本公司监事会及全体监事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述 或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。 沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称"公司"）于 2023 年 7 月 28 日召开第二届董事会第十四次会议、第二届监事会第十三次会议，审议通过了《关 于公司<2023 年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》等相关议案。 根据《上市公司股权激励管理办法》（以下简称"《管理办法》"）等相关规定， 公司对 2023 年限制性股票激励计划首次授予的激励对象名单在公司内部进行了 公示。公司监事会结合公示情况对拟激励对象进行了核查，相关公示及核查情况 如下： 一、公示情况 1、公司于 2023 年 7 月 29 日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披 露了《沈阳芯源微电子设备股份有限公司 2023 年限制性股票激励计划（草案）》 （以下简称"《激励计划（草案）》"）及其摘要、《沈阳芯源微电子设备股份 有限公司 2023 年限制性股票激励计划实施考核管理办法》、《沈阳芯源微电子 设备股份有限公司 2023 年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单》（以下 简 ...

财务表现 - 2023年第一季度，公司营业收入达到28.82亿元，同比增长56.89%[4] - 归属于上市公司股东的净利润为6.60亿元，同比增长103.55%[4] - 公司持续加大研发投入，导致净利润增长82.38%[7] - 公司2023年第一季度营业总收入为28.82亿元，较去年同期增长57.2%[13] - 公司2023年第一季度营业总成本为25.23亿元，较去年同期增长53.6%[13] - 公司2023年第一季度营业利润为7.44亿元，较去年同期增长111.1%[14] - 公司2023年第一季度净利润为6.60亿元，较去年同期增长103.1%[14] - 公司2023年第一季度每股收益为0.71元，较去年同期增长82.1%[15] - 公司2023年第一季度经营活动现金流入小计为27.02亿元，较去年同期减少20.4%[16] - 公司2023年第一季度经营活动现金流出小计为44.37亿元，较去年同期增长30.8%[17] - 公司2023年第一季度投资活动现金流出小计为64.04亿元，主要用于投资支付[17] - 公司2023年第一季度筹资活动现金流入小计为6.04亿元，主要来源于借款收入[17] - 公司2023年第一季度现金及现金等价物净增加额为-78.39亿元，现金流量状况较去年同期下降[18] 研发投入 - 研发投入合计为3.53亿元，占营业收入的比例为12.24%[5] 资产状况 - 公司流动资产合计为2,826,760,437.68元，较上一季度略有下降[10] - 公司非流动资产合计为731,100,514.99元，较上一季度有所增加[11] 负债状况 - 公司流动负债合计为1,264,932,879.99元，较上一季度略有下降[12] - 公司非流动负债合计为115,520,199.21元，较上一季度有所增加[12] 股东持有情况 - 中国工商银行股份有限公司金信稳健策略灵活配置混合型发起式证券投资基金持有人数为1,156,633，占比1.25%[8]

证券代码：688037 证券简称：芯源微 公告编号：2023-024 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 关于召开 2022 年度暨 2023 年第一季度业绩说明会 的公告 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述 或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担个别及连带责任。 重要内容提示： 投资者可于 2023 年 4 月 27 日 16:00 前登录上证路演中心网站首页点击 "提问预征集"栏目或通过公司投资者关系邮箱 688037@kingsemi.com 进行提 问。公司将在说明会上对投资者普遍关注的问题进行回答。 沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称"公司"）已于 2023 年 4 月 18 日披露公司 2022 年年度报告，并拟于 2023 年 4 月 26 日披露公司 2023 年第 一季度报告，为便于广大投资者更全面深入地了解公司 2022 年年度及 2023 年第 一季度经营成果、财务状况，公司计划于 2023 年 4 月 28 日下午 15:00-16:00 举 行 2022 年度暨 2023 年第一季度业绩说明会，就投资者关心的问题进行交流。 一、说明会类 ...

公司基本信息 - 公司中文名称为沈阳芯源微电子设备股份有限公司[19] - 公司注册地址位于辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号[20] - 公司法定代表人为宗润福[20] 公司财务表现 - 公司未盈利且尚未实现盈利[6] - 公司2022年营业收入同比增长67.12%，达到138.49亿元人民币[22] - 归属于上市公司股东的净利润同比增长158.77%，达到20.02亿元人民币[22] - 公司2022年经营活动产生的现金流量净额同比增长41,128.94万元[22] - 归属于上市公司股东的净资产同比增长134.78%，达到21.07亿元人民币[22] - 公司2022年总资产同比增长78.30%，达到349.63亿元人民币[22] - 公司2022年基本每股收益、稀释每股收益同比增长146.74%[22] - 公司2022年扣除非经常性损益后的基本每股收益同比增长103.95%[22] - 公司2022年加权平均净资产收益率为13.36%[22] - 公司2022年扣除非经常性损益后的加权平均净资产收益率为9.16%[22] - 公司2022年实现营业收入138,486.71万元，同比增长67.12%，净利润20,016.09万元，同比增长158.77%[28] 产品与技术 - 公司发布了全新产品—浸没式高产能涂胶显影机，具有高工艺能力、高洁净度、易维护性等特点[30] - 公司持续对前道涂胶显影机的核心零部件进行自主或联合研发，已实现多种核心零部件的国产替代[31] - 公司前道物理清洗机在前道物理清洗领域取得进展，产品已广泛应用于一线大厂，实现批量销售[32] - 公司后道先进封装领域用涂胶显影设备、单片式湿法设备实现批量销售超百台套，已成为客户端的主力量产设备[32] - 公司在化合物、MEMS、LED等小尺寸领域取得进展，产品已实现批量销售超百台套，巩固市场优势地位[32] - 公司前道涂胶显影设备已完成在晶圆加工环节28nm及以上工艺节点全覆盖，国内市场份额有望实现快速提升[32] 行业发展趋势 - 半导体产业是信息技术产业的核心，是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业[41] - 2022年全球晶圆厂前道设备投资将达到948亿美元的新行业纪录，同比增长8.3%[42] - Chiplet技术已成为持续提高集成度和芯片算力的重要途径[49] - SiC功率半导体市场规模预计从2021年的11亿美元增长至2027年的63亿美元[49] 公司治理与社会责任 - 公司高度重视ESG，将ESG视为与研发、生产、销售等基础业务同等重要的工作，是公司持续、长远发展的基石之一[196] - 公司积极履行环保义务，积极响应国家关于“碳达峰、碳中和”的战略目标，在内部建立了完善的环境保护制度体系[196] - 公司勇于承担社会责任，积极参与社会公益事业，捐赠资金用于疫情防控和帮扶学校，员工积极参与社区支援[196]

公司基本信息 - 证券代码 688037，证券简称芯源微，为沈阳芯源微电子设备股份有限公司 [1] 投资者关系活动信息 - 活动类别包括特定对象调研、媒体采访、新闻发布会、现场参观、分析师会议、业绩说明会、路演活动、电话会议等 - 参与单位众多，如安徽国富产业基金管理有限公司、安信基金管理有限责任公司等数百家公司 [2][3][4][5] - 活动时间为 2022 年 4 月，地点在公司会议室 [5] - 上市公司接待人员有董事长、总裁宗润福，副总裁、董事会秘书李风莉等 [6] 业绩情况 2021 年业绩 - 收入 8.28 亿元，同比增长 151.95% - 净利润 7734 万元，同比增长 58.41% - 扣非净利润 6383 万元，同比增长 395.83% [6] 2022 年一季度业绩 - 收入 1.83 亿元，同比增长 61.99% - 净利润 3241 万元，同比增长 398.34% - 扣非净利润 3133 万元，同比增长 579.64% [6] QA 环节问答 订单情况 - 目前在手订单饱满，2022 年新签订单将保持高速增长，2022Q1 前道领域产品开始放量，新签订单中前道产品占比大幅提升 [6] 研发投入 - 2022Q1 研发费用率降低因研发物料消耗节奏波动，全年研发费用率与去年相近，将继续加大研发力度提升产品竞争力 [6] 前道 Track 应用领域 - 下游客户覆盖逻辑、存储、功率器件及其他特种工艺等多家国内厂商 [7] 疫情影响 - 生产方面，提前预案，3 月 20 日封厂管理，飞云路、彩云路两厂区近 300 员工驻厂生产，4 月 20 日员工基本返岗，影响较小 - 原材料供应方面，部分上海物流延期，积极协调缓释影响，与二、三供应商合作良好，供应有保障 - 销售方面，新签订单不受影响，上海区域部分机台验收进度滞后，但客户区域广，总体机台验收进度影响小 [7] 零部件供应 - 供应紧张的常规零部件如阀、超洁净管等交货周期缓解，清单制管理，科学备库及提前预采购保障生产，不制约生产 [7] 彩云路厂区情况 - 2022 年一季度陆续投入使用，目前处于产能爬坡阶段 [7]

投资者信息 - 参与投资者关系活动的单位众多，包括易方达基金、博时基金、中欧基金等国内外知名金融机构 [1][2][3] 公司接待人员 - 接待人员包括董事长、总裁宗润福，副总裁、董事会秘书李风莉，证券投资部总监刘书杰，前道市场销售总监王星园 [4] 定增情况 - 定增发行顺利完成，认购倍数超三倍，最终发行价124.29元/股，较前20个交易日均价溢价5.4%，成功引入易方达基金、中信证券等知名投资机构 [5] 经营与订单情况 - Q2新签订单高速增长，前道领域签单快速放量，在手订单饱满，收入情况待公告 [5] 产品应用情况 - 前道Track在功率器件领域批量接单，在士兰微、华润微等厂商导入良好，6月与厦门士兰集科签署战略合作协议 [5] - 前道Track在存储厂进展顺利，在国内存储龙头厂商获小批量重复订单，在其他国内存储厂商实现批量销售 [5] 市场空间情况 - 公司产品可覆盖Krf及以下节点，这部分国内市场空间占国内整体需求的50 - 60% [5] 技术情况 - 前道Track和光刻机联机基于标准协议连接，公司早期已攻克联机技术，可与国际主流光刻机联机作业 [5][6] 零部件供应情况 - 供应紧张的零部件主要是阀、超洁净管等常规零部件，交货周期已缓解，公司对部分零部件采取滚动式预投保证供应 [6] 项目建设情况 - 彩云路一期项目已完成建设，临港项目完成整体设计和土地打桩，已启动建设，虽受疫情影响工期略有延误，但将按原计划高标准推进 [6]

好的，这是根据您的要求，对提供的财报关键点进行分组整理后的结果： 营业收入表现 - 第三季度营业收入3.92亿元，同比增长99.93%[8] - 年初至报告期末营业收入8.97亿元，同比增长63.87%[8] - 营业总收入同比增长63.9%至8.97亿元，从去年同期的5.47亿元增长[38] 净利润表现 - 第三季度归属于上市公司股东的净利润7362万元，同比增长308.63%[8] - 年初至报告期末归属于上市公司股东的净利润1.43亿元，同比增长169.42%[8] - 净利润同比增长169.4%至1.43亿元，去年同期为5308.62万元[40] - 综合收益总额为143,027,635.57元，同比增长169.5%[43] 成本和费用 - 营业成本增长62.5%至5.37亿元，去年同期为3.31亿元[38] - 研发费用增长37.6%至9478.21万元，去年同期为6889.77万元[38] - 信用减值损失扩大79.7%至1156.1万元，去年同期为643.11万元[40] - 所得税费用由负转正，今年支出2113.33万元，去年同期为收益160.72万元[40] 研发投入 - 第三季度研发投入5209.55万元，同比增长158.74%[11] - 研发投入占营业收入比例13.28%，同比增加3.02个百分点[11] 资产状况 - 货币资金从2021年末232,141,478.18元增至2022年9月30日357,904,310.19元，增长54.2%[29] - 应收账款从2021年末229,749,699.39元增至2022年9月30日328,243,909.25元，增长42.9%[29] - 存货从2021年末932,177,752.87元增至2022年9月30日1,286,709,119.76元，增长38.0%[33] - 固定资产从2021年末89,414,712.82元增至2022年9月30日358,618,802.21元，增长301.1%[33] - 总资产34.92亿元，较上年度末增长78.09%[11] - 资产总计从2021年末1,960,914,071.65元增至2022年9月30日3,492,194,008.51元，增长78.1%[33] 负债与权益 - 合同负债从2021年末352,694,995.07元增至2022年9月30日604,136,414.63元，增长71.3%[33] - 负债总额增长36.1%至14.48亿元，去年同期为10.64亿元[36] - 归属于上市公司股东的所有者权益20.44亿元，较上年度末增长127.86%[11] - 资本公积大幅增长149.1%至17.06亿元，去年同期为6.85亿元[36] - 未分配利润同比增长105.6%至2.29亿元，去年同期为1.12亿元[36] 现金流表现 - 销售商品、提供劳务收到的现金为1,094,853,472.78元，同比增长73.1%[43] - 购买商品、接受劳务支付的现金为865,592,732.98元，同比增长23.6%[47] - 支付给职工及为职工支付的现金为128,411,473.81元，同比增长59.2%[47] - 收到的税费返还为25,063,425.29元，同比下降0.7%[47] - 经营活动产生的现金流量净额为56,380,016.13元，同比改善127.4%[47] - 投资活动产生的现金流量净额为-857,621,351.18元，同比扩大725.7%[47] - 筹资活动产生的现金流量净额为915,307,247.94元，同比增长555.7%[49] - 期末现金及现金等价物余额为300,623,491.77元，同比增长24.4%[49] 盈利能力指标 - 加权平均净资产收益率10.97%，同比增加4.53个百分点[11] - 基本每股收益为1.64元/股，同比增长160.3%[43] - 财务费用改善206.1%，实现收益235.83万元，去年同期为收益77.06万元[38] 股东情况 - 报告期末普通股股东总数为7,195名[23] - 沈阳先进制造技术产业有限公司持股14,332,430股，占比15.50%[23] - 中国科学院沈阳自动化研究所持股10,500,000股，占比11.36%[23] - 中国科技产业投资管理有限公司持股9,932,820股，占比10.74%[23] 其他重要事项 - 收到商业秘密维权赔偿金4000万元[17]

财务业绩同比增长 - 营业收入同比增长43.70%至5.04亿元人民币[30][32] - 归属于上市公司股东的净利润同比增长97.91%至6940.67万元人民币[30][32] - 扣除非经常性损益的净利润同比增长122.41%至6578.28万元人民币[30][32] - 基本每股收益同比增长95.24%至0.82元/股[31][37] - 加权平均净资产收益率增加3.13个百分点至7.43%[31] - 公司实现营业收入50425.73万元，同比增长43.70%[78] - 归属于上市公司股东的净利润6940.67万元，同比增长97.91%[78] - 营业收入504257341.67元，同比增长43.70%[100] 成本与费用 - 营业成本301956994.12元，同比增长45.27%[100] - 研发投入总额为4268.65万元人民币，同比下降13.59%[61] - 研发投入占营业收入比例下降5.61个百分点至8.47%[31] - 研发投入占营业收入比例为8.47%，同比下降5.61个百分点[61] - 研发费用42686545.49元，同比下降13.59%[100] 资产与现金流状况 - 经营活动现金流量净额改善至1.12亿元人民币（去年同期为-1.39亿元）[30][32] - 归属于上市公司股东的净资产同比增长118.73%至19.63亿元人民币[30][32] - 总资产同比增长76.27%至34.57亿元人民币[30][32] - 公司资产总额345652.33万元，归属于上市公司股东的净资产196256.75万元[78] - 货币资金682443273.73元，同比增长193.98%[107] - 合同负债627763695.29元，同比增长77.99%[107] - 经营活动现金流量净额111572436.08元，同比改善[100] - 投资活动现金流量净额-674663615.18元，主要因购买理财产品[104] - 筹资活动现金流量净额1009148826.17元，同比增长775.56%[100] - 其他流动资产695339845.42元，同比增长758.34%[107] - 报告期末应收款项融资余额12,188,378.30元[120] - 报告期末其他权益工具投资余额10,000,000.00元[120] 研发活动与技术创新 - 研发人员数量253人，同比增长52.41%，占总员工比例35.29%[67] - 研发人员平均薪酬12.36万元，同比增长40.78%[67] - 累计获得专利授权237项，其中发明专利167项[60] - 在研项目4个，预计总投资规模3.21亿元人民币，累计已投入1.81亿元[64] - 前道涂胶显影设备研发项目累计投入8566.79万元，占预计总投资53.2%[64] - 单片式湿法设备研制项目本期投入1277.84万元，累计投入2867.61万元[64] - 核心零部件技术研发项目本期投入1803.95万元，累计投入6024.43万元[64] - 公司共获得专利授权237项，其中发明专利167项[79] - 公司拥有软件著作权56项[79] - 公司前道涂胶显影设备在28nm及以上工艺节点达到国际先进水平，光刻胶涂覆缺陷及成本控制技术、在线式工艺缺陷检测技术取得突破[56] - 公司前道物理清洗机在自动刷压控制技术上已达到国际先进水平[56] - 公司核心技术涵盖光刻工艺胶膜均匀涂敷技术，在28nm及以上技术节点达到国际先进水平并已开始部分量产[53] - 公司高产能设备架构及机械手优化调度技术在集成电路前道加工领域达到国际先进水平[53] - 公司内部微环境精确控制技术在28nm及以上节点颗粒控制指标达到国际先进水平[53] - 公司晶圆正反面颗粒清洗技术在40nm及以上颗粒去除率达到国际先进水平[54] - 公司化学药品精确供给及回收技术在流量控制精度（±1%）、温度控制精度（±0.5℃）等参数达到国际先进水平[54] - 公司不同尺寸晶圆兼容高效能浸泡单元技术在多种尺寸晶圆兼容方面领先国际知名企业[54] 业务与市场表现 - 前道涂胶显影机新签订单规模同比大幅增长[80] - 公司产品包括涂胶显影机和单片式湿法设备，应用于8/12英寸前道晶圆加工及6英寸以下化合物/MEMS/LED芯片制造[48] - 公司为国家级专精特新"小巨人"企业，主营半导体涂胶显影设备[57] - 公司前道物理清洗机达到国际先进水平并成功实现国产替代[82] - 公司产品通过SEMIS2国际安规认证[74] - 公司主持制定喷胶机、涂胶机两项行业标准[73] - 半导体设备全球销售额预计2022年达1175亿美元（SEMI数据）[44] - 2022年本土晶圆厂加速扩产提升资本开支，为国内半导体设备行业带来饱满订单需求[45] 公司治理与合规 - 公司董事会、监事会及高级管理人员保证半年度报告内容的真实性、准确性和完整性[4] - 公司已在本报告中详细阐述生产经营过程中可能面临的各种风险[5] - 不存在被控股股东及其关联方非经营性占用资金情况[8] - 不存在违反规定决策程序对外提供担保的情况[8] - 不存在半数以上董事无法保证半年度报告真实性、准确性和完整性的情况[8] - 报告期内公司无控股股东及其他关联方非经营性占用资金情况[194] - 报告期内公司无违规担保情况[196] - 报告期内公司无重大诉讼及仲裁事项[198] - 公司2022年半年度报告未经审计[6] 关联交易与承诺 - 公司向关联方沈阳富创精密设备股份有限公司采购原材料及劳务预计金额1000万元人民币，实际发生金额0元人民币[198] - 公司向关联方上海广川科技有限公司采购原材料及劳务预计金额1000万元人民币，实际发生金额64.08万元人民币[198] - 报告期内公司与关联方实际发生的关联交易总额为64.08万元人民币，远低于预计的2000万元人民币[198] - 公司关联交易实际执行率仅为3.2%（64.08万元/2000万元）[198] - 公司股东承诺自上市之日起36个月内不转让所持股份[145] - 公司董事及高级管理人员自上市之日起36个月内不得转让直接和间接持有的首次发行股份的25%[148] - 公司监事自上市之日起36个月内每年转让股份不超过持有总数的25%[148] - 核心技术人自上市之日起12个月及离职后6个月内不得转让股份[148] - 核心技术人员限售期满后4年内每年转让上市前股份不超过上市时持有总数的25%[148] - 第一大股东先进制造承诺避免与公司产生同业竞争[151] - 第一大股东先进制造承诺减少与公司关联交易并确保价格公允[154] - 持股5%以上股东承诺减少关联交易并遵循公平合理原则[154] - 先进制造、中科院沈自所、科发实业承诺限售期届满后2年内每年减持不超过发行前持股总数的25%[157] - 国科投资承诺锁定期满后每年减持不超过发行前持股总数的25%[160] - 周冰冰承诺锁定期满后2年内累计减持不超过上市时持股总数的100%[163] - 公司上市之日起三年内若连续20个交易日收盘价低于最近一期经审计每股净资产将触发股价稳定措施[166] - 公司回购股份单次上限为股份总数的2%[166] - 公司第一大股东增持股份单次上限为股份总数的2%[169] - 董事及高管增持资金要求为上年度税后收入的20%-50%[169] - 稳定股价方案实施期限为公告后90个自然日[166][169] - 股价稳定措施包含公司回购/第一大股东增持/董事高管增持三类主体[166][169] - 触发条件为收盘价连续20日低于调整后每股净资产[166][172] - 稳定方案终止条件包括连续10日收盘价高于每股净资产等三种情形[172] - 未履行增持承诺将扣留股东分红及高管收入[172] - 承诺有效期自2019年6月6日起公司上市后3年[166][172] - 公司董事及高级管理人员承诺履行稳定股价预案，未履行将扣留现金分红及收入[175] - 公司承诺若不符合发行上市条件，将在证监会确认后5个工作日内启动股份购回程序[175] - 第一大股东先进制造承诺不干预公司经营管理，不侵占公司利益[178] - 公司董事及高级管理人员承诺约束职务消费行为，推动薪酬制度与填补回报措施挂钩[178] - 公司及股东承诺遵守公司章程和上市后前三年股东分红回报规划[181] - 公司承诺招股说明书无虚假记载，若存在将依法回购全部新股并赔偿投资者损失[181] - 先进制造承诺对公司招股说明书真实性、准确性、完整性承担法律责任[181] - 公司承诺若招股说明书存在虚假记载或重大遗漏将依法回购全部新股并赔偿投资者损失[184] - 公司董事监事及高级管理人员承诺对信息披露真实性准确性完整性承担个别和连带法律责任[184][187] - 公司上市前全体股东承诺未履行承诺事项时将在股东大会及指定媒体公开说明原因并道歉[187] - 公司核心技术人员承诺若未履行承诺将停止领取薪酬且持有股份不得转让[191] - 第一大股东先进制造承诺承担发行人社保公积金补缴责任及相应赔偿义务[191] - 公司及全体董事监事承诺募集说明书不存在虚假记载误导性陈述或重大遗漏[191] - 公司高级管理人员承诺不无偿向他人输送利益及约束职务消费行为[191] - 招股说明书相关承诺起始日期为2019年6月6日且长期有效[184][187][191] - 赔偿投资者损失工作将在证券监督管理部门认定后10个交易日内启动[184][187] - 回购价格确定为首次公开发行价加上同期银行存款利息[184] - 公司董事及高管承诺将薪酬制度与公司填补回报措施执行情况挂钩[193] - 公司控股股东承诺不越权干预公司经营管理活动且不侵占公司利益[193] - 关联方承诺若违反填补回报措施将依法承担法律责任[193] 投资与子公司活动 - 公司投资设立上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司，初始注册资本17,000万元人民币，持股比例5.88%[115] - 2021年3月上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司增资至127,000万元，公司持股比例降至0.78%[115] - 公司控股子公司上海芯源微企业发展有限公司成立，注册资本5,000万元人民币，公司持股80%[116] - 2021年4月公司全资收购上海芯源微企业发展有限公司，持股比例增至100%[116] - 2021年9月公司以货币形式向上海芯源微企业发展有限公司出资5,000万元[116] - 2022年公司使用募集资金25,000万元向上海芯源微增资，注册资本增至30,000万元[119] - 上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司总资产1,766,735.15万元，净利润-36.24万元[121] - 上海芯源微企业发展有限公司营业收入6,549.13万元，净利润-1,060.23万元[121] 股权激励 - 公司推出两期限制性股票激励计划，覆盖激励对象共计139人次[84] - 公司以39.80元/股授予价格向43名激励对象授予16.25万股限制性股票[135] - 限制性股票授予价格由39.8元/股调整为39.5元/股[135] - 2020年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期归属6.75万股[135] - 2021年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期归属19.47万股[135] - 归属股份于2022年5月30日完成登记并于2022年6月6日上市流通[135] 前瞻性陈述与风险提示 - 公司未来计划、发展战略等前瞻性陈述不构成对投资者的实质承诺[7] - 董事会决议通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案不适用[7] - 公司治理特殊安排等重要事项不适用[7] - 其他事项不适用[10] 政府补助 - 政府补助金额2030.77万元，占净利润比例29.26%[98] 公司基本信息 - 公司注册地址和办公地址均为辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号[25] - 公司法定代表人宗润福[25] - 公司股票简称芯源微股票代码688037在上海证券交易所科创板上市[27] - 公司董事会秘书李风莉联系电话024-86688037[26] - 公司电子信箱688037@kingsemi.com[25][26] - 公司网址http://www.kingsemi.com[25] - 公司半年度报告备置地点未披露[27] - 公司信息披露报纸包括中国证券报上海证券报证券日报证券时报[27] - 公司外文名称KINGSEMI Co., Ltd.外文名称缩写KINGSEMI[25] - 公司主要从事半导体专用设备研发生产和销售[138] 环境保护与节能 - 公司建立完善环境保护制度体系包括环保培训及隐患识别[139] - 公司采购设备时选用技术先进节能设备以减少电能损耗[142] - 公司持续实行内部降本增效工作优化工艺流程[142]

收入和利润（同比环比） - 营业收入同比增长61.99%至1.84亿元人民币[6] - 归属于上市公司股东的净利润同比增长398.34%至3241.35万元人民币[6] - 扣除非经常性损益的净利润同比增长579.64%至3133.30万元人民币[6] - 基本每股收益同比增长387.50%至0.39元/股[6] - 营业总收入同比增长62.0%至1.84亿元人民币（2022年第一季度）对比1.13亿元人民币（2021年第一季度）[32] - 营业利润同比增长525.3%至3523.07万元人民币（2022年第一季度）对比563.56万元人民币（2021年第一季度）[34] - 净利润同比增长398.3%至3241.35万元人民币（2022年第一季度）对比650.42万元人民币（2021年第一季度）[34] - 基本每股收益同比增长387.5%至0.39元/股（2022年第一季度）对比0.08元/股（2021年第一季度）[37] - 营业收入同比增长62.0%至1.84亿元[46] - 净利润同比增长456.4%至3619.57万元[48] 成本和费用（同比环比） - 研发投入同比下降6.32%至1279.20万元人民币[9] - 研发投入占营业收入比例下降5.08个百分点至6.96%[9] - 营业成本同比增长54.7%至1.13亿元人民币（2022年第一季度）对比7270.77万元人民币（2021年第一季度）[32] - 销售费用同比增长51.0%至1683.61万元人民币（2022年第一季度）对比1114.92万元人民币（2021年第一季度）[32] - 管理费用同比增长72.4%至2467.53万元人民币（2022年第一季度）对比1431.51万元人民币（2021年第一季度）[32] - 研发费用同比下降6.3%至1279.20万元人民币（2022年第一季度）对比1365.45万元人民币（2021年第一季度）[32] - 研发费用同比下降22.0%至1065.75万元[46] - 所得税费用增长762.1%至501.34万元[48] - 财务费用为负409.68万元，主要因利息收入高于利息支出[46] 现金流表现 - 经营活动产生的现金流量净额改善至-128.11万元人民币[6][15] - 经营活动现金流入同比增长145.9%至3.39亿元人民币（2022年第一季度）对比1.38亿元人民币（2021年第一季度）[37] - 销售商品提供劳务收到现金同比增长160.8%至3.24亿元人民币（2022年第一季度）对比1.24亿元人民币（2021年第一季度）[37] - 经营活动产生的现金流量净额为-128.11万元，相比去年同期的-1.2375亿元改善明显[40] - 投资活动产生的现金流量净额为-4956.53万元，相比去年同期的-9573.13万元有所改善[40] - 筹资活动产生的现金流量净额为4315.55万元，相比去年同期的5213.92万元有所下降[40] - 经营活动现金流出净额122.68万元，同比改善99.0%[53] - 销售商品收到现金同比增长160.8%至3.24亿元[53] - 投资活动现金流出4351.87万元，主要用于购建长期资产[53] 资产和负债变动 - 货币资金为226,387,647.75元，较期初减少2.5%[23] - 应收账款为205,136,265.18元，较期初下降10.7%[23] - 存货为1,081,945,685.67元，较期初增长16.1%[23] - 在建工程为239,995,215.25元，较期初增长20.9%[26] - 合同负债为433,842,628.42元，较期初增长23.0%[26] - 短期借款为251,204,340.19元，较期初增长17.4%[26] - 资产总计为2,121,237,638.39元，较期初增长8.2%[26] - 归属于母公司所有者权益为915,699,295.14元，较期初增长2.1%[28] - 期末现金及现金等价物余额为1.787亿元，相比期初的1.863亿元减少768.37万元[41] - 货币资金为2.096亿元，与去年底的2.092亿元基本持平[41] - 应收账款为2.065亿元，相比去年底的2.297亿元减少10.1%[41] - 存货大幅增加至10.819亿元，相比去年底的9.322亿元增长16.1%[41] - 合同负债为4.304亿元，相比去年底的3.485亿元增长23.5%[44] - 短期借款为2.512亿元，相比去年底的2.141亿元增长17.3%[44] - 资产总计达到21.319亿元，相比去年底的19.611亿元增长8.7%[44] - 所有者权益合计增长2.4%至9.30亿元[46] - 期末现金余额1.67亿元，较期初下降0.9%[54] 非经常性损益及股东信息 - 政府补助等非经常性损益金额为108.04万元人民币[9][12] - 招商银行银河创新基金持股1,133,185股，占比1.35%[19] - 全国社保基金一一六组合持股997,947股，占比1.19%[19] 其他财务数据 - 总资产较上年度末增长8.18%至21.21亿元人民币[9] - 归属于上市公司股东的所有者权益增长2.06%至9.16亿元人民币[9]

根据您的要求，我对提供的关键点进行了整理和归类。以下是按照单一主题分组的要点： 财务表现：收入与利润 - 公司2021年度报告期内营业收入为人民币8.29亿元，同比增长151.95%[21][24] - 公司2021年度归属于上市公司股东的净利润为人民币7734.95万元，同比增长58.41%[21][24] - 营业收入同比增长151.95%，从2020年的3.289亿元增至2021年的8.287亿元[32][37] - 归属于上市公司股东的净利润同比增长58.41%，从2020年的4882.86万元增至2021年的7734.95万元[32][37] - 归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润同比增长395.83%，从2020年的1287.51万元增至2021年的6383.90万元[32][37] - 基本每股收益同比增长58.62%，从2020年的0.58元/股增至2021年的0.92元/股[34][38] - 扣除非经常性损益后的基本每股收益同比增长406.67%，从2020年的0.15元/股增至2021年的0.76元/股[34][38] - 加权平均净资产收益率增加2.89个百分点，从2020年的6.31%增至2021年的9.20%[34] - 营业收入82,867.25万元，较2020年同期增长151.95%[55] - 归属于上市公司股东的净利润7,734.95万元，较2020年同期增长58.41%[55] - 2021年公司实现营业收入82,867.25万元，净利润7,734.95万元[160] - 营业收入同比增长151.95%，达到828,672,512.29元[162] - 公司营业收入达到8.2867亿元，同比增长151.95%[165] - 主营业务收入8.1346亿元，同比增长155.55%，其中光刻工序涂胶显影设备收入5.062亿元（增长114.40%），单片式湿法设备收入2.896亿元（增长280.56%）[166][169] 财务表现：成本与费用 - 营业成本同比增长171.70%，达到513,096,199.64元[162] - 研发费用同比增长103.68%，达到92,499,621.62元[162] - 销售费用同比增长94.72%，达到72,652,222.45元[162] - 管理费用同比增长61.90%，达到92,471,887.20元[162] - 营业成本为5.131亿元，同比增长171.70%[165] - 主营业务成本5.0919亿元，同比增长175.58%，直接材料成本占比93.48%[166][173] - 直接人工成本增长200.04%，制造费用增长251.92%[176] - 销售费用同比增长94.72%至72.652百万元[182] - 管理费用同比增长61.90%至92.472百万元[182] - 研发费用同比增长103.68%至92.5百万元[185] 财务表现：现金流 - 公司经营活动产生的现金流量净额为人民币1.05亿元，同比增长186.32%[21][24] - 经营活动产生的现金流量净额同比下降1.459亿元，从2020年的-7239.00万元降至2021年的-2.183亿元[32][37] - 经营活动产生的现金流量净额为-218,325,429.94元[162] - 投资活动产生的现金流量净额同比下降228.36%，为-190,691,164.74元[162] - 筹资活动产生的现金流量净额同比增长1,490.96%，达到184,045,700.66元[162] - 经营活动现金流量净额变动主要因业务规模扩大及材料采购支出大幅增加[163] - 经营活动现金流净额恶化至-218.325百万元[186] - 投资活动现金流净额同比下降228.36%至-190.691百万元[186] 财务表现：资产与负债 - 公司总资产达到人民币20.36亿元，较期初增长45.78%[21][24] - 公司归属于上市公司股东的净资产为人民币12.67亿元，较期初增长23.18%[21][24] - 总资产同比增长60.13%，从2020年末的12.246亿元增至2021年末的19.609亿元[32][38] - 公司资产总额196,091.41万元，归属于上市公司股东的净资产89,724.81万元[55] - 货币资金同比下降47.53%至232.141百万元[192] - 应收账款同比增长172.51%至229.75百万元[192] - 存货同比增长131.73%至932.178百万元[192] - 短期借款同比增长879.66%至214.074百万元[195] - 其他权益工具投资余额为1000万元[200] 分红信息 - 公司2021年度拟每10股派发现金红利3.00元（含税），总股本84,156,000股，合计派发现金红利25,246,800元[7] - 公司2021年度现金分红比例为32.64%[7] - 公司总股本为84,156,000股[7] 研发投入与成果 - 公司2021年度研发投入为人民币1.18亿元，同比增长109.25%，占营业收入比例达14.23%[21][24] - 研发投入占营业收入的比例减少2.65个百分点，从2020年的13.81%降至2021年的11.16%[34] - 研发支出9,249.96万元，同比增长103.68%[56] - 共获得专利授权217项，其中发明专利162项，软件著作权54项[61] - 研发投入总额同比增长103.68%至9249.96万元[115][116] - 研发投入总额占营业收入比例为11.16%较上年减少2.65个百分点[115] - 公司累计获得专利授权217项其中发明专利162项[112] - 2021年新增发明专利11项累计申请发明专利361项[113] - 研发费用同比增长103.68%[126] - 研发人员数量217人，占公司总人数比例34.12%[130] - 研发人员薪酬合计4115.53万元，平均薪酬18.97万元[130] - 研发支出总额9249.96万元，占营业收入11.16%[135] - 公司累计获得专利授权217项，其中发明专利162项[135] 具体研发项目 - 前道涂胶显影设备研发项目累计投入7456.06万元[121] - 高端封装涂胶显影设备研制项目累计投入587.91万元[121] - 单片式湿法设备研制项目累计投入1814.06万元[121][125] - 核心零部件技术研发项目累计投入5286.47万元[125] - 承担浸没式涂胶显影设备研发与应用项目（2021-2023年）[109] 技术突破与水平 - 前道涂胶显影设备在28nm及以上工艺节点关键技术取得突破[57] - 前道物理清洗机已掌握28nm工艺节点核心技术[58] - 集成电路前道28nm技术节点颗粒控制指标达国际先进水平[3] - 40nm及以上晶圆颗粒去除率达国际先进水平[7] - 单片式湿法设备在化学药品流量温度控制精度达国际先进水平[8] - 后道先进封装领域多种尺寸晶圆兼容技术领先国际企业[10] - 光刻机联机调度技术弱于国际企业联机经验较少[4] 业务表现：按产品线 - 公司前道涂胶显影设备实现销售收入人民币4.88亿元，同比增长256.13%[21][24] - 公司前道Spin Scrubber清洗设备实现销售收入人民币1.21亿元，同比增长171.21%[21][24] - 公司后道先进封装领域实现销售收入人民币2.15亿元，同比增长51.12%[21][24] - 公司LED领域实现销售收入人民币0.85亿元，同比增长38.21%[21][24] - 光刻工序涂胶显影设备销售量158台套，同比增长102.56%[170] - 单片式湿法设备销售量65台套，同比增长225.00%[170] 业务表现：客户与订单 - 前道Spin Scrubber清洗机获中芯国际等多家Fab厂商批量重复订单[63] - 公司涂胶显影设备打破国外垄断，在集成电路前道晶圆加工环节获得多个前道大客户订单，实现小批量替代[73] - 公司单片式清洗机Spin Scrubber设备达到国际先进水平，在国内多个重要客户处获得批量重复订单[73] - 公司前道涂胶显影设备已获多个前道大客户订单，实现小批量替代[89] - 公司前道Spin Scrubber清洗设备2021年获中芯国际等国内多家Fab厂商批量重复订单[92] - 公司后道设备批量应用于台积电等国内一线大厂，成为主力量产设备[92] - 公司小尺寸设备批量应用于三安光电等国内一线大厂，成为主力量产设备[93] - 前五大客户销售额占比44.20%，其中客户A销售额1.332亿元（占比16.08%）[177][179] 业务表现：累计销售与设备 - 各类涂胶显影设备和单片式湿法设备累计销售超1400台套[68] - 公司各领域涂胶显影和单片式湿法设备累计销售超1400台套[93] - 涂胶显影设备和单片式湿法设备累计销售1400余台套[136] 主营业务构成 - 公司主营业务收入来源于半导体专用设备产品销售，其他业务收入来源于配件销售及维修服务[74] 毛利率变化 - 毛利率37.40%，同比下降4.55个百分点[166] 供应链信息 - 前五名供应商采购额313.2339百万元，占年度采购总额26.39%[181] 政府补助 - 政府补助金额为3,995.79万元，占利润总额比例51.66%[159] 股权激励 - 推出两期限制性股票激励计划覆盖139人次核心骨干[69] 行业与市场环境 - 2021年全球半导体设备销售额达到1030亿美元，同比增长44.7%[83] - 2021年半导体前道设备销售额达到880亿美元，同比增长43.7%[83] - 2022年全球半导体设备销售额预计增长至1140亿美元[83] - 2016-2020年中国大陆半导体设备市场规模从64.6亿美元增长至187.2亿美元，年均复合增长率30.5%[83] - 2020年中国大陆半导体设备市场占全球市场的26.2%，成为全球第一大市场[86] - 全球半导体制造商2022年前资本支出超1400亿美元建29座晶圆厂[94] - 台积电2022年资本开支指引400-440亿美元，预计代工行业增长20%[94] - 中芯国际2022年资本开支增至50亿美元[94] - 中国大陆预计新增12英寸产能148.20万片/月，8英寸产能11.50万片/月[94] - 2022年中国第三代半导体器件市场规模预计突破608.21亿元，三年CAGR达78.4%[98] 产品复杂度 - 前道涂胶显影设备包含10余个功能模块组、100余个功能单元和数万个零部件[88] - 前道涂胶显影设备需确保机械臂平均每小时数千次的运动速度[88] 季度表现 - 第四季度营业收入达2.815亿元，为2021年各季度最高[40]