - 公司持续实行内部降本增效工作优化工艺流程[142]

收入和利润（同比环比） - 营业收入同比增长61.99%至1.84亿元人民币[6] - 归属于上市公司股东的净利润同比增长398.34%至3241.35万元人民币[6] - 扣除非经常性损益的净利润同比增长579.64%至3133.30万元人民币[6] - 基本每股收益同比增长387.50%至0.39元/股[6] - 营业总收入同比增长62.0%至1.84亿元人民币（2022年第一季度）对比1.13亿元人民币（2021年第一季度）[32] - 营业利润同比增长525.3%至3523.07万元人民币（2022年第一季度）对比563.56万元人民币（2021年第一季度）[34] - 净利润同比增长398.3%至3241.35万元人民币（2022年第一季度）对比650.42万元人民币（2021年第一季度）[34] - 基本每股收益同比增长387.5%至0.39元/股（2022年第一季度）对比0.08元/股（2021年第一季度）[37] - 营业收入同比增长62.0%至1.84亿元[46] - 净利润同比增长456.4%至3619.57万元[48] 成本和费用（同比环比） - 研发投入同比下降6.32%至1279.20万元人民币[9] - 研发投入占营业收入比例下降5.08个百分点至6.96%[9] - 营业成本同比增长54.7%至1.13亿元人民币（2022年第一季度）对比7270.77万元人民币（2021年第一季度）[32] - 销售费用同比增长51.0%至1683.61万元人民币（2022年第一季度）对比1114.92万元人民币（2021年第一季度）[32] - 管理费用同比增长72.4%至2467.53万元人民币（2022年第一季度）对比1431.51万元人民币（2021年第一季度）[32] - 研发费用同比下降6.3%至1279.20万元人民币（2022年第一季度）对比1365.45万元人民币（2021年第一季度）[32] - 研发费用同比下降22.0%至1065.75万元[46] - 所得税费用增长762.1%至501.34万元[48] - 财务费用为负409.68万元，主要因利息收入高于利息支出[46] 现金流表现 - 经营活动产生的现金流量净额改善至-128.11万元人民币[6][15] - 经营活动现金流入同比增长145.9%至3.39亿元人民币（2022年第一季度）对比1.38亿元人民币（2021年第一季度）[37] - 销售商品提供劳务收到现金同比增长160.8%至3.24亿元人民币（2022年第一季度）对比1.24亿元人民币（2021年第一季度）[37] - 经营活动产生的现金流量净额为-128.11万元，相比去年同期的-1.2375亿元改善明显[40] - 投资活动产生的现金流量净额为-4956.53万元，相比去年同期的-9573.13万元有所改善[40] - 筹资活动产生的现金流量净额为4315.55万元，相比去年同期的5213.92万元有所下降[40] - 经营活动现金流出净额122.68万元，同比改善99.0%[53] - 销售商品收到现金同比增长160.8%至3.24亿元[53] - 投资活动现金流出4351.87万元，主要用于购建长期资产[53] 资产和负债变动 - 货币资金为226,387,647.75元，较期初减少2.5%[23] - 应收账款为205,136,265.18元，较期初下降10.7%[23] - 存货为1,081,945,685.67元，较期初增长16.1%[23] - 在建工程为239,995,215.25元，较期初增长20.9%[26] - 合同负债为433,842,628.42元，较期初增长23.0%[26] - 短期借款为251,204,340.19元，较期初增长17.4%[26] - 资产总计为2,121,237,638.39元，较期初增长8.2%[26] - 归属于母公司所有者权益为915,699,295.14元，较期初增长2.1%[28] - 期末现金及现金等价物余额为1.787亿元，相比期初的1.863亿元减少768.37万元[41] - 货币资金为2.096亿元，与去年底的2.092亿元基本持平[41] - 应收账款为2.065亿元，相比去年底的2.297亿元减少10.1%[41] - 存货大幅增加至10.819亿元，相比去年底的9.322亿元增长16.1%[41] - 合同负债为4.304亿元，相比去年底的3.485亿元增长23.5%[44] - 短期借款为2.512亿元，相比去年底的2.141亿元增长17.3%[44] - 资产总计达到21.319亿元，相比去年底的19.611亿元增长8.7%[44] - 所有者权益合计增长2.4%至9.30亿元[46] - 期末现金余额1.67亿元，较期初下降0.9%[54] 非经常性损益及股东信息 - 政府补助等非经常性损益金额为108.04万元人民币[9][12] - 招商银行银河创新基金持股1,133,185股，占比1.35%[19] - 全国社保基金一一六组合持股997,947股，占比1.19%[19] 其他财务数据 - 总资产较上年度末增长8.18%至21.21亿元人民币[9] - 归属于上市公司股东的所有者权益增长2.06%至9.16亿元人民币[9]

根据您的要求，我对提供的关键点进行了整理和归类。以下是按照单一主题分组的要点： 财务表现：收入与利润 - 公司2021年度报告期内营业收入为人民币8.29亿元，同比增长151.95%[21][24] - 公司2021年度归属于上市公司股东的净利润为人民币7734.95万元，同比增长58.41%[21][24] - 营业收入同比增长151.95%，从2020年的3.289亿元增至2021年的8.287亿元[32][37] - 归属于上市公司股东的净利润同比增长58.41%，从2020年的4882.86万元增至2021年的7734.95万元[32][37] - 归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润同比增长395.83%，从2020年的1287.51万元增至2021年的6383.90万元[32][37] - 基本每股收益同比增长58.62%，从2020年的0.58元/股增至2021年的0.92元/股[34][38] - 扣除非经常性损益后的基本每股收益同比增长406.67%，从2020年的0.15元/股增至2021年的0.76元/股[34][38] - 加权平均净资产收益率增加2.89个百分点，从2020年的6.31%增至2021年的9.20%[34] - 营业收入82,867.25万元，较2020年同期增长151.95%[55] - 归属于上市公司股东的净利润7,734.95万元，较2020年同期增长58.41%[55] - 2021年公司实现营业收入82,867.25万元，净利润7,734.95万元[160] - 营业收入同比增长151.95%，达到828,672,512.29元[162] - 公司营业收入达到8.2867亿元，同比增长151.95%[165] - 主营业务收入8.1346亿元，同比增长155.55%，其中光刻工序涂胶显影设备收入5.062亿元（增长114.40%），单片式湿法设备收入2.896亿元（增长280.56%）[166][169] 财务表现：成本与费用 - 营业成本同比增长171.70%，达到513,096,199.64元[162] - 研发费用同比增长103.68%，达到92,499,621.62元[162] - 销售费用同比增长94.72%，达到72,652,222.45元[162] - 管理费用同比增长61.90%，达到92,471,887.20元[162] - 营业成本为5.131亿元，同比增长171.70%[165] - 主营业务成本5.0919亿元，同比增长175.58%，直接材料成本占比93.48%[166][173] - 直接人工成本增长200.04%，制造费用增长251.92%[176] - 销售费用同比增长94.72%至72.652百万元[182] - 管理费用同比增长61.90%至92.472百万元[182] - 研发费用同比增长103.68%至92.5百万元[185] 财务表现：现金流 - 公司经营活动产生的现金流量净额为人民币1.05亿元，同比增长186.32%[21][24] - 经营活动产生的现金流量净额同比下降1.459亿元，从2020年的-7239.00万元降至2021年的-2.183亿元[32][37] - 经营活动产生的现金流量净额为-218,325,429.94元[162] - 投资活动产生的现金流量净额同比下降228.36%，为-190,691,164.74元[162] - 筹资活动产生的现金流量净额同比增长1,490.96%，达到184,045,700.66元[162] - 经营活动现金流量净额变动主要因业务规模扩大及材料采购支出大幅增加[163] - 经营活动现金流净额恶化至-218.325百万元[186] - 投资活动现金流净额同比下降228.36%至-190.691百万元[186] 财务表现：资产与负债 - 公司总资产达到人民币20.36亿元，较期初增长45.78%[21][24] - 公司归属于上市公司股东的净资产为人民币12.67亿元，较期初增长23.18%[21][24] - 总资产同比增长60.13%，从2020年末的12.246亿元增至2021年末的19.609亿元[32][38] - 公司资产总额196,091.41万元，归属于上市公司股东的净资产89,724.81万元[55] - 货币资金同比下降47.53%至232.141百万元[192] - 应收账款同比增长172.51%至229.75百万元[192] - 存货同比增长131.73%至932.178百万元[192] - 短期借款同比增长879.66%至214.074百万元[195] - 其他权益工具投资余额为1000万元[200] 分红信息 - 公司2021年度拟每10股派发现金红利3.00元（含税），总股本84,156,000股，合计派发现金红利25,246,800元[7] - 公司2021年度现金分红比例为32.64%[7] - 公司总股本为84,156,000股[7] 研发投入与成果 - 公司2021年度研发投入为人民币1.18亿元，同比增长109.25%，占营业收入比例达14.23%[21][24] - 研发投入占营业收入的比例减少2.65个百分点，从2020年的13.81%降至2021年的11.16%[34] - 研发支出9,249.96万元，同比增长103.68%[56] - 共获得专利授权217项，其中发明专利162项，软件著作权54项[61] - 研发投入总额同比增长103.68%至9249.96万元[115][116] - 研发投入总额占营业收入比例为11.16%较上年减少2.65个百分点[115] - 公司累计获得专利授权217项其中发明专利162项[112] - 2021年新增发明专利11项累计申请发明专利361项[113] - 研发费用同比增长103.68%[126] - 研发人员数量217人，占公司总人数比例34.12%[130] - 研发人员薪酬合计4115.53万元，平均薪酬18.97万元[130] - 研发支出总额9249.96万元，占营业收入11.16%[135] - 公司累计获得专利授权217项，其中发明专利162项[135] 具体研发项目 - 前道涂胶显影设备研发项目累计投入7456.06万元[121] - 高端封装涂胶显影设备研制项目累计投入587.91万元[121] - 单片式湿法设备研制项目累计投入1814.06万元[121][125] - 核心零部件技术研发项目累计投入5286.47万元[125] - 承担浸没式涂胶显影设备研发与应用项目（2021-2023年）[109] 技术突破与水平 - 前道涂胶显影设备在28nm及以上工艺节点关键技术取得突破[57] - 前道物理清洗机已掌握28nm工艺节点核心技术[58] - 集成电路前道28nm技术节点颗粒控制指标达国际先进水平[3] - 40nm及以上晶圆颗粒去除率达国际先进水平[7] - 单片式湿法设备在化学药品流量温度控制精度达国际先进水平[8] - 后道先进封装领域多种尺寸晶圆兼容技术领先国际企业[10] - 光刻机联机调度技术弱于国际企业联机经验较少[4] 业务表现：按产品线 - 公司前道涂胶显影设备实现销售收入人民币4.88亿元，同比增长256.13%[21][24] - 公司前道Spin Scrubber清洗设备实现销售收入人民币1.21亿元，同比增长171.21%[21][24] - 公司后道先进封装领域实现销售收入人民币2.15亿元，同比增长51.12%[21][24] - 公司LED领域实现销售收入人民币0.85亿元，同比增长38.21%[21][24] - 光刻工序涂胶显影设备销售量158台套，同比增长102.56%[170] - 单片式湿法设备销售量65台套，同比增长225.00%[170] 业务表现：客户与订单 - 前道Spin Scrubber清洗机获中芯国际等多家Fab厂商批量重复订单[63] - 公司涂胶显影设备打破国外垄断，在集成电路前道晶圆加工环节获得多个前道大客户订单，实现小批量替代[73] - 公司单片式清洗机Spin Scrubber设备达到国际先进水平，在国内多个重要客户处获得批量重复订单[73] - 公司前道涂胶显影设备已获多个前道大客户订单，实现小批量替代[89] - 公司前道Spin Scrubber清洗设备2021年获中芯国际等国内多家Fab厂商批量重复订单[92] - 公司后道设备批量应用于台积电等国内一线大厂，成为主力量产设备[92] - 公司小尺寸设备批量应用于三安光电等国内一线大厂，成为主力量产设备[93] - 前五大客户销售额占比44.20%，其中客户A销售额1.332亿元（占比16.08%）[177][179] 业务表现：累计销售与设备 - 各类涂胶显影设备和单片式湿法设备累计销售超1400台套[68] - 公司各领域涂胶显影和单片式湿法设备累计销售超1400台套[93] - 涂胶显影设备和单片式湿法设备累计销售1400余台套[136] 主营业务构成 - 公司主营业务收入来源于半导体专用设备产品销售，其他业务收入来源于配件销售及维修服务[74] 毛利率变化 - 毛利率37.40%，同比下降4.55个百分点[166] 供应链信息 - 前五名供应商采购额313.2339百万元，占年度采购总额26.39%[181] 政府补助 - 政府补助金额为3,995.79万元，占利润总额比例51.66%[159] 股权激励 - 推出两期限制性股票激励计划覆盖139人次核心骨干[69] 行业与市场环境 - 2021年全球半导体设备销售额达到1030亿美元，同比增长44.7%[83] - 2021年半导体前道设备销售额达到880亿美元，同比增长43.7%[83] - 2022年全球半导体设备销售额预计增长至1140亿美元[83] - 2016-2020年中国大陆半导体设备市场规模从64.6亿美元增长至187.2亿美元，年均复合增长率30.5%[83] - 2020年中国大陆半导体设备市场占全球市场的26.2%，成为全球第一大市场[86] - 全球半导体制造商2022年前资本支出超1400亿美元建29座晶圆厂[94] - 台积电2022年资本开支指引400-440亿美元，预计代工行业增长20%[94] - 中芯国际2022年资本开支增至50亿美元[94] - 中国大陆预计新增12英寸产能148.20万片/月，8英寸产能11.50万片/月[94] - 2022年中国第三代半导体器件市场规模预计突破608.21亿元，三年CAGR达78.4%[98] 产品复杂度 - 前道涂胶显影设备包含10余个功能模块组、100余个功能单元和数万个零部件[88] - 前道涂胶显影设备需确保机械臂平均每小时数千次的运动速度[88] 季度表现 - 第四季度营业收入达2.815亿元，为2021年各季度最高[40]

收入和利润表现 - 营业收入本报告期196,278,856.29元，同比增长31.21%[8] - 营业收入年初至报告期末547,186,894.58元，同比增长158.20%[8] - 归属于上市公司股东的净利润本报告期18,016,220.05元，同比下降53.17%[8] - 归属于上市公司股东的净利润年初至报告期末53,086,158.80元，同比增长18.80%[8] - 公司2021年前三季度营业总收入为5.47亿元，同比增长158.2%[35] - 营业利润为5130.3万元，同比增长51.7%[38] - 净利润为5308.6万元，同比增长18.8%[38] - 基本每股收益为0.63元/股，同比增长18.9%[43] 成本和费用表现 - 营业总成本为5.17亿元，同比增长155.5%[35] - 研发投入本报告期20,134,506.12元，同比增长73.07%[12] - 研发投入年初至报告期末69,532,123.17元，同比增长168.87%[12] - 研发费用为6889.8万元，同比增长191.5%[38] - 销售费用为5066.5万元，同比增长118.3%[38] - 支付的各项税费为3766万元，同比增长117.7%[47] - 支付其他与经营活动有关的现金为6963万元，同比增长49.1%[47] 研发投入相关指标 - 研发投入占营业收入比例本报告期10.26%，同比增加2.48个百分点[12] 现金流表现 - 经营活动产生的现金流量净额年初至报告期末-205,483,279.00元[12] - 经营活动产生的现金流量净额为负2.05亿元，同比恶化130.9%[47] - 投资活动产生的现金流量净额为负1.04亿元，去年同期为正1.33亿元[47] - 筹资活动产生的现金流量净额为正1.40亿元，去年同期为负1050万元[47] - 现金及现金等价物净增加额为负1.70亿元，去年同期为正3381万元[47] - 经营活动现金流入小计为6.83亿元，同比增长184.6%[44] - 购买商品、接受劳务支付的现金为7.00亿元，同比增长231.7%[44] - 购建固定资产等长期资产支付的现金为1.05亿元，同比增长56.2%[47] - 投资支付的现金为2.20亿元，同比减少80.5%[47] - 取得投资收益收到的现金为106万元，同比减少89.8%[47] 资产和负债变动 - 货币资金较年初减少154,774,595.47元，降幅35.0%[30] - 应收账款较年初增加90,046,009.02元，增幅106.8%[30] - 存货较年初增加447,282,207.53元，增幅111.2%[30] - 在建工程较年初增加81,470,080.96元，增幅163.5%[30] - 合同负债较年初增加155,651,364.70元，增幅117.6%[33] - 短期借款较年初增加150,440,938.49元，增幅688.7%[33] - 资产总计1,781,186,296.51元，较年初增加556,586,376.14元[30][33] - 总资产本报告期末1,781,186,296.51元，比上年度末增长45.45%[12] - 期末现金及现金等价物余额为2.42亿元，较期初下降41.3%[47] 所有者权益相关 - 归属于上市公司股东的所有者权益本报告期末865,086,762.69元，比上年度末增长8.33%[12] - 归属于母公司所有者权益合计为8.65亿元，同比增长8.3%[35] 股东信息 - 报告期末普通股股东总数6,636名[24] - 第一大股东沈阳先进制造技术产业有限公司持股14,332,430股，占比17.06%[24]

收入和利润增长 - 公司2021年上半年实现营业收入3.51亿元，同比增长118.0%[2] - 公司归属于上市公司股东的净利润为0.35亿元，同比增长464.1%[2] - 公司基本每股收益为0.42元/股，同比增长366.7%[2] - 公司加权平均净资产收益率为4.2%，同比增长3.2个百分点[2] - 营业收入同比增长461.85%至3.51亿元[29] - 归属于上市公司股东的净利润同比增长464.05%至3507万元[29][32] - 归属于上市公司股东的扣除非经常性损益净利润由负转正至2957.71万元[29][32] - 基本每股收益同比增长500%至0.42元/股[29][32] - 加权平均净资产收益率提升3.48个百分点至4.30%[29] - 报告期内营业收入35,090.80万元，较2020年同期增长461.85%[75] - 归属于上市公司股东的净利润3,506.99万元，较2019年同期增长464.05%[75] - 营业收入同比增长461.85%至350,908,038.29元[88] 成本和费用 - 公司研发投入为0.42亿元，同比增长85.7%[2] - 研发投入占营业收入比例下降8.70个百分点至14.08%[29] - 研发投入总额49,397,617.05元，同比增长247.22%[59] - 研发投入占营业收入比例14.08%，同比下降8.70个百分点[59] - 报告期内研发支出4,939.76万元，占营业收入的14.08%[75] - 营业成本同比增长494.28%至207,862,473.10元[88] - 研发费用同比增长247.22%至49,397,617.05元[88] 现金流状况 - 公司经营活动产生的现金流量净额为-0.62亿元，同比下降256.3%[2] - 经营活动现金流量净额同比下降8359.89万元至-1.39亿元[32] - 经营活动现金流量净额为-139,178,539.59元同比扩大[88] 业务线表现 - 公司半导体设备业务收入占比超过90%[2] - 公司前装Spin Scrubber设备获得多家头部客户批量重复订单[2] - 半导体涂胶显影设备实现国产替代并获批量订单[38][41] - 公司前道涂胶显影设备在28nm及以上技术节点达到国际先进水平[51] - 公司前道清洗设备Spin Scrubber达到国际先进水平并实现进口替代[47] - 公司前道涂胶显影设备已获得长江存储、中芯绍兴等多家前道大客户订单[47] - 公司单片式湿法设备已在中芯国际、上海华力等客户处通过工艺验证[47] - 公司后道涂胶显影设备在厚胶膜涂覆均匀性方面达到国际先进水平[51] - 公司后道产品在Fan-out产线已成为客户端主力量产设备[48] - 公司前道清洗设备在40nm及以上颗粒去除率达到国际先进水平[55] - 公司设备内部微环境控制在多个领域达到国际先进水平[55] - 公司高产能设备架构在后道先进封装领域达到国际先进水平[51] - 公司化学药品供给技术在流量控制精度和温度控制精度达到国际先进水平[55] - 公司设备累计出厂超1000台套，覆盖集成电路前道/后道及特种工艺领域[69] - 公司涂胶显影设备与单片式湿法设备已累计出厂1000余台套[79] - 公司应用于集成电路前道晶圆加工领域的设备已获得多个前道大客户订单[78] - 公司前道Spin Scrubber清洗机设备已获得国内多家Fab厂商的批量重复订单[78] - 公司产品已通过SEMIS2国际安规认证[73] - 公司先后主持制定了喷胶机、涂胶机两项行业标准[70] 研发与技术 - 公司集成电路前道工序指从制造器件结构到金属互联直至表面钝化的过程[20] - 公司集成电路后道工序指将前道工艺完成的晶圆根据封装要求形成最终形态芯片的过程[20] - 公司先进封装技术包括倒装芯片FC结构封装、圆片级封装WLP、系统级封装SiP等[20] - 公司技术节点涵盖130nm、90nm、28nm、14nm、7nm等工艺水平[20] - 累计获得专利授权212项，其中发明专利159项（含中国大陆143项/中国台湾14项/美国2项）[56][68] - 报告期内新增知识产权获得19项，其中发明专利8项[56] - 研发人员数量166人，同比增长66%，占总人数比例34.58%[65] - 研发人员薪酬总额1,457.66万元，平均薪酬8.78万元[65] - 在研项目总投资规模13,542.50万元，累计投入10,597.87万元[62] - 单片湿法设备研制项目本期投入1,398.63万元，占在研项目总投入28.3%[62] - 前道涂胶显影设备研发累计投入7,555.85万元，占预计总投资85.4%[62] - 截至2021年6月30日，公司共获得专利授权212项，其中发明专利159项[78] 资产和负债变动 - 公司总资产达到15.8亿元，较年初增长10.2%[2] - 公司归属于上市公司股东的净资产为8.4亿元，较年初增长4.3%[2] - 总资产同比增长31.53%至16.11亿元[29] - 货币资金减少27.37%至3.213亿元，占总资产比例从36.13%降至19.95%[96] - 存货增长63.71%至6.586亿元，占总资产比例从32.85%升至40.88%[96] - 应收款项大幅增长113.89%至1.803亿元[96] - 短期借款激增594.30%至1.517亿元[98] - 合同负债增长67.66%至2.219亿元[98] - 在建工程增长75.92%至8766万元[96] - 交易性金融资产新增5000万元银行理财产品[96][103] - 其他非流动资产增长523.98%至1058万元[96] - 应付账款增长55.77%至1.979亿元[98] - 货币资金中3507万元因保函及票据保证金受限[99] - 公司资产总额161,077.23万元，归属于上市公司股东的净资产83,035.19万元[75] - 货币资金减少至3.213亿元，较期初4.424亿元下降27.4%[194] - 交易性金融资产新增5000万元[194] - 应收账款增长至1.803亿元，较期初8430万元增长113.9%[194] - 存货增加至6.586亿元，较期初4.023亿元增长63.7%[194] - 短期借款大幅增加至1.517亿元，较期初2185万元增长594.3%[198] - 应付票据增至1.384亿元，较期初9104万元增长52.1%[198] - 应付账款增至1.979亿元，较期初1.271亿元增长55.7%[198] - 合同负债增至2.219亿元，较期初1.324亿元增长67.6%[198] - 在建工程增至8766万元，较期初4984万元增长75.8%[194] - 负债合计显著增加至780,420,386.49元，较前期426,002,879.68元增长83.2%[200] - 所有者权益合计为830,351,935.34元，较前期798,597,040.69元增长4.0%[200] - 未分配利润增至78,063,949.47元，较前期59,794,010.72元增长30.5%[200] - 资本公积由646,992,584.33元增至660,477,540.23元，增幅2.1%[200] - 负债和所有者权益总计达1,610,772,321.83元，较前期1,224,599,920.37元增长31.5%[200] - 非流动负债合计保持稳定，为27,314,085.43元[200] - 实收资本维持84,000,000.00元未变动[200] - 盈余公积保持7,810,445.64元未变动[200] 公司基本信息 - 公司中文名称为沈阳芯源微电子设备股份有限公司，中文简称为芯源微[23] - 公司外文名称为KINGSEMI Co Ltd，外文缩写为KINGSEMI[23] - 公司法定代表人宗润福，注册地址和办公地址均为辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号[23] - 公司股票在上海证券交易所科创板上市，股票简称为芯源微，股票代码为688037[25] - 公司聘请容诚会计师事务所（特殊普通合伙）为境内会计师事务所[28] - 公司持续督导保荐机构为国信证券股份有限公司，持续督导期间至2022年12月31日[28] 非经常性损益和政府补助 - 政府补助贡献非经常性损益565.11万元[33] - 政府补助金额为17,485,100元占利润总额比例51.96%[87] - 其他收益同比增长48.10%至17,598,362.45元[92] 风险因素 - 核心零部件依赖日本等国外供应商存在供货风险[83] - 新产品商业化推广不及预期可能影响业绩[83] - 市场竞争加剧可能导致客户流失[86] - 税收优惠政策变动可能影响经营业绩[86] 子公司和投资 - 公司持有上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司0.7874%股权，注册资本127,000万元人民币[106] - 公司全资持有上海芯源微企业发展有限公司100%股权，注册资本5,000万元人民币[106] - 上海芯源微企业发展有限公司总资产280.46万元，净利润亏损73.99万元[106] - 上海芯源微企业发展有限公司净资产为负140.54万元[106] 股权激励和人员变动 - 2020年限制性股票激励计划授予51名激励对象55.50万股，授予价格40.00元/股[112] - 2021年预留限制性股票授予9名激励对象13.5万股，授予价格40.00元/股[112] - 2021年限制性股票激励计划授予36名激励对象65.00万股，授予价格40.00元/股[112] - 公司核心技术人员谷德君于2021年6月1日离职[109] - 公司于2021年4月9日聘任汪明波和崔晓微为副总裁[108] - 核心技术人员王绍勇减持10万股，持股从90万股降至80万股[187] 公司治理和会议 - 公司2021年共召开4次股东大会，全部议案均审议通过[106] 环保与安全 - 公司非重点排污单位，无高危险重污染情形，无噪声污染无工艺废水[115] - 公司研发使用极少量光刻胶显影液等化学品，污染物由第三方资质公司处置[116] - 公司建设酸碱水洗塔及有机吸附装置处理研发工艺试验产生的废气[116] - 公司突发环境事件应急预案已在环保局备案编号210112-2019-018-L[116] - 最近第三方环境检测时间为2021年6月29日，结果符合环保要求[116] - 公司废气通过酸碱洗涤塔及活性炭吸附设备处理合格后排放[119] - 公司废液通过专业容器收集后移交第三方资质公司处理[119] - 公司选用低转速电机及屋面排风机减小噪音[119] - 公司未列入重点排污单位名录，主营业务不属于重点污染行业[119] - 公司取得固定污染源排污登记回执，生活污水排入市政管网处理[115] 股东承诺和减持安排 - 公司监事承诺自上市之日起36个月内不转让所持股份[127] - 核心技术员承诺自上市之日起12个月内及离职后6个月内不转让股份[127] - 核心技术员承诺限售期满后4年内每年转让股份不超过上市时持股总数的25%[127] - 第一大股东先进制造承诺避免与公司产生同业竞争[127] - 第一大股东承诺出现同业竞争业务机会时优先提供给公司[130] - 第一大股东承诺遵循公平合理原则处理关联交易[130] - 持股5%以上股东承诺尽量减少与公司关联交易[130] - 持股5%以上股东承诺关联交易将遵循价格公允原则[130] - 所有承诺自2019年6月6日起生效[127][130] - 违反承诺方同意承担公司全部损失[130] - 先进制造、中科院沈自所、科发实业承诺锁定期满后2年内每年减持不超过发行前持有股份总数的25%[133] - 国科投资承诺锁定期满后每年减持不超过发行前持有股份总数的25%[133] - 国科瑞祺、周冰冰承诺锁定期满后2年内累计减持不超过上市时持有股份总数的100%[136] - 所有股东减持价格均需不低于首次公开发行价（除权除息调整后）[133][136] - 通过集中竞价交易减持需提前公告，其他方式减持需提前3个交易日公告[133][136] - 公司承诺上市后三年内若连续20日收盘价低于每股净资产将启动稳定股价措施[136] - 股东减持需遵守每年不超过25%的限额（国科瑞祺、周冰冰除外）[133][136] - 若公司触及重大违法退市标准，股东在终止上市前不得减持股份[133] - 减持方式包括二级市场竞价、大宗交易及协议转让等[133][136] - 所有承诺自2019年9月4日签署并在持股期间持续有效[133][136] - 股价稳定措施触发条件为连续20个交易日收盘价低于最近一期经审计每股净资产[139] - 公司回购股份上限为股份总数2%[139] - 第一大股东增持股份上限为股份总数2%[139] - 董事及高管增持资金范围为上年度税后收入20%-50%[142] - 稳定股价方案需在触发条件后5个工作日内制定[139] - 回购资金来源为公司自有资金[139] - 增持完成后六个月内不得出售所持股份[142] - 稳定股价措施实施后需在2个交易日内公告[139] - 承诺有效期为公司上市之日起3年[139][142] - 新聘董事及高管需履行同等承诺方可聘任[142] - 公司董事及高级管理人员承诺履行稳定股价义务，若未履行则公司有权扣留其现金分红及收入直至增持义务完成[145][148] - 公司承诺若不符合发行上市条件或以欺诈手段骗取发行注册，将在证监会确认后5个工作日内启动股份购回程序购回全部新股[145] - 先进制造作为第一大股东承诺不干预公司经营管理，不侵占公司利益，并承诺履行填补回报措施[145] - 公司董事及高级管理人员承诺不损害公司利益，约束职务消费，不动用公司资产从事无关活动[148] - 公司承诺遵守公司章程和股东分红回报规划中相关利润分配政策[148] - 公司承诺若招股说明书存在虚假记载等情形，将依法回购全部新股，回购价格为发行价加同期银行存款利息[148] - 公司承诺若信息披露存在虚假致使投资者遭受损失，将依法赔偿投资者损失[148] - 稳定股价方案涉及增持公司股票，若未履行承诺，公司有权自公告日起90个自然日后扣留相关收入[145] - 公司董事及高级管理人员承诺推动薪酬制度与股权激励计划与填补回报措施执行情况相挂钩[148] - 先进制造承诺若证监会发布新填补回报监管规定，将按照最新规定出具补充承诺[145] - 公司承诺若招股说明书存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏将依法回购全部新股并赔偿投资者损失[151] - 公司董事、监事、高级管理人员承诺对信息披露真实性承担个别和连带法律责任[151] - 公司上市前全体股东承诺未履行承诺时公开说明原因并道歉[154] - 公司董事、监事、高级管理人员、核心技术人员承诺未履行承诺时停止领取薪酬且股份不得转让[154] - 公司第一大股东承诺承担补缴社保公积金及相关罚款损失的责任[154] 关联交易和资金占用 - 报告期内控股股东及其他关联方不存在非经营性占用资金情况[156] - 报告期内公司不存在违规担保情况[156] - 关联交易中向沈阳富创精密设备股份有限公司购买原材料及劳务预计金额800万元，实际发生84.66万元，完成率10.58%[159] - 关联交易中向上海广川科技有限公司购买原材料及劳务预计金额400万元，实际发生153.8万元，完成率38.45%[159] - 关联交易总预计金额1200万元，实际发生238.46万元，总体完成率19.87%[159] 募集资金使用 - 高端晶圆处理设备产业化项目募集资金承诺投资总额2.386亿元，累计投入金额9052.9万元，投入进度37.94%[166] - 高端晶圆处理设备研发中心项目募集资金承诺投资总额1.392亿元，累计投入金额9349.04万元，投入进度67.17%[166] - 募集资金总额5.057亿元，本年度投入7615.26万元，累计投入总额1.84亿元[166] - 高端晶圆处理设备产业化项目本年度投入金额4480.53万元[166] - 高端晶圆处理设备研发中心项目本年度投入金额3134.73万元[166] - 两个募投项目累计投入金额与承诺投入金额差额为-1.938亿元[166] - 公司使用募集资金17,020,611.81元置换预先投入的自筹资金[169] - 公司使用不超过80,000,000元闲置募集资金暂时补充流动资金[169] - 公司使用不超过46,000万元闲置募集资金进行现金管理[169] - 公司使用不超过

收入和利润表现 - 公司2021年第一季度营业收入为1.134亿元人民币，同比增长1229.72%[11] - 营业收入大幅增长1229.72%至1.13亿元人民币，主要因业务规模扩大[23] - 2021年第一季度营业收入从853万元大幅增至1.13亿元，增长1230%[34] - 公司归属于上市公司股东的净利润为650.42万元人民币，上年同期为亏损786.94万元人民币[11] - 归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为461.02万元人民币[11] - 2021年第一季度营业利润从亏损906.6万元转为盈利563.6万元[34] - 净利润为650.42万元，相比去年同期净亏损786.94万元实现扭亏为盈[36] - 基本每股收益为0.08元/股，上年同期为-0.09元/股[11] - 基本每股收益为0.08元，相比去年同期每股亏损0.09元实现增长[36] - 加权平均净资产收益率为0.81%，较上年同期增加1.86个百分点[11] 成本和费用变化 - 营业成本激增1820.98%至7270.77万元人民币，与收入增长同步[23] - 研发投入占营业收入比例为12.04%，较上年同期下降39.95个百分点[11] - 研发费用增长207.96%至1365.45万元人民币，主要因人员薪酬及材料增加[23] - 研发费用从443万元增至1365万元，增长207.8%[34] - 支付给职工及为职工支付的现金为3278.22万元，相比去年同期2002.90万元增长63.6%[36] 现金流状况 - 经营活动产生的现金流量净额为-1.238亿元人民币，上年同期为-2591.75万元人民币[11] - 经营活动现金流量净额恶化377.48%至负1.24亿元人民币，主要因材料采购支出大幅增加[26] - 经营活动产生的现金流量净额为-1.24亿元，相比去年同期-2591.75万元恶化[40] - 销售商品、提供劳务收到的现金为1.24亿元，相比去年同期4654.44万元增长166.6%[36] - 购买商品、接受劳务支付的现金为1.97亿元，相比去年同期4432.10万元增长345.3%[36] - 投资活动产生的现金流量净额为-9573.13万元，相比去年同期-2.36亿元改善59.5%[40] - 筹资活动产生的现金流量净额为521.39万元，主要来自取得借款[40] - 期末现金及现金等价物余额为2.44亿元，相比去年同期6134.50万元增长297.7%[40] - 收到的税费返还为251.47万元，相比去年同期163.09万元增长54.2%[36] 资产和负债变动 - 公司总资产达到13.488亿元人民币，较上年度末增长10.14%[11] - 资产总计从12.25亿元增至13.49亿元，增长10.1%[32] - 货币资金减少38.47%至2.72亿元人民币，主要因购买理财及原材料采购支出增加[20] - 货币资金从2020年末的4.42亿元下降至2021年3月31日的2.72亿元，降幅38.5%[29] - 交易性金融资产新增7850万元人民币，主要因利用闲置资金购买理财产品[20] - 交易性金融资产新增7850万元[29] - 应收账款从8431万元增至1.00亿元，增长19.2%[29] - 应收款项融资激增353.41%至1843.98万元人民币，主要因应收票据回款增加[20] - 存货增长32.29%至5.32亿元人民币，反映业务规模扩大[23] - 存货从4.02亿元增至5.32亿元，增长32.3%[29] - 预付款项增长47.91%至7261.29万元人民币，因采购量增加[23] - 短期借款大幅增加226.85%至7142.36万元人民币，主要因外币贷款增加[23] - 短期借款从2185万元大幅增至7142万元，增长226.8%[32] - 合同负债从1.32亿元增至1.61亿元，增长21.8%[32] 其他重要事项 - 公司获得政府补助199.47万元人民币[14] - 公司期末总股东人数为7,658户[17]

收入和利润（同比环比） - 营业收入同比增长54.3%至3.289亿元[34] - 归属于上市公司股东的净利润同比增长66.79%至4882.86万元[34] - 公司2020年营业收入为3.289亿元，同比增长54.30%[140][142] - 公司2020年净利润为4882.86万元[138] - 半导体设备行业营业收入318,313,269.09元，同比增长53.68%[143] - 光刻工序涂胶显影设备收入236,120,267.40元，同比增长111.43%[143] - 大陆地区收入占比99.50%，收入316,733,323.91元，同比增长58.24%[143][146] - 第四季度营业收入1.1697亿元占全年35.6%[39] 成本和费用（同比环比） - 营业成本1.888亿元，同比增长65.96%[140][142] - 研发费用4541.47万元，同比增长29.55%[140] - 销售费用3731.20万元，同比增长81.00%[140] - 管理费用5711.68万元，同比增长67.85%[140] - 主营业务成本184,767,691.22元，同比增长65.85%[143] - 直接材料成本174,538,480.51元，占总成本94.46%，同比增长72.65%[150] - 研发费用45,414,740.24元，同比增长29.55%[163] 各条业务线表现 - 公司产品包括光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备，可用于8/12英寸及6英寸以下晶圆处理[49] - 涂胶显影设备作为光刻机输入输出设备，直接影响图形质量和后续工艺结果[50] - 涂胶显影设备成功打破国外垄断，在前道晶圆加工实现小批量替代，在后道封装等环节作为主流机型广泛应用[50] - 单片式清洗机Spin Scrubber设备达国际先进水平，在国内获批量重复订单[50] - 公司通过销售半导体专用设备实现收入和利润，主营业务收入来源于设备销售[53] - 光刻工序涂胶显影设备生产量104台套，同比增长300.00%[147] - 单片式湿法设备收入76,104,506.11元，同比下降20.26%[143] - 涂胶显影设备和单片式湿法设备累计销售超过1000台套[66] - 涂胶显影设备和单片式湿法设备已累计销售1000余台套[107][122] - 公司产品覆盖集成电路后道先进封装和LED芯片制造两大领域[198] 各地区表现 - 大陆地区收入占比99.50%，收入316,733,323.91元，同比增长58.24%[143][146] - 中国内地、中国台湾和韩国成为2020年半导体设备主要消费地区[61] 管理层讨论和指引 - 半导体行业景气度提升致订单大幅增长[35] - 公司致力于开发多层堆叠多腔体设备以提升集成电路后道封装领域产品竞争力[198] - 公司积极推出适用于4～6英寸化合物半导体和Mini LED产线的新兴领域半导体设备[199] - 公司前道涂胶显影设备和单片清洗设备已通过客户验证并投入使用[200] - 公司将持续提升前道涂胶显影设备的技术等级以增强市场认可度[200] - 公司计划建立海外销售体系以拓展国际市场创造新增长点[199] - 公司瞄准前道设备主战场推动涂胶显影及清洗设备的工艺验证与商业化[200] - 公司与台积电、长电科技等多家优质客户保持长期稳定合作关系[198] - 公司通过持续技术创新推动LED芯片制造领域市占率提升[199] - 公司制定中期战略发展规划以推出更高工艺等级的前道产品[200] 研发与技术进展 - 公司核心技术涵盖Inline光刻联机作业及Spin Scrubber单晶圆清洗设备[23] - 公司2020年度报告期内集成电路制造前道工序涉及130nm、90nm、28nm、14nm、7nm等技术节点[23] - 光刻工艺胶膜均匀涂敷技术在28nm及以上技术节点达到国际先进水平[75] - 不规则晶圆表面喷涂技术在集成电路后道先进封装领域部分指标不低于国际知名企业[75] - 精细化显影技术在化合物、MEMS、LED芯片制造领域达到国际先进水平[75] - 晶圆正反面颗粒清洗技术在40nm及以上颗粒去除率达到国际先进水平[78] - 前道Spin Scrubber清洗机设备满足28nm制程技术要求并获国内多家Fab厂商批量重复订单[82] - 内部微环境精确控制技术在单片式湿法设备领域全面达到国际先进水平[78] - 高产能设备架构技术在集成电路后道封装领域达到国际先进水平[75][78] - 化学药品精确供给技术流量控制精度达到国际先进水平[78] - 前道Spin Scrubber清洗机设备达到国际先进水平，可满足28nm制程技术要求[117] 客户与订单进展 - 前道涂胶显影设备获得上海华力、中芯绍兴、厦门士兰集科、上海积塔、株洲中车、青岛芯恩、中芯宁波、昆明京东方等多个前道大客户订单[65] - 前道清洗设备Spin Scrubber在中芯国际、上海华力、厦门士兰集科通过验证并获得国内多家Fab厂商批量重复订单[65] - 前道涂胶显影设备获得上海华力、中芯绍兴等8家前道大客户订单及应用[81] - 前道涂胶显影设备获得上海华力/中芯绍兴/厦门士兰集科等8家前道大客户订单[116][121] - 后道设备已拓展至MEMS/化合物/功率器件等5大领域，覆盖台积电/长电科技等10余家客户[121] - 前五名客户销售额178,702,900元，占年度销售总额54.33%[155][156] 研发投入与成果 - 研发投入占营业收入比例13.81%同比下降2.64个百分点[35] - 研发投入总额为4541.47万元，占营业收入比例13.81%[105] - 研发人员数量144人，同比增长51.58%（95人→144人），占总员工比例36.46%[98] - 累计获得专利授权195项，其中发明专利151项（含中国大陆135项/台湾14项/美国2项），实用新型23项，外观设计21项[88][89] - 新增专利授权21项（发明专利12项/实用新型9项），软件著作权新增8项至47项[89] - 研发人员薪酬支出2563.8万元，人均薪酬17.8万元，同比增长11.67%[98] - 承担重大科研项目8项，其中国家级项目5项（含02重大专项3项），省级项目3项[87] - 在研项目4个，总投资规模1.21亿元，累计投入7699.54万元[95] - 费用化研发投入3505.45万元，同比增长29.55%[90] - 研发人员学历构成：硕士75人（52.09%）、本科66人（45.83%）、博士1人（0.69%）[98] - 核心在研项目"前道涂胶显影设备"投入2415.72万元，累计投入5573.79万元[95] - 全年研发支出4,541.47万元，占营业收入的13.81%[116] - 公司共获得专利授权195项，其中发明专利151项（含中国大陆135项/台湾14项/美国2项）[120] - 2020年获得辽宁省科学技术进步一等奖等3项省级重要奖项[84] 现金流与投融资活动 - 经营活动产生的现金流量净额同比下降691.67%至-7238.99万元[34] - 筹资活动现金流量净额115.68万元，同比下降97.77%[142] - 经营活动产生的现金流量净额为-7239万元，同比下降691.67%[140][165] - 投资活动产生的现金流量净额为14855.68万元，同比增加41023.66万元[168] - 筹资活动产生的现金流量净额为1156.82万元，同比下降50655.51万元[168] - 投资收益为1108.65万元，同比增长3879.77%[169] - 交易性金融资产投资收益1108.65万元[42] - 公司成立控股子公司上海芯源微企业发展有限公司，注册资本5000万元人民币，持股80%[183] - 公司对上海芯源微企业发展有限公司拟出资4000万元人民币[183] 行业与市场趋势 - 半导体设备全球销售额2020年达689亿美元同比增长16%，预计2021年719亿美元2022年761亿美元[61] - 晶圆制造设备2020年销售额增长15%至594亿美元，2021年预计增长4%2022年增长6%[61] - 代工和逻辑业务占晶圆制造设备销售额约50%，2020年支出增长15%达300亿美元[61] - NAND闪存制造设备2020年支出激增30%超140亿美元，DRAM预计2021-2022年引领增长[61] - 中芯南方12英寸14纳米生产线2020年月产能达6000片，2021年目标9000片，最终目标月产能35000片[67] - 上海华力12英寸生产线2020年月装机产能达20000片，未来满产目标40000片[67] - 长江存储2020年4月成功研发128层QLC 3D NAND闪存，并发布128层512Gb TLC规格芯片[69] - 厦门士兰集科12英寸生产线总投资170亿元，全部达产后月产能目标40000片[69] - 中国大陆2020年签约超过14个化合物半导体项目，总投资额超过800亿元[71] - 预计到2024年SiC功率半导体市场以29%年复合增长率增长至20亿美元[71] - 预计到2029年化合物功率半导体市场增长五倍以上[71] - 北美半导体设备制造商2021年1月出货金额达30.4亿美元，月增13.4%，年增29.9%[187] - 台积电2021年资本支出金额将达250亿至280亿美元[187] - 联电2021年资本支出将达15亿美元，年增50%[187] - 世界先进资本支出从2020年新台币35.4亿元提升至2021年新台币50亿元，年增逾40%[187] - SEMI将2021年半导体设备销售金额增长率预估由年增10%上修至15%[187] - 全球先进封装市场2024年市场规模预计将增长至436亿美元，年均复合增长速度8.2%[191] - 3D硅通孔封装和扇出型封装将分别以29%和15%的速度增长[191] - 化合物半导体市场规模在2020年成长至440亿美元，年复合增长率12.9%[193] 其他财务数据 - 总资产同比增长31.52%至12.246亿元[34] - 加权平均净资产收益率6.31%同比下降6.17个百分点[35] - 政府补助3183.42万元同比增长120.4%[42] - 营业外收入为1813.65万元，同比增长241.27%[169] - 货币资金为44241.43万元，同比增长34.04%[171] - 应收账款为8430.79万元，同比增长53.71%[171] - 存货为40227.26万元，同比增长145.61%[174] - 应付票据为9103.98万元，同比增长536.31%[174] - 应付账款为12706.97万元，同比增长117.53%[174] - 公司资产总额为122,459.99万元，归属于上市公司股东的净资产为79,859.70万元[116] - 政府补助金额2658.26万元，占利润总额比例50.32%[137] - 前五名供应商采购额145,352,300元，占年度采购总额29.08%[158][161] 公司治理与基本信息 - 公司2020年度拟每10股派发现金红利2.00元（含税），总股本84,000,000股，合计派发现金红利16,800,000元[8] - 2020年度公司现金分红比例为34.41%[8] - 公司总股本为84,000,000股[8] - 公司注册地址及办公地址均为辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号（邮政编码110168）[26] - 公司股票简称芯源微（代码688037）于上海证券交易所科创板上市[29] - 公司董事会秘书李风莉联系电话024-23806230 传真86-24-23826200[27] - 公司证券事务代表林顺富联系电话024-23826230 传真86-24-23826200[27] - 公司电子信箱及信息披露联系邮箱均为688037@kingsemi.com[26][27] - 公司年度报告备置于证券部 信息披露媒体涵盖四大证券报[28] - 公司聘请容诚会计师事务所（特殊普通合伙）签字会计师为吴宇、冯颖、董博佳[30] - 持续督导保荐机构为国信证券股份有限公司（办公地址：深圳市罗湖区红岭中路1012号）[30] - 控股子公司上海芯源微在临港新片区注册成立，该区域已聚集40余家集成电路企业[107] - 限制性股票激励计划覆盖51名核心业务骨干[123]

收入和利润（同比环比） - 营业收入2.12亿元，较上年同期大幅增长121.43%[11] - 归属于上市公司股东的净利润4468.61万元，同比激增4761.26%[11] - 扣除非经常性损益的净利润1561.11万元，实现扭亏为盈[11] - 营业收入同比增长121.43%至2.119亿元，主要因业务规模扩大[27] - 公司2020年前三季度营业收入为2.119亿元，较2019年同期的9571万元增长121.4%[42] - 公司2020年前三季度净利润为4468.6万元，较2019年同期的91.9万元大幅增长4761.8%[44] - 公司2020年第三季度营业收入为1.495亿元，较2019年同期的2869万元增长420.9%[42] - 基本每股收益为0.46元/股，稀释每股收益为0.46元/股[46] 成本和费用（同比环比） - 营业成本同比增长130.46%至1.200亿元，与收入增长同步[27] - 研发投入占营业收入比例12.20%，同比下降11.80个百分点[11] - 公司2020年前三季度研发费用为2363万元，较2019年同期的2297万元增长2.9%[42] 非经常性损益 - 政府补助贡献2497.01万元非经常性收益[14] - 理财收益产生1042.95万元非经常性收益[14] - 投资收益大幅增长5820.60%至1043万元，主要来自闲置募集资金理财[27] - 营业外收入激增1726.47%至1811万元，因收到地方政府上市补贴款[27] - 公司2020年前三季度获得政府补助等其他收益1619万元[42] 现金流量 - 经营活动现金流量净额为-8894.45万元[11] - 经营活动现金流量净额为-8894万元，主要因采购支出增加[27] - 投资活动现金流量净额转正为1.332亿元，因理财产品回收[27] - 经营活动产生的现金流量净额为负8894.45万元，同比下降107.2%[46] - 销售商品、提供劳务收到的现金为1.91亿元，同比增长73.7%[46] - 购买商品、接受劳务支付的现金为2.11亿元，同比增长207.4%[46] - 投资活动产生的现金流量净额为1.33亿元，同比改善238.6%[46] - 期末现金及现金等价物余额为3.57亿元，同比增长234.8%[48] 资产项目变化 - 公司总资产达10.6亿元，较上年末增长13.89%[11] - 应收账款同比增长64.57%至9026万元，因营业收入增加[23] - 存货同比增长96.46%至3.218亿元，反映业务规模扩张[23] - 交易性金融资产减少100%至0元，因理财产品全部回收[20] - 预付款项同比大增190.46%至2612万元，因业务规模扩大[23] - 货币资金较年初增加5.08亿元至3.81亿元[35] - 应收账款较年初增加3541万元至9026万元[35] - 存货较年初增加1.58亿元至3.22亿元[35] - 交易性金融资产减少1.2亿元至0元[35] - 预付款项较年初增加1713万元至2612万元[35] - 无形资产较年初增加2537万元至3152万元[35] - 长期股权投资新增1000万元[35] - 公司总资产从9.311亿元增长至10.604亿元，增幅为13.9%[39][41] - 应收账款为5484.89万元[48] - 存货为1.64亿元[48] 负债和权益项目变化 - 归属于上市公司股东的净资产为7.89亿元，同比增长4.53%[11] - 加权平均净资产收益率5.78%，同比提升5.36个百分点[11] - 公司应付票据从1431万元增至6742万元，增长371.2%[39] - 公司应付账款从5842万元增至1.063亿元，增长82.0%[39] - 公司未分配利润从2635万元增至6053万元，增长129.8%[41] - 公司流动负债从1.424亿元增至2.429亿元，增长70.6%[39] - 合同负债为5716.39万元[51] - 资本公积为6.42亿元[54] 管理层讨论和指引 - 2020年9月25日完成限制性股票激励计划首次授予[32] - 2020年8月25日董事会通过股票激励计划草案[29] - 2020年9月25日股东大会批准股票激励计划[29]

收入和利润（同比环比） - 公司2020年上半年实现营业收入人民币1.32亿元，同比增长约25%[2][4][6] - 归属于上市公司股东的净利润为人民币2,900万元，同比增长约30%[2][4][6] - 营业收入同比下降6.81%至62,455,822.85元[26] - 归属于上市公司股东的净利润同比大幅增长121.66%至6,217,516.28元[26][27] - 基本每股收益同比增长75%至0.07元/股[26][30] - 归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为-14,387,930.94元[26][29] - 公司实现营业收入6,245.58万元，同比下降6.81%[80] - 归属于上市公司股东的净利润621.75万元，同比增长121.66%[80] - 营业收入为6245.58万元，同比下降6.81%[97] - 归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为-1438.79万元，同比下降1397.15万元[95] 成本和费用（同比环比） - 营业成本为3497.71万元，同比上升7.27%[97] - 销售费用为1368.65万元，同比大幅上升57.13%[97] - 管理费用为2367.11万元，同比大幅上升80.04%[97] - 研发费用为1422.67万元，同比上升5.06%[97] 研发投入 - 研发投入金额为人民币2,500万元，占营业收入比例约19%[2][4][6] - 研发投入占营业收入比例同比增加2.57个百分点至22.78%[26] - 研发投入总额为1422.67万元，占营业收入比例为22.78%[58] - 研发投入金额为1,422.67万元，占营业收入的22.78%[81] 现金流量 - 经营活动产生的现金流量净额为人民币1,800万元，同比增长约20%[2][4][6] - 经营活动产生的现金流量净额同比下降至-55,579,669.34元[26][29] 各业务线表现 - 半导体设备业务收入占比超过85%，为主要收入来源[2][4][14] - 前装Spin设备实现销售收入人民币8,000万元，同比增长约35%[2][4][14] - 后道先进封装设备实现销售收入人民币4,500万元，同比增长约15%[2][4][14] - LED芯片制造设备实现销售收入人民币700万元，同比下降约10%[2][4][14] 技术研发与验证进展 - 公司前道Barc涂覆设备已在上海华力通过工艺验证并确认收入[49] - 公司发往长江存储的前道涂胶显影设备已结束I-line联机工艺验证[49] - 公司前道清洗机Spin Scrubber设备已在中芯绍兴、华力集成通过工艺验证[52] - 公司28nm及以上技术节点涂敷技术达到国际先进水平[53] - 公司28nm及以上技术节点颗粒控制指标达到国际先进水平[53] - 公司后道先进封装领域设备技术达到国际先进水平[53] - 单片式湿法设备在40nm及以上颗粒去除率达到国际先进水平[55][61] - 前道涂胶显影设备项目累计投入367.84万元，技术水平弱于国际知名企业[61] - 核心零部件技术研发项目本期投入82.58万元，技术水平部分等同国际知名企业[61] - 集成电路前道晶圆加工领域设备产能弱于国际知名企业[55] - 公司拥有自主研发的光刻机联机调度技术、工艺单元参数精确控制技术等核心技术[55] 客户与订单 - 公司已获得上海积塔、株洲中车、青岛芯恩等多家前道大客户订单[49] - 公司前道清洗机设备已获得国内多家晶圆厂商的重复订单[52] - 公司客户覆盖台积电、长电科技等国内一线大厂[82] 资产与负债 - 公司总资产达到人民币8.5亿元，较年初增长约12%[2][4][6] - 总资产同比增长7.85%至1,004,180,470.96元[26] - 归属于上市公司股东的净资产微降0.57%至750,614,443.84元[26] - 货币资金为1.62亿元，占总资产16.11%，同比大幅上升229.82%[105] - 存货为2.88亿元，占总资产28.73%，同比大幅上升88.85%[105] - 其他应付款增加至18,154,685.25元，增幅1,628.59%，主要因应付股利及招标保证金增加[107] - 递延收益下降至29,775,963.52元，降幅15.37%[107] - 受限资产总额22,288,270.59元，其中货币资金受限21,323,736.07元（保函及票据保证金）[108] - 应收票据受限964,534.52元，用于应付票据质押担保[108] - 公司资产总额为100,418.05万元，归属于上市公司股东的净资产为75,061.44万元[80] 毛利率 - 毛利率保持在约40%的水平，与去年同期基本持平[2][4][6] 投资收益与政府补助 - 投资收益为417.56万元，同比激增9133.85%[101] - 政府补助贡献非经常性损益21,278,541.98元[31] - 政府补助金额为1185.50万元[95] 股东与股份变动 - 有限售条件股份减少482,005股至64,784,250股，占比从77.698%降至77.124%[170] - 国有法人持股增加308,500股至29,061,320股，占比从34.230%升至34.597%[170] - 其他内资持股减少790,505股至35,722,930股，占比从43.468%降至42.527%[170] - 境内非国有法人持股减少790,505股至20,468,180股，占比从25.308%降至24.367%[170] - 无限售条件流通股份增加482,005股至19,215,750股，占比从22.302%升至22.876%[170] - 2020年6月16日网下配售限售股790,505股上市流通[172] - 战略投资者国信资本通过转融通业务增加限售股308,500股[172] - 股份总数保持84,000,000股不变[170] - 境内自然人持股保持15,254,750股不变，占比18.160%[170] - 人民币普通股增加482,005股至19,215,750股，占比22.876%[170] 网下配售限售股详情 - 网下配售限售股：多个投资基金及养老金产品各持有3,028股限售股，限售期至2020年6月16日[175][178] - 限售股数量一致性：所有列出的投资基金、养老金产品及年金计划均持有相同数量的限售股，均为3,028股[175][178] - 限售类型：所有持股均为网下配售股限售，限售解除日期统一为2020年6月16日[175][178] - 涉及机构类型：包括证券投资基金、养老金产品、企业年金计划、社保基金组合及保险产品等[175][178] - 持股变动：所有限售股在此期间无变动，增减数量均为0[175][178] - 多家基金及机构持有网下配售限售股各3,028股，限售期至2020年6月16日[181][184] - 华安新丰利灵活配置混合型证券投资基金持有限售股3,028股[181] - 中国人寿保险股份有限公司委托国寿安保基金管理有限公司稳健系列组合持有限售股3,028股[181] - 全国社保基金四一九组合持有网下配售限售股3,028股[184] - 基本养老保险基金一三零一组合持有网下配售限售股3,028股[184] - 中国工商银行股份有限公司企业年金计划持有网下配售限售股3,028股[181][184] - 博时量化价值股票型证券投资基金持有网下配售限售股3,028股[184] - 工银瑞信文体产业股票型证券投资基金持有网下配售限售股3,028股[184] - 所有列示的限售股在报告期内均无变动（增持/减持为0）[181][184] - 此限售股信息来源于公司2020年半年度报告[183][186] - 网下配售限售股解禁日期为2020年6月16日，涉及多个机构投资者各持有3,028股[187][190] - 辽宁省电力有限公司企业年金计划持有3,028股限售股[187] - 工银瑞信主题策略混合型证券投资基金持有3,028股限售股[187] - 基本养老保险基金三零九组合持有3,028股限售股[187] - 全国社保基金四一一组合持有3,028股限售股[187] - 华宝中证银行交易型开放式指数证券投资基金持有3,028股限售股[190] - 上证大宗商品股票交易型开放式指数证券投资基金持有3,028股限售股[190] - 华安财产保险股份有限公司传统保险产品持有3,028股限售股[190] - 平安养老系列企业年金计划各持有3,028股限售股[190] - 华夏中证四川国企改革交易型开放式指数证券投资基金持有3,028股限售股[190] - 网下配售限售股数量为3,028股，涉及基本养老保险基金一零零三组合等25家机构[193] - 网下配售限售股数量为3,028股，涉及信达澳银新起点混合基金等23家机构[196] - 所有机构持股变动均为0股，显示限售状态未发生变化[193][196] - 限售股解禁日期统一为2020年6月16日[193][196] - 涉及机构类型包括养老保险基金、企业年金、混合型基金及指数基金等多类投资主体[193][196] - 华夏基金旗下5只产品各持有3,028股限售股[193] - 嘉实基金旗下7只产品各持有3,028股限售股[193] - 汇添富基金旗下4只产品各持有3,028股限售股[196] - 全国社保基金四零六组合持有3,028股限售股[193] - 社保基金一五零二组合持有3,028股限售股[196] - 基本养老保险基金九零四组合持有3,028股限售股，占网下配售股100%[199] - 易方达军工指数分级证券投资基金持有3,028股限售股，占网下配售股100%[199] - 中国太平洋人寿混合偏债产品持有3,028股限售股，占网下配售股100%[199] - 广发证券股份有限公司企业年金计划持有3,028股限售股，占网下配售股100%[199] - 南方科技创新混合型证券投资基金持有3,028股限售股，占网下配售股100%[199] - 南方高增长股票型开放式证券投资基金持有3,028股限售股，占网下配售股100%[199] - 上投摩根卓越制造股票型证券投资基金持有3,028股限售股，占网下配售股100%[199] - 诺安恒鑫混合型证券投资基金持有3,028股限售股，占网下配售股100%[199] - 国寿集团委托诺安基金固定收益型组合持有3,028股限售股，占网下配售股100%[199] - 诺安价值增长股票证券投资基金持有3,028股限售股，占网下配售股100%[199] 知识产权与行业地位 - 公司共获得专利授权185项，其中发明专利144项，软件著作权46项[57][69] - 公司2018年位列国产半导体设备厂商五强[52] - 公司涂胶显影设备与湿法设备累计销售800余台套[52] - 公司产品通过SEMIS2国际安规认证[75] - 公司主持制定喷胶机行业标准(SJ/T11576-2016)，涂胶机标准正在审核中[71] - 光刻工序涂胶显影设备与单片式湿法设备累计销售800余台套[82] - 全球后道涂胶显影设备销售额预计从2018年0.87亿美元增长至2023年1.08亿美元[88] 研发团队与项目 - 研发人员数量为100人，占公司总人数比例为29.41%[64] - 研发人员薪酬合计为842.69万元，平均薪酬为8.43万元[64] - 在研项目3个，预计总投资规模为8638.8万元，本期投入135.5万元，累计投入551.25万元[61] 管理层讨论和指引 - 公司预测2020年三季度扣非净利润仍为亏损[111] - 加权平均净资产收益率同比下降0.45个百分点至0.82%[26] 对外投资与公司活动 - 对外投资设立上海集成电路装备材料产业创新中心，注册资本17,000万元，公司持股5.88%[112] - 公司未缴纳注册资本1,000万元[112] - 2019年年度股东大会于2020年5月25日召开，议案全部通过[114] - 半年度无利润分配或资本公积金转增预案[115] - 公司续聘容诚会计师事务所为2020年度审计机构[160] - 报告期内公司无重大诉讼及仲裁事项[160] 股东承诺与股份锁定 - 主要股东股份锁定期限为上市后36个月（先进制造等）及12个月（国科投资等）[118] - 公司监事股份限售期为上市之日起36个月及离职后半年孰长[121] - 公司核心技术人员股份限售期为离职后6个月及限售期满后4年孰长[121] - 公司第一大股东承诺持股期间避免同业竞争[124] - 持股5%以上股东承诺减少关联交易并遵循公允原则[127] - 公司第一大股东承诺关联交易遵循公平合理原则[124] - 持股5%以上股东关联交易承诺持续有效期为持股期间[127] - 公司股东承诺36个月限售期满后2年内减持遵守招股说明书约定[127] - 公司股东限售期内不减持股份[127] - 公司股东减持价格不低于发行价[121] - 公司股票上市后6个月内连续20日收盘价低于发行价将自动延长锁定期6个月[121] - 股票锁定期满后每年减持股份不超过发行前持有股份总数的25%[130][133] - 锁定期满后2年内减持价格不低于首次公开发行股票时的发行价[130] - 锁定期满后2年内累计减持股份数不超过上市时持有总股份的100%[133] - 通过集中竞价交易减持需提前公告[130][133] - 采取其他方式减持需提前3个交易日公告[130][133] 股价稳定措施 - 公司股票连续20个交易日收盘价低于每股净资产时将启动股价稳定措施[136] - 股价稳定措施包括公司回购不超过股份总数2%的股票[136] - 股价稳定方案公告后90个自然日内实施回购[136] - 回购资金来源于公司自有资金[136] - 稳定股价措施实施后2个交易日内公告实施情况[136] - 第一大股东沈阳先进制造技术产业有限公司计划增持不超过公司股份总数的2%[139] - 公司董事及高级管理人员计划投入增持资金为其上年度税后收入的20%至50%[139] - 稳定股价措施触发条件为公司股价连续10个交易日低于最近一期经审计每股净资产[139] - 稳定股价方案实施期限为公告之日起90个自然日内[139] - 增持计划完成后6个月内不出售所增持股份[139] - 若未履行增持承诺，公司有权扣留相关方从公司领取的收入或分红[142] 公司承诺与法律责任 - 公司承诺若不符合发行上市条件将在监管部门确认后5个工作日内启动股份购回程序[145] - 第一大股东承诺不越权干预公司经营管理活动，不侵占公司利益[145] - 公司承诺若招股说明书虚假记载、误导性陈述或重大遗漏将依法回购全部新股[148][151] - 公司承诺若信息披露问题导致投资者损失将依法赔偿[148][151][154] - 公司董事及高级管理人员承诺不进行利益输送及损害公司利益行为[148] - 公司全体股东承诺若未履行披露事项将公开说明原因并道歉[154] - 公司承诺遵守公司章程及股东分红回报规划政策[148] - 公司控股股东先进制造承担连带法律责任并确保回购执行[151] - 公司董事、监事及高管承诺个人承担信息披露连带法律责任[154] - 公司承诺若违规将调减或停发相关责任人薪酬津贴[154] - 回购价格确定为发行价加上同期银行存款利息[151] - 赔偿工作将在证券监管部门认定后10个交易日内启动[151][154] - 公司董事及高管承诺若未履行公开承诺将停止领取薪酬[157] - 控股股东承诺承担员工社保及公积金补缴的全部赔偿责任[157] 环保与生产 - 公司生产过程中产生少量显影液及光刻胶等废弃化学品[166] - 公司使用OK73化学溶剂产生废弃物并由第三方专业处置[166] - 公司主要从事半导体专用设备研发生产业务[166] - 前道涂胶显影设备研发中使用OK73化学溶剂[166] - 公司不存在高危险重重污染的生产工序[166] 会计政策 - 报告期内会计政策发生变更详见附注五44条[169] 公司基本信息 - 公司注册地址和办公地址均为辽宁省沈阳市浑南区飞云路16

收入和利润 - 营业收入为852.89万元，同比下降17.24%[12] - 归属于上市公司股东的净利润为-786.94万元[12] - 2020年第一季度营业收入为852.89万元，同比下降17.2%[33] - 净利润亏损786.94万元，同比收窄12.8%[37] - 综合收益总额为-786.94万元，同比下降12.8%（对比-902.52万元）[39] 成本和费用 - 研发投入占营业收入的比例为51.99%，同比下降5.78个百分点[15] - 营业成本减少261.64万元，降幅40.87%，主要因营业收入减少[22] - 销售费用增加196.05万元，增幅42.57%，主要因人员薪酬及售后服务费用增长[22] - 管理费用增加297.24万元，增幅46.73%，主要因人员薪酬及办公费用增长[22] - 营业成本为378.49万元，同比下降40.9%[37] - 研发费用为443.38万元，同比下降25.5%[37] - 销售费用增长42.6%至656.6万元[37] - 财务费用为-62.39万元，主要因利息收入38万元[37] 资产和现金流变动 - 货币资金减少2.53亿元，降幅76.67%，主要因闲置募集资金购买结构性存款[21] - 应收票据减少698.16万元，降幅50.35%，主要因用于支付采购货款[21] - 应收款项融资减少822.32万元，降幅97.93%，主要因使用应收票据支付采购款[22] - 存货增加6405.78万元，增幅39.11%，主要因采购量增加[22] - 其他流动资产增加2.25亿元，增幅177.06%，主要因购买结构性存款[22] - 经营活动产生的现金流量净额为-2,591.75万元[12] - 投资活动现金流量净额减少2.34亿元，主要因购买结构性存款未到期[22] - 存货增长39.1%至2.28亿元[30] - 其他流动资产增长177.1%至3.52亿元[30] - 经营活动现金流量净额为-2591.75万元，同比扩大26.3%（对比-2051.97万元）[39] - 销售商品提供劳务收到现金4654.44万元，同比增长61.8%（对比2876.34万元）[39] - 投资活动现金流量净额为-23620.66万元，主要因投资支付现金8.27亿元[39][40] - 期末现金及现金等价物余额为6134.50万元，较期初下降81.0%[40] - 货币资金期初余额3.30亿元，交易性金融资产1.20亿元[41] - 应收账款余额5484.89万元，存货余额1.64亿元[41] - 流动资产合计8.32亿元，非流动资产合计9914.39万元[44] 其他收益和支出 - 政府补助金额为307.54万元[15] - 理财收益金额为177.45万元[15] - 捐赠支出金额为-153.32万元[18] - 投资收益增加173.65万元，增幅4578.43%，主要因结构性存款收益增长[22] 负债和权益 - 总资产为9.5亿元，较上年度末增长2.07%[12] - 归属于上市公司股东的净资产为7.47亿元，较上年度末下降1.04%[12] - 预收款项增长34.4%至7678.89万元[30] - 应付账款5841.59万元，预收款项5716.39万元[44] - 公司总负债为176,219,148.63元[46] - 公司所有者权益合计为754,896,927.56元[46] - 公司总资产为931,116,076.19元[46] - 公司实收资本为84,000,000.00元[46] - 公司资本公积为641,621,032.01元[46] - 公司未分配利润为26,348,305.99元[46] - 公司盈余公积为2,927,589.56元[46] - 公司递延收益为33,838,336.50元[46] - 公司非流动负债合计为33,838,336.50元[46] 股东和每股数据 - 股东总数为10,948户[18] - 基本每股收益为-0.09元/股，稀释每股收益为-0.09元/股[39]