9月24日，A股三大指数震荡上行，半导体设备板块领涨市场。 相关ETF方面，截至发稿，科创半导体设备ETF（588710）涨9.81%，现居全市场涨幅榜前五，成交额 超2.57亿元。成分股中，神工股份涨停，盛美上海、华海清科、安集科技等多股跟涨。 华鑫证券表示，在国家政策支持下，国内企业加速研发突破光刻机制造技术，目前国产光刻机在 90nm 及以下工艺节点方面取得了重要进展。例如，上海微电子自主研发的 600系列光刻机已实现 90nm 工艺 的量产，并正在进行 28nm 浸没式光刻机的研发工作。近期，宇量昇与中芯国际的合作测试是国产光刻 机突破的重要信号。随着光刻机技术的突破将带动上游材料、精密机械等配套产业升级，加速光刻胶、 光学部件等 "卡脖子" 材料的国产化进程，形成 "龙头带动、多点突破"的产业升级格局。 （本文机构观点来自持牌证券机构，不构成任何投资建议，亦不代表平台观点，请投资人独立判断和决 策。） 科创半导体设备ETF（588710）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，该指数选取科创板内业务涉 及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市 公司证券 ...

行业技术突破 - 上海微电子首次公开极紫外光刻机参数图并展示概念验证机 国产EUV进入原理机搭建阶段 [2][4] - 国产光刻机在90nm及以下节点取得重要进展 上海微电子600系列光刻机实现90nm工艺量产 28nm浸没式光刻机正在研发中 [4] - 芯碁微装WLP 2000晶圆级直写光刻设备实现2um线宽/线距 已获中道头部客户重复订单 PLP3000板级设备实现3um线宽/线距 [6] 产业链协同发展 - 光刻机技术突破带动上游材料与精密机械产业升级 加速光刻胶、光学部件等卡脖子材料国产化进程 [4] - 波长光电光刻机相关业务包括反射镜、聚焦镜等光学元器件 应用于掩膜光刻、直写光刻、封装测试等场景 [6] - 江丰电子开发多层钛合金扩散焊接技术 制备28nm以下节点光刻机核心冷却部件 已进入量产阶段 [6] 市场表现与资本关注 - 光刻机概念龙头张江高科涨停并创历史新高 其子公司持有上海微电子10.779%股权 投资金额2.2345亿元 [2][6] - 9月以来杠杆资金净买入超亿元个股包括：腾景科技5.23亿元、芯碁微装4.66亿元、炬光科技1.82亿元、波长光电1.13亿元 [8][10] - 机构关注度较高个股：芯碁微装(18家)、江丰电子(13家)、富创精密(13家)、蓝特光学(11家)评级机构数量均超10家 [7][10] 企业成长性预期 - 富创精密、同飞股份、广立微等7家公司机构预测2026-2027年净利润增速均超30% [7][10] - 芯碁微装机构预测2026年净利润增速46.91% 2027年增速27.62% [10] - 炬光科技机构预测2026年净利润增速4230.77% 2027年增速113.85% [10]