收入和利润增长 - 公司2021年上半年实现营业收入3.51亿元，同比增长118.0%[2] - 公司归属于上市公司股东的净利润为0.35亿元，同比增长464.1%[2] - 公司基本每股收益为0.42元/股，同比增长366.7%[2] - 公司加权平均净资产收益率为4.2%，同比增长3.2个百分点[2] - 营业收入同比增长461.85%至3.51亿元[29] - 归属于上市公司股东的净利润同比增长464.05%至3507万元[29][32] - 归属于上市公司股东的扣除非经常性损益净利润由负转正至2957.71万元[29][32] - 基本每股收益同比增长500%至0.42元/股[29][32] - 加权平均净资产收益率提升3.48个百分点至4.30%[29] - 报告期内营业收入35,090.80万元，较2020年同期增长461.85%[75] - 归属于上市公司股东的净利润3,506.99万元，较2019年同期增长464.05%[75] - 营业收入同比增长461.85%至350,908,038.29元[88] 成本和费用 - 公司研发投入为0.42亿元，同比增长85.7%[2] - 研发投入占营业收入比例下降8.70个百分点至14.08%[29] - 研发投入总额49,397,617.05元，同比增长247.22%[59] - 研发投入占营业收入比例14.08%，同比下降8.70个百分点[59] - 报告期内研发支出4,939.76万元，占营业收入的14.08%[75] - 营业成本同比增长494.28%至207,862,473.10元[88] - 研发费用同比增长247.22%至49,397,617.05元[88] 现金流状况 - 公司经营活动产生的现金流量净额为-0.62亿元，同比下降256.3%[2] - 经营活动现金流量净额同比下降8359.89万元至-1.39亿元[32] - 经营活动现金流量净额为-139,178,539.59元同比扩大[88] 业务线表现 - 公司半导体设备业务收入占比超过90%[2] - 公司前装Spin Scrubber设备获得多家头部客户批量重复订单[2] - 半导体涂胶显影设备实现国产替代并获批量订单[38][41] - 公司前道涂胶显影设备在28nm及以上技术节点达到国际先进水平[51] - 公司前道清洗设备Spin Scrubber达到国际先进水平并实现进口替代[47] - 公司前道涂胶显影设备已获得长江存储、中芯绍兴等多家前道大客户订单[47] - 公司单片式湿法设备已在中芯国际、上海华力等客户处通过工艺验证[47] - 公司后道涂胶显影设备在厚胶膜涂覆均匀性方面达到国际先进水平[51] - 公司后道产品在Fan-out产线已成为客户端主力量产设备[48] - 公司前道清洗设备在40nm及以上颗粒去除率达到国际先进水平[55] - 公司设备内部微环境控制在多个领域达到国际先进水平[55] - 公司高产能设备架构在后道先进封装领域达到国际先进水平[51] - 公司化学药品供给技术在流量控制精度和温度控制精度达到国际先进水平[55] - 公司设备累计出厂超1000台套，覆盖集成电路前道/后道及特种工艺领域[69] - 公司涂胶显影设备与单片式湿法设备已累计出厂1000余台套[79] - 公司应用于集成电路前道晶圆加工领域的设备已获得多个前道大客户订单[78] - 公司前道Spin Scrubber清洗机设备已获得国内多家Fab厂商的批量重复订单[78] - 公司产品已通过SEMIS2国际安规认证[73] - 公司先后主持制定了喷胶机、涂胶机两项行业标准[70] 研发与技术 - 公司集成电路前道工序指从制造器件结构到金属互联直至表面钝化的过程[20] - 公司集成电路后道工序指将前道工艺完成的晶圆根据封装要求形成最终形态芯片的过程[20] - 公司先进封装技术包括倒装芯片FC结构封装、圆片级封装WLP、系统级封装SiP等[20] - 公司技术节点涵盖130nm、90nm、28nm、14nm、7nm等工艺水平[20] - 累计获得专利授权212项，其中发明专利159项（含中国大陆143项/中国台湾14项/美国2项）[56][68] - 报告期内新增知识产权获得19项，其中发明专利8项[56] - 研发人员数量166人，同比增长66%，占总人数比例34.58%[65] - 研发人员薪酬总额1,457.66万元，平均薪酬8.78万元[65] - 在研项目总投资规模13,542.50万元，累计投入10,597.87万元[62] - 单片湿法设备研制项目本期投入1,398.63万元，占在研项目总投入28.3%[62] - 前道涂胶显影设备研发累计投入7,555.85万元，占预计总投资85.4%[62] - 截至2021年6月30日，公司共获得专利授权212项，其中发明专利159项[78] 资产和负债变动 - 公司总资产达到15.8亿元，较年初增长10.2%[2] - 公司归属于上市公司股东的净资产为8.4亿元，较年初增长4.3%[2] - 总资产同比增长31.53%至16.11亿元[29] - 货币资金减少27.37%至3.213亿元，占总资产比例从36.13%降至19.95%[96] - 存货增长63.71%至6.586亿元，占总资产比例从32.85%升至40.88%[96] - 应收款项大幅增长113.89%至1.803亿元[96] - 短期借款激增594.30%至1.517亿元[98] - 合同负债增长67.66%至2.219亿元[98] - 在建工程增长75.92%至8766万元[96] - 交易性金融资产新增5000万元银行理财产品[96][103] - 其他非流动资产增长523.98%至1058万元[96] - 应付账款增长55.77%至1.979亿元[98] - 货币资金中3507万元因保函及票据保证金受限[99] - 公司资产总额161,077.23万元，归属于上市公司股东的净资产83,035.19万元[75] - 货币资金减少至3.213亿元，较期初4.424亿元下降27.4%[194] - 交易性金融资产新增5000万元[194] - 应收账款增长至1.803亿元，较期初8430万元增长113.9%[194] - 存货增加至6.586亿元，较期初4.023亿元增长63.7%[194] - 短期借款大幅增加至1.517亿元，较期初2185万元增长594.3%[198] - 应付票据增至1.384亿元，较期初9104万元增长52.1%[198] - 应付账款增至1.979亿元，较期初1.271亿元增长55.7%[198] - 合同负债增至2.219亿元，较期初1.324亿元增长67.6%[198] - 在建工程增至8766万元，较期初4984万元增长75.8%[194] - 负债合计显著增加至780,420,386.49元，较前期426,002,879.68元增长83.2%[200] - 所有者权益合计为830,351,935.34元，较前期798,597,040.69元增长4.0%[200] - 未分配利润增至78,063,949.47元，较前期59,794,010.72元增长30.5%[200] - 资本公积由646,992,584.33元增至660,477,540.23元，增幅2.1%[200] - 负债和所有者权益总计达1,610,772,321.83元，较前期1,224,599,920.37元增长31.5%[200] - 非流动负债合计保持稳定，为27,314,085.43元[200] - 实收资本维持84,000,000.00元未变动[200] - 盈余公积保持7,810,445.64元未变动[200] 公司基本信息 - 公司中文名称为沈阳芯源微电子设备股份有限公司，中文简称为芯源微[23] - 公司外文名称为KINGSEMI Co Ltd，外文缩写为KINGSEMI[23] - 公司法定代表人宗润福，注册地址和办公地址均为辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号[23] - 公司股票在上海证券交易所科创板上市，股票简称为芯源微，股票代码为688037[25] - 公司聘请容诚会计师事务所（特殊普通合伙）为境内会计师事务所[28] - 公司持续督导保荐机构为国信证券股份有限公司，持续督导期间至2022年12月31日[28] 非经常性损益和政府补助 - 政府补助贡献非经常性损益565.11万元[33] - 政府补助金额为17,485,100元占利润总额比例51.96%[87] - 其他收益同比增长48.10%至17,598,362.45元[92] 风险因素 - 核心零部件依赖日本等国外供应商存在供货风险[83] - 新产品商业化推广不及预期可能影响业绩[83] - 市场竞争加剧可能导致客户流失[86] - 税收优惠政策变动可能影响经营业绩[86] 子公司和投资 - 公司持有上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司0.7874%股权，注册资本127,000万元人民币[106] - 公司全资持有上海芯源微企业发展有限公司100%股权，注册资本5,000万元人民币[106] - 上海芯源微企业发展有限公司总资产280.46万元，净利润亏损73.99万元[106] - 上海芯源微企业发展有限公司净资产为负140.54万元[106] 股权激励和人员变动 - 2020年限制性股票激励计划授予51名激励对象55.50万股，授予价格40.00元/股[112] - 2021年预留限制性股票授予9名激励对象13.5万股，授予价格40.00元/股[112] - 2021年限制性股票激励计划授予36名激励对象65.00万股，授予价格40.00元/股[112] - 公司核心技术人员谷德君于2021年6月1日离职[109] - 公司于2021年4月9日聘任汪明波和崔晓微为副总裁[108] - 核心技术人员王绍勇减持10万股，持股从90万股降至80万股[187] 公司治理和会议 - 公司2021年共召开4次股东大会，全部议案均审议通过[106] 环保与安全 - 公司非重点排污单位，无高危险重污染情形，无噪声污染无工艺废水[115] - 公司研发使用极少量光刻胶显影液等化学品，污染物由第三方资质公司处置[116] - 公司建设酸碱水洗塔及有机吸附装置处理研发工艺试验产生的废气[116] - 公司突发环境事件应急预案已在环保局备案编号210112-2019-018-L[116] - 最近第三方环境检测时间为2021年6月29日，结果符合环保要求[116] - 公司废气通过酸碱洗涤塔及活性炭吸附设备处理合格后排放[119] - 公司废液通过专业容器收集后移交第三方资质公司处理[119] - 公司选用低转速电机及屋面排风机减小噪音[119] - 公司未列入重点排污单位名录，主营业务不属于重点污染行业[119] - 公司取得固定污染源排污登记回执，生活污水排入市政管网处理[115] 股东承诺和减持安排 - 公司监事承诺自上市之日起36个月内不转让所持股份[127] - 核心技术员承诺自上市之日起12个月内及离职后6个月内不转让股份[127] - 核心技术员承诺限售期满后4年内每年转让股份不超过上市时持股总数的25%[127] - 第一大股东先进制造承诺避免与公司产生同业竞争[127] - 第一大股东承诺出现同业竞争业务机会时优先提供给公司[130] - 第一大股东承诺遵循公平合理原则处理关联交易[130] - 持股5%以上股东承诺尽量减少与公司关联交易[130] - 持股5%以上股东承诺关联交易将遵循价格公允原则[130] - 所有承诺自2019年6月6日起生效[127][130] - 违反承诺方同意承担公司全部损失[130] - 先进制造、中科院沈自所、科发实业承诺锁定期满后2年内每年减持不超过发行前持有股份总数的25%[133] - 国科投资承诺锁定期满后每年减持不超过发行前持有股份总数的25%[133] - 国科瑞祺、周冰冰承诺锁定期满后2年内累计减持不超过上市时持有股份总数的100%[136] - 所有股东减持价格均需不低于首次公开发行价（除权除息调整后）[133][136] - 通过集中竞价交易减持需提前公告，其他方式减持需提前3个交易日公告[133][136] - 公司承诺上市后三年内若连续20日收盘价低于每股净资产将启动稳定股价措施[136] - 股东减持需遵守每年不超过25%的限额（国科瑞祺、周冰冰除外）[133][136] - 若公司触及重大违法退市标准，股东在终止上市前不得减持股份[133] - 减持方式包括二级市场竞价、大宗交易及协议转让等[133][136] - 所有承诺自2019年9月4日签署并在持股期间持续有效[133][136] - 股价稳定措施触发条件为连续20个交易日收盘价低于最近一期经审计每股净资产[139] - 公司回购股份上限为股份总数2%[139] - 第一大股东增持股份上限为股份总数2%[139] - 董事及高管增持资金范围为上年度税后收入20%-50%[142] - 稳定股价方案需在触发条件后5个工作日内制定[139] - 回购资金来源为公司自有资金[139] - 增持完成后六个月内不得出售所持股份[142] - 稳定股价措施实施后需在2个交易日内公告[139] - 承诺有效期为公司上市之日起3年[139][142] - 新聘董事及高管需履行同等承诺方可聘任[142] - 公司董事及高级管理人员承诺履行稳定股价义务，若未履行则公司有权扣留其现金分红及收入直至增持义务完成[145][148] - 公司承诺若不符合发行上市条件或以欺诈手段骗取发行注册，将在证监会确认后5个工作日内启动股份购回程序购回全部新股[145] - 先进制造作为第一大股东承诺不干预公司经营管理，不侵占公司利益，并承诺履行填补回报措施[145] - 公司董事及高级管理人员承诺不损害公司利益，约束职务消费，不动用公司资产从事无关活动[148] - 公司承诺遵守公司章程和股东分红回报规划中相关利润分配政策[148] - 公司承诺若招股说明书存在虚假记载等情形，将依法回购全部新股，回购价格为发行价加同期银行存款利息[148] - 公司承诺若信息披露存在虚假致使投资者遭受损失，将依法赔偿投资者损失[148] - 稳定股价方案涉及增持公司股票，若未履行承诺，公司有权自公告日起90个自然日后扣留相关收入[145] - 公司董事及高级管理人员承诺推动薪酬制度与股权激励计划与填补回报措施执行情况相挂钩[148] - 先进制造承诺若证监会发布新填补回报监管规定，将按照最新规定出具补充承诺[145] - 公司承诺若招股说明书存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏将依法回购全部新股并赔偿投资者损失[151] - 公司董事、监事、高级管理人员承诺对信息披露真实性承担个别和连带法律责任[151] - 公司上市前全体股东承诺未履行承诺时公开说明原因并道歉[154] - 公司董事、监事、高级管理人员、核心技术人员承诺未履行承诺时停止领取薪酬且股份不得转让[154] - 公司第一大股东承诺承担补缴社保公积金及相关罚款损失的责任[154] 关联交易和资金占用 - 报告期内控股股东及其他关联方不存在非经营性占用资金情况[156] - 报告期内公司不存在违规担保情况[156] - 关联交易中向沈阳富创精密设备股份有限公司购买原材料及劳务预计金额800万元，实际发生84.66万元，完成率10.58%[159] - 关联交易中向上海广川科技有限公司购买原材料及劳务预计金额400万元，实际发生153.8万元，完成率38.45%[159] - 关联交易总预计金额1200万元，实际发生238.46万元，总体完成率19.87%[159] 募集资金使用 - 高端晶圆处理设备产业化项目募集资金承诺投资总额2.386亿元，累计投入金额9052.9万元，投入进度37.94%[166] - 高端晶圆处理设备研发中心项目募集资金承诺投资总额1.392亿元，累计投入金额9349.04万元，投入进度67.17%[166] - 募集资金总额5.057亿元，本年度投入7615.26万元，累计投入总额1.84亿元[166] - 高端晶圆处理设备产业化项目本年度投入金额4480.53万元[166] - 高端晶圆处理设备研发中心项目本年度投入金额3134.73万元[166] - 两个募投项目累计投入金额与承诺投入金额差额为-1.938亿元[166] - 公司使用募集资金17,020,611.81元置换预先投入的自筹资金[169] - 公司使用不超过80,000,000元闲置募集资金暂时补充流动资金[169] - 公司使用不超过46,000万元闲置募集资金进行现金管理[169] - 公司使用不超过