9月24日，A股三大指数震荡上行，半导体设备板块领涨市场。 相关ETF方面，截至发稿，科创半导体设备ETF（588710）涨9.81%，现居全市场涨幅榜前五，成交额 超2.57亿元。成分股中，神工股份涨停，盛美上海、华海清科、安集科技等多股跟涨。 华鑫证券表示，在国家政策支持下，国内企业加速研发突破光刻机制造技术，目前国产光刻机在 90nm 及以下工艺节点方面取得了重要进展。例如，上海微电子自主研发的 600系列光刻机已实现 90nm 工艺 的量产，并正在进行 28nm 浸没式光刻机的研发工作。近期，宇量昇与中芯国际的合作测试是国产光刻 机突破的重要信号。随着光刻机技术的突破将带动上游材料、精密机械等配套产业升级，加速光刻胶、 光学部件等 "卡脖子" 材料的国产化进程，形成 "龙头带动、多点突破"的产业升级格局。 （本文机构观点来自持牌证券机构，不构成任何投资建议，亦不代表平台观点，请投资人独立判断和决 策。） 科创半导体设备ETF（588710）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，该指数选取科创板内业务涉 及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市 公司证券 ...