EUV光刻技术

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美光宣布,业界首款
半导体芯闻· 2025-03-06 09:59
美光科技1γ节点DRAM技术突破 - 美光开始出货采用第六代1γ节点DRAM技术的DDR5内存样品 这是业界首次采用该节点发运产品 [1] - 1γ节点相比上一代1β节点速度提升15% 功耗降低20%以上 位密度提高30%以上 [1] - 功耗降低通过HKMG和电路设计改进实现 位密度提升主要得益于首次引入EUV光刻技术 [1] 技术细节与市场背景 - 数据中心内存需求预计2028年前三年内翻倍 2030年数据中心电力消耗将占全球8%以上 [1] - 美光DRAM开发在美国爱达荷州和日本广岛进行 制造基地分布在美国 台湾和弗吉尼亚州 [1] - 1γ节点开发在广岛完成 样品制造在引进EUV技术的台湾工厂进行 [1] 美光技术路线与战略 - 公司此前已率先推出1α和1β节点 从1β开始采用HKMG技术 [2] - 针对1γ节点首次引入EUV光刻工具 但仅在必需工序使用以平衡成本和生产效率 [2] - 公司认为DRAM技术发展正面临转折点 未来技术方向尚不明确 [2] - 美光强调保持技术领导地位的重要性 认为一旦落后可能需要10年才能重新领先 [2]
韩国芯片,危险!
半导体行业观察· 2025-03-02 02:43
美光第六代DRAM技术突破 - 美光率先向客户出货基于1γ节点的16Gb DDR5内存样品,速度达9200MT/s,较上一代提升15% [1][4] - 1γ节点采用新一代高K金属栅极CMOS技术,功耗降低超20%,比特密度提升超30% [4][5] - 该技术将应用于云端、工业、消费电子及端侧AI设备,满足高性能计算需求 [3][4] DRAM市场竞争格局变化 - 美光市场份额从19.6%升至22.2%,三星和SK海力士分别降至41.1%和34.4% [8] - SK海力士已完成1c DDR5量产认证,计划2月初全面量产 [6][7] - 三星1c DRAM开发延迟至2025年6月,良率目标70%,可能影响HBM4进度 [7][10] HBM市场竞争态势 - SK海力士保持领先地位,正加快开发HBM4目标2026年量产 [13] - 美光已向英伟达供应8层HBM3E,即将量产12层产品,功耗低20%且容量高50% [11][12] - 三星落后于竞争对手,8层HBM3E刚进入小规模量产,12层产品仍在测试阶段 [11][14] 低功耗DRAM市场进展 - 美光将为三星Galaxy S25提供主要LPDDR5X芯片,首次成为三星主要内存供应商 [15] - 美光LPDDR5X芯片在功耗效率和性能上优于三星产品,解决发热问题 [15][17] - 2022年美光已为iPhone 15系列提供基于1b工艺的LPDDR5X [16] 技术发展与产能扩张 - EUV光刻技术使1γ DRAM容量密度提升30%,减少多重光刻步骤提高良率 [20][21] - 美光在日本和台湾增加EUV系统,计划发展1δ工艺和3D DRAM架构 [22] - 公司获得美国61.65亿美元补贴,计划在新加坡建70亿美元封装设施,日本广岛建HBM产线 [18] 行业影响与未来展望 - 美光计划2025年HBM市场份额达20%-25%,挑战SK海力士和三星主导地位 [23] - 三星已开始建设第七代DRAM试验线,试图重夺技术领先地位 [14] - 存储芯片行业竞争加剧,推动整体技术进步和产品升级 [19][23]
美光DRAM,终于用了EUV
半导体行业观察· 2025-02-26 01:07
美光1γ工艺DDR5芯片技术突破 - 公司推出采用1γ制造工艺的16Gb DDR5芯片,首次应用EUV光刻技术,该工艺属于第6代10nm级节点[1] - 新产品额定数据传输率达9200 MT/s,标准电压1.1V,相比前代1β工艺产品功耗降低20%,位密度提升30%[1] - 新技术结合EUV与多重图案化DUV技术,采用下一代高K金属栅极和全新后端电路设计[4] 产品性能与市场应用 - 芯片9200 MT/s速度超出当前DDR5规范最高等级,但兼容JEDEC标准,可为下一代CPU提供未来防护[2] - 产品适用于CUDIMM/CXL内存模块和发烧友DIMM,后者可能实现10,000 MT/s超频模块[2] - 已向笔记本/服务器厂商送样,预计2025年中期进入零售市场,将覆盖台式机/笔记本/服务器全产品线[2] 生产工艺与产能规划 - 1γ工艺是公司首个采用EUV的技术节点,相比竞争对手延迟数年但带来显著优势[3] - 目前在日本晶圆厂生产,2024年安装首台EUV设备,未来将在日本和台湾工厂增加更多EUV系统[4] - 该工艺将成为公司主力节点,后续将用于GDDR7、LPDDR5X(9600 MT/s)及数据中心产品[3] 技术细节与性能提升 - EUV应用于关键层替代多重图案化,缩短生产周期并提升良率[4] - 新技术使性能比1β提升15%,同时保持20%的功耗优势[4] - 成本优势将在产量达到1β水平时显现,预计制造成本同步降低[1]