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Blank Mask(空白掩模)
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国内材料巨头入主掩模版,空白掩模有望国产化(附投资逻辑)
材料汇· 2025-09-26 13:03
文章核心观点 - 聚和材料以3.5亿人民币收购SKE空白掩模业务,进军半导体核心材料领域,提升国产化能力 [2][13] - 空白掩模是光刻工艺关键材料,目前国产化率极低,市场由日韩企业垄断 [2][4] - 国内半导体材料市场空间达135亿美元,掩模版占比12%,空白掩模细分市场约14-15亿人民币 [7][9][11] - 收购标的SKE专注于DUV高端空白掩模产品,已通过多家掩模厂验证,覆盖韩国、中国大陆及中国台湾市场 [16] - 聚和材料计划通过技术吸收、产能扩张和客户拓展实现国产化与全球化布局 [14] 空白掩模产品与市场 - 空白掩模是光掩模版的原材料,用于半导体光刻工艺,直接影响下游制品优品率 [3] - 全球空白掩模市场被日韩企业垄断,日本Hoya、雷越和韩国S&S Tech、SKC为主要参与者 [4] - 2024年中国光掩模版市场空间约72亿人民币,空白掩模细分市场约14-15亿人民币 [9][11] - 空白掩模在掩模版成本结构中占比60%,掩模版毛利率约40% [11] 半导体材料市场空间 - 2024年全球半导体材料市场约675亿美元,中国大陆占比20%达135亿美元 [7] - 晶圆制造材料占半导体材料的63.6%,光掩模版在晶圆制造材料中占比12% [7][9] - 中国大陆半导体材料规模从2019年87亿美元增长至2021年119亿美元,年复合增长率16.95% [53] 收购细节与战略规划 - 聚和材料出资680亿韩元(约3.5亿人民币)收购SKE空白掩模业务,包含土地、厂房、专利等资产 [13] - 收购后公司将通过激励措施绑定韩国核心技术人员,并计划在中国大陆扩大产能 [14] - SKE产品覆盖DUV-ArF和DUV-KrF光刻节点,适用于130nm-65nm制程工艺 [16][17] - 聚和材料资金储备充裕,2025年上半年货币资金及交易性金融资产约20亿元 [17] 掩模版行业技术格局 - 半导体掩模版中晶圆厂/IDM厂自供占比65%,第三方厂商以日本Toppan(31%)、美国Photronic(29%)、日本DNP(23%)为主 [4] - 掩模版制造需光刻、显影、蚀刻等复杂工艺,130nm以下制程需电子束光刻技术 [28][50] - 关键参数包括最小线宽(≤0.5μm)、CD精度(≤0.02μm)和套刻精度,直接影响产品良率 [31] - 国产掩模版企业目前集中于350-130nm成熟制程,高端产品依赖进口 [87][89] 国产化进展与挑战 - 中国半导体光掩模版国产化率约10%,高端产品国产化率仅3% [89] - 掩模版核心原材料石英基板和光学膜国产化率低(石英5%,光学膜0%),依赖日本、韩国进口 [39] - 美国出口限制将250nm及以下制程掩模版纳入清单,推动国产替代加速 [66] - 国内企业如路维光电、清溢光电已实现180nm制程量产,并规划向28nm先进制程突破 [87][116]