财务业绩表现 - 2025年第三季度公司收入31亿元，同比增长50.6%，环比增长11.3% [2][3] - 2025年第三季度归母净利润5.05亿元，同比增长27.5%，环比增长28.6% [2][3] - 2025年前三季度公司实现总收入80.63亿元，同比增长46.4%，归母净利润12.11亿元，同比增长32.66% [3] - 2025年第三季度扣非净利润3.48亿元，同比增长5.4%，环比大幅增长44.7%，扣非净利率为11.2% [3] 业务分部收入 - 2025年前三季度刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长38.26% [3] - 2025年前三季度LPCVD和ALD等薄膜设备收入4.03亿元，同比大幅增长1332.69% [3] 研发投入与盈利能力 - 2025年前三季度研发支出25.23亿元，同比增长63.44%，研发支出占收入比例高达31.29% [3] - 2025年第三季度毛利率为37.9%，同比下降5.8个百分点，环比下降0.6个百分点 [3] 产品与技术进展 - 下一代90:1超高深宽比CCP刻蚀设备即将进入市场 [2][4] - 用于下一代逻辑和存储客户的ICP刻蚀设备和化学气相刻蚀设备开发取得良好进展 [4] - 先进逻辑和存储产线用LPCVD、ALD等薄膜设备已经进入市场，硅和锗硅外延EPI设备正进行量产验证 [4] - 先进逻辑和存储产线用高端刻蚀设备付运量显著提升，超高深宽比刻蚀工艺实现大规模量产 [3]

投资评级 - 对中微公司的投资评级为“增持”，且为维持该评级 [1][7] 核心观点 - 中微公司25Q3业绩表现强劲，收入同比高增长，利润同比稳健增长，研发进度显著加快 [1][7] - 公司核心产品取得重要进展，下一代90:1超高深宽比CCP刻蚀设备即将进入市场，薄膜沉积设备快速放量 [1][7] - 基于对公司未来收入的乐观预测，预计归母净利润将持续增长，对应市盈率逐步下降 [7] 财务业绩表现 - **25Q3单季业绩**：收入31亿元，同比增长50.6%，环比增长11.3%；归母净利润5.05亿元，同比增长27.5%，环比增长28.6% [1][7] - **2025前三季度累计业绩**：收入80.63亿元，同比增长46.4%；归母净利润12.11亿元，同比增长32.66% [7] - **盈利能力指标**：25Q3单季毛利率为37.9%，同比下降5.8个百分点，环比下降0.6个百分点；扣非净利率为11.2%，同比下降4.8个百分点，环比上升2.6个百分点 [7] 业务运营与产品进展 - **刻蚀设备业务**：2025前三季度刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长38.26% [7] - **薄膜设备业务**：2025前三季度LPCVD和ALD等薄膜设备收入4.03亿元，同比大幅增长1332.69%，进入快速放量阶段 [7] - **技术研发与产品突破**：先进逻辑和存储产线用高端刻蚀设备付运量显著提升，超高深宽比刻蚀工艺实现大规模量产；ICP刻蚀设备、化学气相刻蚀设备开发取得良好进展；硅和锗硅外延EPI设备已进入客户端量产验证 [7] 研发投入 - **研发支出**：2025前三季度研发支出25.23亿元，同比大幅增长63.44% [7] - **研发投入强度**：研发支出占收入比例达到31.29% [7] 财务预测与估值 - **收入预测**：预计2025/2026/2027年营业收入分别为119.29亿元、151.21亿元、185.00亿元，同比增长率分别为32%、27%、22% [2][7] - **利润预测**：预计2025/2026/2027年归母净利润分别为20.54亿元、29.49亿元、38.87亿元，同比增长率分别为27%、44%、32% [2][7] - **估值指标**：对应2025/2026/2027年市盈率分别为90.5倍、63.0倍、47.8倍 [2][7]