回购方案 - 首次披露日为2024年10月29日[3] - 实施期限为2024年10月28日至2025年10月27日[3] - 预计回购金额8000万元至16000万元[3] 回购进展 - 累计已回购股数3202480股，占总股本0.83%[3][6] - 累计已回购金额8002.16万元[3][6] - 实际回购价格区间23.50元/股至25.85元/股[3][6] 2025年8月情况 - 回购股份417879股，占总股本0.11%[6] - 购买最高价25.71元/股、最低价25.36元/股[6] - 已支付总金额1064.51万元[6] 价格调整 - 2024年度权益分派后回购价格上限调为33.60元/股[5]

股份回购进展 - 截至2025年8月末累计回购股份3,202,480股 占公司总股本比例0.83% [1] - 回购价格区间为23.50元/股至25.85元/股 [1] - 已支付总金额8,002.16万元（不含交易费用） [1]

活动信息 - 公司将参加2025年上海辖区上市公司集体接待日暨中报业绩说明会活动[1] - 活动于2025年9月19日15:00 - 17:00采用网络远程方式举行[1] - 可通过“全景路演”网站等参与[1] 交流安排 - 届时公司高管将在线就2025年半年度业绩等问题与投资者交流[1]

核心财务表现 - 2025年上半年营业收入16.08亿元，同比增长5.25% [1] - 归属于上市公司股东的净利润3931.87万元 [1] - 电子材料业务收入1.33亿元，同比增长约146% [1][2] 电子材料业务突破 - 国内首座完全国产化28纳米制程12英寸晶圆大宗气体工厂实现指标全面达标与持续稳定运行 [2] - 第二座12英寸晶圆量产线大宗气站于2024年投入运营 [2] - 电子材料业务收入从2024年上半年0.54亿元增长至2025年上半年1.33亿元 [2] 技术研发与专利成果 - 累计研发投入达18.48亿元 [4] - 累计申请专利865件，其中发明专利356件，PCT国际申请23件 [5] - 已获授权专利615件，含发明专利194件，软件著作权185件，注册商标163件 [5] - 取得槽式清洗设备SPM酸洗工艺的美国专利授权 [6] 市场地位与行业认可 - 中国大陆主流12寸晶圆厂特气中标市占率48.8% [5] - 化学品设备及系统市占率超过30% [5] - 入选2024年上海市制造业单项冠军企业名单 [6] - 跻身上海市集成电路设备业（本土）销售前五强 [6] 业务战略布局 - 构建"工艺—设备—材料"三位一体战略布局 [8] - 目标90%设备供应链实现自主可控 [8] - 12英寸单片湿法清洗设备和槽式湿法设备参与中国大陆高端清洗设备市场竞争 [5] - 国内能提供28纳米制程节点全部湿法工艺的本土供应商 [5] 客户与订单结构 - 在手订单总额134.14亿元（含长期订单），不含长期订单为50.5亿元 [8] - 泛半导体行业订单占比94.72%，其中集成电路领域占比85.3% [8] - 服务于12英寸集成电路客户占比达89.10% [8] 运营管理优化 - 2025年上半年现金收入比维持在0.95的健康水平 [9] - 前十大客户应收账款及合同资产期后回款比例：2024年末38.38%，2023年末70.92%，2022年末88.51% [9] - 通过调整资源分配和强化应收账款回收措施提升经营性现金流 [9] 产业贡献与战略意义 - 成功打破国际供应商在半导体级大宗气体领域的长期垄断 [2] - 为产业链安全与可持续发展提供坚实支撑 [7] - 推动整个产业的国产化进程与技术升级 [8]

股价表现与交易数据 - 9月2日盘中上涨2.08%至28.98元/股 成交3.10亿元 换手率2.82% 总市值111.18亿元 [1] - 主力资金净流入380.33万元 特大单买入3061.65万元(占比9.88%) 大单买入7387.01万元(占比23.84%) [1] - 今年以来股价累计上涨15.64% 近5日涨6.62% 近20日涨15.00% 近60日涨15.32% [1] - 年内4次登上龙虎榜 最近一次4月7日净买入802.38万元 买入总额2.24亿元(占比9.68%) 卖出总额2.16亿元(占比9.33%) [1] 公司基本情况 - 主营业务为半导体制程设备及工艺支持设备的研发生产销售 衍生高纯工艺系统建设、电子材料、部件清洗及晶圆再生服务 [2] - 收入构成：系统集成78.51% 设备业务16.80% 电子材料4.56% 其他0.13% [2] - 所属申万行业为电子-半导体-半导体设备 概念板块包括融资融券、中盘、第三代半导体、增持回购、华为概念等 [2] 财务与股东数据 - 2025年上半年营业收入16.08亿元 同比增长5.25% 归母净利润3931.87万元 同比下降46.68% [2] - 股东户数8.01万户 较上期减少31.72% 人均流通股4780股 较上期增加46.47% [2] - A股上市后累计派现2.48亿元 近三年累计派现1.36亿元 [3] - 南方中证1000ETF新进第十大流通股东 持股248.44万股 香港中央结算有限公司退出十大股东 [3]

核心财务表现 - 2025年上半年营业收入16.08亿元 同比增长5.25% [1] - 归母净利润3931.87万元 [1] - 电子材料业务收入1.33亿元 同比大幅增长146% [1] - 现金收入比维持在0.95的健康水平 [3] 业务板块进展 - 国内首座完全国产化12英寸晶圆大宗气体工厂稳定运行 支持28纳米制程 [1] - 第二座同类气站2024年投入运营 预计随客户产能释放贡献收入 [1] - TGM和TCM驻厂服务有序推进 部分业务进入批量供应阶段 [1] - 正积极推进对威顿晶磷的并购 旨在强化电子材料领域布局 [1] 技术研发实力 - 上市至今累计研发投入超18亿元 [2] - 国内能提供28纳米制程节点全部湿法工艺的本土供应商 [2] - 累计申请专利865件 含356件发明专利和23件PCT国际申请 [2] - 已获授权专利615件 含发明专利194件 [2] - 拥有软件著作权185件 注册商标163件 [2] - 上半年取得槽式清洗设备SPM酸洗工艺的美国专利授权 [2] 市场地位与订单 - 高纯工艺系统市场占有率48.8%（基于2016-2024年中国大陆主流12寸晶圆厂41次特气中标结果） [2] - 化学品设备及系统市占率超过30% [2] - 在手订单总额134.14亿元（含长期订单） [2] - 94.72%订单来自泛半导体行业 [2] - 89.10%订单服务于12英寸集成电路客户 [2] 运营管理成效 - 应收账款及合同资产余额前十大客户期后回款比例达38.38%（截至2024年12月31日） [3] - 构建"工艺—设备—材料"三位一体布局 [2] - 推进供应链国产化 建立完备备货体系和技术储备 [2]

财务表现 - 2025年上半年营业收入16.08亿元 同比增长5.25% [1] - 归母净利润3931.87万元 [1] - 电子材料业务收入1.33亿元 同比增长约146% [1] 业务进展 - 电子材料业务大幅增长146% 主要受益于国产化气体工厂运营 [1] - 国内首座完全国产化12英寸晶圆大宗气体工厂支持28纳米制程并稳定运行 [1] - 第二座同类气站2024年投入运营 预计随客户产能释放贡献收入 [1] - TGM和TCM驻厂服务有序推进 部分业务进入批量供应阶段 [1] - 积极推进并购威顿晶磷以强化电子材料战略布局 [1] 研发与技术实力 - 上市至今累计研发投入超18亿元 [2] - 国内能提供28纳米制程节点全部湿法工艺的本土供应商 [2] - 高纯工艺系统市场占有率48.8%（基于2016-2024年中国大陆主流12寸晶圆厂41次特气中标结果） [2] - 化学品设备及系统市占率超过30% [2] - 累计申请专利865件（含发明专利356件 PCT国际申请23件） [2] - 已获授权专利615件（含发明专利194件） [2] - 拥有软件著作权185件 注册商标163件 [2] - 取得槽式清洗设备SPM酸洗工艺美国专利授权 [2] 战略布局与订单情况 - 构建"工艺—设备—材料"三位一体布局 [3] - 推进供应链国产化 具备完备备货体系和技术储备 [3] - 在手订单总额134.14亿元（含长期订单） [3] - 94.72%订单来自泛半导体行业 [3] - 89.10%订单服务于12英寸集成电路客户 [3]

财务表现 - 2025年中报营业总收入16.08亿元 同比增长5.25% 其中第二季度营收8.8亿元 同比增长22.88% [1] - 归母净利润3931.87万元 同比下降46.68% 但第二季度净利润2030.26万元 同比大幅增长99.87% [1] - 扣非净利润1951.59万元 同比下降71.34% 显示主营业务盈利能力显著减弱 [1] 盈利能力指标 - 毛利率30.03% 同比下降12.4% 净利率0.65% 同比下降77.36% [1] - 每股收益0.1元 同比下降46.63% 每股净资产13.07元 同比增长1.87% [1] - 历史ROIC中位数8.21% 但去年ROIC仅为1.27% 资本回报率不强 [3] 现金流与负债状况 - 每股经营性现金流-1.47元 同比下降11.62% 近3年经营性现金流均值/流动负债为-12.45% [1][3] - 有息负债64.79亿元 同比增长26.6% 有息资产负债率达43.81% [1][3] - 货币资金9.62亿元 同比增长67.46% 但货币资金/流动负债比率仅为17.31% [1][3] 资产质量与运营效率 - 应收账款30.56亿元 同比增长12.11% 应收账款占最新年报归母净利润比达12949% [1][3] - 三费占营收比21.4% 同比下降2.88% 总金额3.44亿元 [1] - 公司业绩主要依靠研发、营销及资本开支驱动 需关注资本开支项目效益 [3]

财务表现 - 上半年营业收入16.08亿元 同比增长5.25% [1] - 归属于上市公司股东的净利润3931.87万元 同比下降46.68% [1] - 基本每股收益0.103元 [1]

股权激励计划调整 - 公司第四期股权激励计划因2024年业绩未达考核目标 触发部分限制性股票回购注销条件 [2][9] - 本次涉及回购注销的限制性股票合计68.04万股 包括首次授予第三个解锁期及预留授予第二个解锁期部分 [1][10] - 回购价格因2024年度权益分派（每股派息0.0496元）调整 首次授予部分调整为19.03元/股 预留授予部分调整为15.61元/股 [10] 回购价格调整依据 - 根据激励计划规定 回购价格需因派息调整 公式为P=P0-V（P0为原价 V为每股派息额） [10] - 调整前首次授予回购价格为19.08元/股 预留授予为15.66元/股 [10] - 最终回购总价需在调整后价格基础上加算银行同期存款利息 [1][10] 历史行权与注销情况 - 第四期激励计划首次授予股票期权行权价曾因2022年度利润分配从46.50元/份调整为38.66元/份 [6] - 2024年因业绩未达标 公司已注销第二批行权期股票期权45.72万份及限制性股票38.88万股 [8] - 2025年5月15日已完成第三、四期激励计划中合计110.40万份股票期权的注销 [9] 程序履行与合规性 - 本次回购事项已通过董事会及监事会审议 并获得律师事务所法律意见认可 [3][12][13] - 公司已履行债权人通知程序 未收到异议 将依法办理后续注销及注册资本变更手续 [12] - 回购资金来源于公司自有资金 不会对经营业绩产生实质性影响 [10][11]