财务业绩表现 - 2025年第三季度公司收入31亿元，同比增长50.6%，环比增长11.3% [2][3] - 2025年第三季度归母净利润5.05亿元，同比增长27.5%，环比增长28.6% [2][3] - 2025年前三季度公司实现总收入80.63亿元，同比增长46.4%，归母净利润12.11亿元，同比增长32.66% [3] - 2025年第三季度扣非净利润3.48亿元，同比增长5.4%，环比大幅增长44.7%，扣非净利率为11.2% [3] 业务分部收入 - 2025年前三季度刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长38.26% [3] - 2025年前三季度LPCVD和ALD等薄膜设备收入4.03亿元，同比大幅增长1332.69% [3] 研发投入与盈利能力 - 2025年前三季度研发支出25.23亿元，同比增长63.44%，研发支出占收入比例高达31.29% [3] - 2025年第三季度毛利率为37.9%，同比下降5.8个百分点，环比下降0.6个百分点 [3] 产品与技术进展 - 下一代90:1超高深宽比CCP刻蚀设备即将进入市场 [2][4] - 用于下一代逻辑和存储客户的ICP刻蚀设备和化学气相刻蚀设备开发取得良好进展 [4] - 先进逻辑和存储产线用LPCVD、ALD等薄膜设备已经进入市场，硅和锗硅外延EPI设备正进行量产验证 [4] - 先进逻辑和存储产线用高端刻蚀设备付运量显著提升，超高深宽比刻蚀工艺实现大规模量产 [3]