财务数据关键指标变化：收入和利润 - 营业收入为16.08亿元人民币，同比增长5.25%[24] - 归属于上市公司股东的净利润为3931.87万元人民币，同比下降46.68%[24] - 归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为1951.59万元人民币，同比下降71.34%[24] - 基本每股收益为0.103元/股，同比下降46.63%[25] - 稀释每股收益为0.103元/股，同比下降46.63%[25] - 扣除非经常性损益后的基本每股收益为0.051元/股，同比下降71.35%[25] - 加权平均净资产收益率为0.81%，同比下降0.69个百分点[25] - 扣除股份支付影响后净利润为3931.87万元，较上年同期7535.06万元下降47.82%[30] - 营业总收入从15.28亿元增至16.08亿元，增长5.25%[157] - 净利润为1042.75万元人民币，同比下降76.2%[158] - 归属于母公司股东的净利润为3931.87万元人民币，同比下降46.7%[158] - 基本每股收益0.103元/股，同比下降46.6%[159] - 母公司净利润亏损737.95万元人民币，去年同期盈利1.59亿元[162] - 公司本期综合收益总额为6829.61万元人民币[176] - 母公司综合收益总额减少737.95万元人民币[180] - 本期综合收益总额为159,348,843.12元[182] 财务数据关键指标变化：成本和费用 - 营业成本上升至11.25亿元人民币，同比增长12.05%，主要因国内供应链开发带来额外支出[84][85] - 销售费用增至5319.06万元人民币，同比上升20.17%，反映业务扩张投入[84][85] - 研发费用达1.18亿元人民币，同比增长17.59%，持续加强半导体技术投入[84][85] - 营业成本从10.04亿元增至11.25亿元，增长12.05%[157] - 销售费用从0.44亿元增至0.53亿元，增长20.17%[157] - 管理费用从1.85亿元增至1.96亿元，增长6.07%[157] - 研发费用为1.18亿元人民币，同比增长17.6%[158] - 财务费用为9454.21万元人民币，同比下降11.8%[158] - 利息费用为1.04亿元人民币，同比增长11.3%[158] - 支付的各项税费同比下降16.70%至8769万元[164] 财务数据关键指标变化：现金流量 - 经营活动产生的现金流量净额为-5.63亿元人民币[24] - 经营活动现金流量净流出5.63亿元人民币，与去年同期基本持平[84][85] - 销售商品提供劳务收到的现金同比增长6.45%至15.24亿元[164] - 经营活动产生的现金流量净额同比恶化10.65%至-5.63亿元[164] - 投资活动现金流出同比减少32.46%至2.31亿元[166] - 筹资活动现金流入同比增长21.44%至31.50亿元[166] - 期末现金及现金等价物余额同比增长87.25%至7.67亿元[166] - 母公司经营活动现金流量净额改善548.78%至4640万元[168] - 母公司投资支付的现金同比减少57.86%至6716万元[168] - 母公司取得借款收到的现金同比增长28.12%至11.95亿元[168] - 购建固定资产无形资产支付的现金同比减少35.34%至2.11亿元[166] 财务数据关键指标变化：资产和负债 - 总资产为145.80亿元人民币，同比增长7.41%[24] - 归属于上市公司股东的净资产为50.13亿元人民币，同比增长3.78%[24] - 预付款项大幅增长82.87%至6.14亿元人民币，因订单执行预付采购款增加[87] - 投资性房地产增加75.49%至7.76亿元人民币，因自有房产转为出租用途[87] - 合同负债上升58.35%至5.18亿元人民币，显示在手订单预收款增长[87] - 货币资金从87.05亿元人民币增长至96.19亿元人民币，增幅10.5%[150] - 应收账款从28.34亿元人民币增至30.56亿元人民币，增长7.8%[150] - 存货从31.18亿元人民币增至33.93亿元人民币，增长8.8%[150] - 预付款项从3.36亿元人民币大幅增至6.14亿元人民币，增幅82.8%[150] - 短期借款从30.73亿元人民币增至35.09亿元人民币，增长14.2%[151] - 合同负债从3.27亿元人民币增至5.18亿元人民币，增长58.4%[151] - 总资产从135.74亿元人民币增至145.80亿元人民币，增长7.4%[151] - 归属于母公司所有者权益从48.31亿元人民币增至50.13亿元人民币，增长3.8%[152] - 公司总资产从780.07亿元增至839.97亿元，增长7.68%[154][155] - 货币资金从2.91亿元增至3.09亿元，增长5.88%[153] - 应收账款从14.81亿元降至12.51亿元，下降15.53%[153] - 预付款项从4.68亿元增至9.06亿元，增长93.58%[153] - 短期借款从12.64亿元增至14.56亿元，增长15.13%[154] - 应付账款从6.47亿元增至10.25亿元，增长58.42%[154] - 公司2025年上半年所有者权益合计增加2.84亿元人民币至49.27亿元，较期初增长6.1%[171] - 归属于母公司所有者权益增长1.82亿元至48.31亿元，增幅3.8%[171] - 未分配利润增加7109.7万元至12.31亿元，增幅5.8%[171] - 其他综合收益减少3982.4万元至1.44亿元，降幅27.7%[171] - 少数股东权益大幅增加1.01亿元至1.96亿元，增幅105.5%[171] - 资本公积增加1.39亿元至30.64亿元，增幅4.5%[171] - 库存股减少1461.6万元至1.26亿元，降幅10.4%[171] - 实收资本减少260.4万元至3.86亿元，降幅0.7%[171] - 2024年上半年所有者权益合计增加4255.9万元至50.66亿元，增幅0.8%[173] - 2024年未分配利润增加7374.3万元至13.16亿元，增幅5.6%[173] - 公司本期期末所有者权益总额为52.11亿元人民币[174] - 所有者投入和减少资本总额为589.70万元人民币[176] - 其中所有者投入的普通股为413.68万元人民币[176] - 股份支付计入所有者权益的金额为176.02万元人民币[176] - 公司上年期末母公司所有者权益余额为40.48亿元人民币[180] - 母公司本年期初余额为40.48亿元人民币[180] - 母公司本期所有者权益减少7719.23万元人民币[180] - 母公司其他权益变动导致减少6937.65万元人民币[180] - 公司本年期初所有者权益总额为3,861,337,077.52元[182] - 所有者投入资本增加5,863,573.88元（其中普通股投入4,136,832.00元，股份支付1,726,741.88元）[182] - 本期所有者权益增加165,212,417.00元，增幅4.28%[182][183] - 期末所有者权益总额达4,026,549,494.52元[183] 非经常性损益 - 非经常性损益净额1980.28万元，主要包括政府补助1242.89万元、投资性房地产公允价值变动收益2194.74万元及债务重组损失1833.95万元[28] - 政府补助金额达1242.89万元，占非经常性收益重要组成部分[28] - 投资性房地产公允价值变动产生收益2194.74万元，显著贡献非经常性损益[28] - 金融资产公允价值变动及处置收益956.11万元[28] - 债务重组导致损失1833.95万元[28] - 非流动性资产处置损失179.73万元[28] - 单独减值测试应收款项转回142.64万元[28] - 私募基金投资公允价值变动收益922.67万元人民币，期末价值2.49亿元人民币[93] - 公允价值变动收益3117.41万元人民币，去年同期为亏损296.23万元[158] - 投资收益亏损1829.36万元人民币，同比扩大400.4%[158] 业务表现：半导体技术及设备 - 公司半导体业务涉及Fin FET、FIN ETCH、FIN ETCH CLEAN等先进制程工艺技术[14] - 公司清洗技术用于半导体制造原材料及半成品杂质处理[14] - 公司旗下至微科技湿法设备在28纳米节点开发全部完成且全工艺机台均有订单[41] - 高温硫酸SPM设备单机累计产量超过90万片次[41] - S300-D湿法设备平台WPH（每小时处理晶圆数量）提升30%[42] - 单片SPM清洗设备可实现40纳米以下少于20个剩余颗粒处理[42] - 硫酸回收系统最高可实现80%以上硫酸回收率[42] - 单片硫酸回收系统单台每年可为用户节省160~180万美元硫酸费用[42] - 单片磷酸清洗机台可实现40纳米少于30个剩余颗粒处理且蚀刻选择比大于50[43] - 晶背清洗设备可实现40纳米少于10个剩余颗粒处理且金属污染控制在1E+9原子/平方厘米以内[44] - S300D设备采用3 chamber架构且整体体积压缩到90L[45] - 超薄片清洗设备破片率小于1/10000[46] - 高纯工艺系统实现ppb级（十亿分之一）不纯物控制[51] - 高纯工艺系统实现ppb级不纯物控制[73] - 是国内能提供28纳米制程节点全部湿法工艺的本土供应商，在更先进工艺节点取得设备验证订单[74] - 业务组合已为头部客户提供湿法设备、高纯特气设备、化学品设备、前驱体设备、研磨液设备、大宗气供应等产品[77] 业务表现：市场及客户 - 公司关联客户包括中芯国际、华虹公司、长江存储等头部晶圆厂[13] - 公司80%业务集中于半导体行业，覆盖晶圆厂全生命周期产品服务[35] - 中国大陆12寸晶圆厂特气中标市占率达48.8%[49] - 化学品设备及系统市占率超30%[49] - 自主品牌SAFETRON®业务量占系统集成总量近40%[50] - 系统集成及支持设备服务覆盖41次中国大陆晶圆厂中标项目[49] - 公司收入中来自集成电路行业客户占比为87.46%[62] - 中国大陆主流12寸晶圆厂特气中标市占率达48.8%，化学品设备及系统市占率超过30%[73] - 电子及通信设备制造业增长12.7%，其中集成电路制造增长21.2%[34] 业务表现：生产及供应能力 - 启东制造基地支持设备年产能超2万台套[50] - 2017年至今出货高纯特气及化学品设备超4.2万台[50] - 首座国产化12英寸28纳米大宗气体工厂2022年初持续稳定运行[55] - 第二座大宗气站2024年上半年开始供气[55] - 大宗气体供应服务合约期为至少15年[55] - 建成两座国产化12英寸晶圆大宗气体供应工厂，能够提供至少15年高纯大宗气体供应[74] - 固定资产原值总额29.92亿元，其中半导体设备制造9.73亿元占32.52%，电子材料生产7.17亿元占23.95%，晶圆再生及部件清洗6.33亿元占21.16%[77] - 已建成42万平米生产和服务基地，另有4.87万平米在建[77] - 通过积极备货和本土供应链建设基本实现自主可控，部分分析侦测类部件持续验证中[80] - 2017年至今已出货各类高纯特气设备和高纯化学品设备超过4.2万台[61] 订单及收入表现 - 2025年1-6月公司新增订单总额为17.25亿元[63] - 截至报告期公司在手订单共134.14亿元（含长期订单），其中泛半导体行业订单占比94.72%[63] - 集成电路领域在手订单占比85.3%，服务于12英寸集成电路客户占比达89.10%[63] - 2024年上半年及2025年上半年电子材料领域收入分别为0.54亿元和1.33亿元[64] - 报告期内公司实现收入16.08亿元，同比增长5.25%[62] - 息税折旧及摊销前利润（EBITDA）为3.19亿元[62] 研发及知识产权 - 上市至今累计研发投入达18.48亿元，专利数量从50余项增长至865项[61] - 累计申请专利865件，其中发明专利356件，PCT国际申请23件，已授权专利615件，其中发明专利194件，软件著作权185件，注册商标163件[72] 子公司及参股企业表现 - 公司参股企业包括至微半导体、波汇科技、江苏启微等子公司[13] - 上海嘉至半导体气体有限公司电子大宗气站营业收入113,088.33万元，净利润1,719.13万元[96] - 至微半导体（上海）有限公司营业收入397,760.32万元，净利润-2,966.59万元[96] - 江苏微启半导体有限公司营业收入248,920.26万元，净利润-5,799.70万元[96] - 上海汇波科技有限公司营业收入81,320.57万元，净利润-162.31万元[96] - 上海汇波信息技术有限公司营业收入47,820.07万元，净利润-518.24万元[96] - 中能瑞通（北京）科技有限公司营业收入14,060.67万元，净利润-2,417.98万元[96] - 天津汇至光电技术有限公司营业收入44,352.31万元，净利润819.78万元[96] - 合肥半导体有限公司营业收入61,226.04万元，净利润-2,290.11万元[96] - 合肥微电子有限公司营业收入6,345.44万元，净利润-1,726.25万元[96] - 贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司营业收入56,991.30万元，净利润3,642.07万元[96] 公司治理及股权 - 公司副总经理叶颖因法定退休年龄离任，白柠被聘任为新副总经理[106] - 半年度利润分配预案为不分配不转增，每10股送红股0股、派息0元、转增0股[106] - 公司股份总数因回购股份注销减少260.392万股至3.836亿股，降幅0.67%[137][138] - 无限售流通股份减少260.392万股至3.83亿股，持股比例维持99.82%[137] - 有限售条件股份数量保持68.04万股，占比0.18%[137] - 普通股股东总数为80,111户[140] - 第一大股东蒋渊持股8,650万股占比22.55%，其中质押2,866万股[141] - 股东共青城尚纯持股1,520万股占比3.96%，无质押[141] - 股东陆龙英持股1,250万股占比3.26%，其中质押600万股[141] - 公司回购专用证券账户持股413.39万股占比1.08%[141][142] - 前十名股东中一致行动人包括蒋渊、陆龙英及共青城尚纯[142] - 股份变动未对每股收益及每股净资产等财务指标产生影响[139] - 第四期股权激励计划将回购注销68.04万股限制性股票[144] - 第四期股权激励首次授予8名激励对象42.24万股限制性股票[144] 股权激励及员工持股 - 第三期股权激励预留授予第二个行权期结束未行权[107] - 第四期股权激励首次授予股票期权第三个行权期行权条件未成就[107] - 第四期股权激励预留授予股票期权第二个行权期行权条件未成就[107] - 第四期股权激励首次授予限制性股票第三个解锁期解锁条件未成就[107] - 第四期股权激励预留授予限制性股票第二个解锁期解锁条件未成就[107] - 公司终止2024年员工持股计划，决定实施第一期员工持股计划[108] 风险因素 - 公司面临人才流失风险，可能对产品开发和技术研究产生不利影响[102] - 公司存在汇率风险，将开展套期保值措施降低汇率波动影响[103] - 公司阶段性面临短期利润受折旧和利息重大影响，出现EBITDA高但扣非利润低的情况[78] - 2024年末应收账款前十大客户期后回款比例为38.38%[69] 承诺及合规 - 公司不存在非经营性资金占用及违规担保情况[6][7] - 公司控股股东蒋渊、陆龙英、尚纯投资承诺长期有效履行关联交易合规义务，承诺时间为2018年9月25日[111] - 赵浩及其一致行动人承诺长期有效避免关联交易损害上市公司利益，承诺时间为2018年9月25日[111] - 所有承诺方均严格履行关联交易及同业竞争承诺，无未履行事项[111] - 承诺方保证不利用控股地位促使股东大会或董事会作出侵犯公司合法权益的决议[111] - 关联交易需依法签订协议并按公允价格执行，确保交易公允性[111] - 承诺方杜绝占用上市公司资金或资产行为，且不要求提供担保[111] - 蒋渊、陆

证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2025-077 为深入贯彻党的二十大和中央金融工作会议精神，落实国务院《关于进一步 提高上市公司质量的意见》要求，积极响应上海证券交易所《关于开展沪市公司 "提质增效重回报"专项行动的倡议》，践行"以投资者为本"的理念，推动上 海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称"公司"）高质量发展和投资价值 提升，保护投资者尤其是中小投资者合法权益，公司制定了 2025 年度"提质增 效重回报"行动方案，具体方案如下： 一、聚焦经营主业，持续提升核心竞争力 公司业务目前 80%在半导体行业，从行业发展周期及战略角度出发，在下游 客户的建设投产期和运营量产期进行产品和业务布局。在建设投产期，为客户提 供制程设备、高纯工艺设备及系统。在稳定运营期，公司为客户提供电子材料、 零部件及专业服务。公司的核心业务紧紧围绕为晶圆厂提供从前期建设到稳定运 营阶段全生命周期的产品和服务。而公司这些核心业务的布局，围绕微污染控制 技术、复杂工艺控制技术、超高纯度流体控制技术等，通过数年完成了覆盖核心 用户全生命周期的产品和服务组合。该组合有助于公司在半导体产业不同周期阶 段，都可以有 ...

根据中国证券监督管理委员会《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集 资金管理和使用的监管要求》、上海证券交易所《上海证券交易所上市公司自律 监管指引第 1 号——规范运作》及相关格式指引等规定，上海至纯洁净系统科技 股份有限公司（以下简称"本公司"）编制的 2025 年半年度募集资金存放与实 际使用情况的专项报告如下： 一、募集资金基本情况 2020 年 11 月 12 日经中国证券监督管理委员会《关于核准上海至纯洁净系统 科技股份有限公司非公开发行股票的批复》（证监许可[2020]3020 号）的核准， 公司非公开发行不超过 78,005,377 股新股，截至 2020 年 12 月 23 日，公司本次 非公开发行人民币普通股 47,749,661 股，发行价格 28.79 元/股，实际募集资金总 额为人民币 1,374,712,740.19 元，扣除各项不含税发行费用人民币 20,184,669.49 元后，募集资金净额为人民币 1,354,528,070.70 元。众华会计师事务所（特殊普 通合伙）于 2020 年 12 月 23 日对本次发行的资金到位情况进行了审验，并出具 了《验资报告》[众会字 ...

证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2025-076 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 关于调整第一期员工持股计划受让价格的公告 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗 漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。 上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称"公司"）于 2025 年 8 月 28 日召开第五届董事会第十三次会议、第五届监事会第十二次会议，审议通过 了《关于调整第一期员工持股计划受让价格的议案》。根据《上海至纯洁净系统 科技股份有限公司第一期员工持股计划》和公司 2024 年第三次临时股东会审议 通过的《关于提请股东会授权董事会办理公司第一期员工持股计划有关事项的议 案》中股东会对董事会的授权以及相关规定，公司董事会对第一期员工持股计划 （以下简称"本次员工持股计划"）的受让价格进行了调整。现将有关事项说明 如下： 一、已履行的相关审批程序 1、2024 年 10 月 29 日，公司召开职工代表大会就公司拟实施的第一期员工 持股计划事宜充分征求了公司职工代表意见。 2、2024 年 10 月 29 日，公司召开第五届董事会第九次会 ...

上海至纯洁净系统科技股份有限公司 调整第一期员工持股计划受让价格的 关于 上海市锦天城律师事务所 法律意见书 地址：上海市浦东新区银城中路501号上海中心大厦11/12层 电话：021-20511000 传真：021-20511999 邮编：200120 上海市锦天城律师事务所 法律意见书 上海市锦天城律师事务所 关于上海至纯洁净系统科技股份有限公司 调整第一期员工持股计划受让价格的 法律意见书 致：上海至纯洁净系统科技股份有限公司 根据上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称"公司"或"至纯科技"） 与上海市锦天城律师事务所（以下简称"本所"）签订的《专项法律服务合同》， 本所律师作为至纯科技实施第一期员工持股计划的专项法律顾问。根据《中华人 民共和国公司法》（以下简称"《公司法》"）、《中华人民共和国证券法》（以 下简称"《证券法》"）、《关于上市公司实施员工持股计划试点的指导意见》 （以下简称"《试点指导意见》"）《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号 —规范运作》（以下简称"《自律监管指引第1号》"）等相关法律、法规和规范性 文件以及《上海至纯洁净系统科技股份有限公司章程》（以下简称"《公司章 ...

证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2025-078 上海至纯洁净系统科技股份有限公司关于 2025 年半 年度计提信用减值、资产减值损失及核销资产的公告 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗 漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。 上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称"公司"）第五届董事会第 十三次会议、第五届监事会第十二次会议审议通过了《关于 2025 年半年度计提 信用减值、资产减值损失及核销资产的议案》，上述议案无需提交股东会审议。 现将 2025 年半年度计提减值损失及核销资产的具体情况公告如下： 一、计提信用减值、资产减值损失情况概述 根据《企业会计准则》及公司会计政策的相关规定，基于谨慎性原则，公司 对合并报表范围内可能发生减值迹象的各项资产进行了清查，2025 年半年度公 司合并报表冲回信用减值损失 2,997.82 万元，计提资产减值损失 343.30 万元， 增加利润总额 2,654.52 万元，上述减值损失计提已体现在公司 2025 年半年度归 属于上市公司股东净利润中。明细如下： 单位：万元 | | 项 目 ...

交易基本情况 - 公司筹划通过发行股份及支付现金方式收购贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司83.7775%股份并募集配套资金 [1] - 交易完成后威顿晶磷将成为控股子公司 预计不构成重大资产重组且不会导致实际控制人变更 [1] 交易时间线 - 公司股票自2025年2月17日起停牌 预计停牌时间不超过10个交易日 [1] - 2025年2月28日披露交易预案并同日股票复牌 [2] - 分别于2025年3月29日、4月29日、5月30日、7月1日、7月31日定期发布进展公告 [2] 工作进展状态 - 截至公告披露日 交易涉及的审计、评估、尽职调查等工作仍在推进中 [2] - 未能在2025年8月27日前发出召开股东会通知 因相关审计评估工作尚未完成 [3] - 首次董事会决议公告日为2025年2月27日 按规定需在6个月内发出股东会通知 [3] 后续安排 - 公司明确继续推进交易 将协调完成标的公司审计评估及尽职调查工作 [3] - 择机重新召开董事会审议交易事项 并以新董事会决议公告日作为发行股份定价基准日 [4] - 待工作完成后按法律法规履行审批决策及信息披露程序 [4]

市场扩张和并购 - 公司筹划购威顿晶磷83.7775%股份并募资[2] 时间安排 - 2025年2月17日起停牌，2月28日起复牌[3][4] - 2月27日通过交易议案，应8月27日前发股东会通知[4][5] 进展情况 - 多次发布交易进展公告，审计等工作仍在推进[4][7] 后续计划 - 继续推进交易，择机重开董事会[8] 不确定性 - 交易需多项审批，能否通过及获批时间不定[9]

全球晶圆制造设备市场规模 - 2024年全球热处理设备市场规模31.5亿美元 [2] - 2024年全球薄膜沉积设备市场规模256.3亿美元 [2] - 2024年全球刻蚀设备市场规模180.9亿美元 [2] - 2024年全球光刻设备市场规模258.4亿美元 [2] - 2024年全球CMP设备市场规模29.8亿美元 [2] - 2024年全球清洗设备市场规模65.7亿美元 [2] - 2024年全球涂胶显影设备市场规模35.3亿美元 [2] - 2024年全球检测/量测设备市场规模142.5亿美元 [2] 国产化率进展趋势 - 热处理设备国产化率从2021年约11%提升至2024年约23% [2] - 薄膜沉积设备国产化率从2021年约5%增长至2024年约19% [2] - 刻蚀设备国产化率从2021年约11%大幅提升至2023年28%并维持至2024年 [2] - CMP设备国产化率从2021年约18%跃升至2023年43% 2024年略降至40% [2] - 清洗设备国产化率从2021年约26%稳步增长至2023年34% 2024年微调至32% [2] - 涂胶显影设备国产化率2021年约7% 2024年回落至10% [2] - 检测/量测设备国产化率从2021年约3%缓慢提升至2024年约5% [2] 国内主要设备供应商分布 - 热处理设备主要供应商为北方华创 屹唐股份 [2] - 薄膜沉积设备主要供应商包括北方华创 中微公司 拓荆科技 微导纳米 [2] - 刻蚀设备主要供应商为北方华创 中微公司 屹唐股份 [2] - 光刻设备主要供应商为上海微电子等企业 [2] - CMP设备主要供应商为华海清科 晶亦精微 [2] - 清洗设备主要供应商包括盛美上海 北方华创 芯源微 至纯科技 [2] - 涂胶显影设备主要供应商为芯源微 [2] - 检测/量测设备主要供应商包括精测电子 中科飞测 上海睿励等 [2]

股价表现与交易数据 - 8月22日盘中上涨2.02%至27.23元/股 成交1.36亿元 换手率1.32% 总市值104.47亿元 [1] - 主力资金净流入1044.33万元 特大单买入占比5.25% 大单买入占比29.15% [1] - 年内累计上涨8.66% 近5/20/60日分别上涨4.33%/6.78%/5.46% [1] - 年内4次登上龙虎榜 最近4月7日净买入802.38万元 买入总额2.24亿元占比9.68% [1] 股东结构与机构持仓 - 截至3月31日股东户数11.73万户 较上期激增75.37% [2] - 人均流通股3263股 较上期减少43.36% [2] - 香港中央结算有限公司新进第六大流通股东 持股343.18万股 [2] - 国联安中证全指半导体ETF联接A等机构产品持仓 [2] 财务业绩与分红 - 2025年第一季度营业收入7.28亿元 同比下降10.32% [2] - 归母净利润同比大幅下降 [2] - A股上市后累计派现2.48亿元 近三年累计派现1.36亿元 [2] 公司基础信息 - 主营业务为半导体制程设备及工艺支持设备研发 [1] - 所属申万行业分类：电子-半导体-半导体设备 [1] - 概念板块涵盖中芯国际概念/大基金概念/第三代半导体等 [1] - 2000年11月成立 2017年1月在沪市上市 [1]