证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2023-101 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 第四届监事会第三十七次会议决议公告 本公司监事会及全体监事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性 陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。 一、监事会会议召开情况 上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称"公司"或"本公司"）监 事会已于 2023 年 10 月 20 日向全体监事发出了第四届监事会第三十七次会议通 知，第四届监事会第三十七次会议于 2023 年 10 月 27 日上午以现场结合通讯方 式召开，会议由监事会主席张婷女士主持，全体监事均出席会议。会议的召开 符合《公司法》《公司章程》的规定，所作决议合法有效。 1 相关规定，公司董事会审议注销股票期权的程序符合《上市公司股权激励管理 办法》等相关规定，公司监事会同意本次注销股票期权。具体内容详见同日在 上海证券交易所网站披露的《关于注销第三、四期股权激励中部分股票期权的 公告》。 二、监事会会议审议情况 1、审议通过了《2023年第三季度报告》 表决结果：同意 3 票，反对 0 票，弃权 0 票。 经审核，监事认 ...

证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2023-102 上海至纯洁净系统科技股份有限公司关于注销 第三、四期股权激励计划中部分股票期权的公告 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗 漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。 重要内容提示： 注销数量：股票期权 46.4019 万份 注销原因 鉴于： 1、第三期股权激励计划中，首次授予的股票期权第二个行权期中 7 名激励 对象离职不再具备激励资格；预留授予的股票期权第一个行权期结束，尚有 324,000 股未行权； 2、第四期股权激励计划中，首次授予的股票期权第一个行权期中 2 名激励 对象离职不再具备激励资格； 根据《第三期股票期权与限制性股票激励计划》和《第四期股票期权与限制 性股票激励计划》的规定，公司将注销第三期股权激励计划首次授予 7 名激励对 象的尚未行权的 11.6019 万份股票期权、第三期股权激励计划预留授予的第一个 行权期尚未行权的 32.40 万份股票期权、第四期股权激励计划首次授予 2 名激励 对象的尚未行权的 2.40 万份股票期权，合计注销 46.4019 万份股票期权 ...

证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2023-099 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 为子公司提供担保的进展公告 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗 漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。 重要内容提示： 特别风险提示：本次被担保人江苏启微 2022 年末资产负债率超过 70%， 敬请投资者注意相关风险。 一、担保情况概述 经上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称"公司"或"本公司"） 2022 年年度股东大会和 2023 年第二次临时股东大会审议通过，同意公司 2023 年度为下属子公司提供担保总额为 55 亿元，其中为资产负债率超过 70%的子公 司提供担保额度 36.5 亿元，为资产负债率低于 70%的子公司提供担保额度 18.5 亿元。详情请见公司于 2023 年 4 月 8 日在上海证券交易所网站披露的《关于 2023 年度授信及担保额度预计的公告》（公告编号：2023-028）和 2023 年 6 月 7 日 披露的《关于调整 2023 年度授信担保额度的公告》（公告编号：2023-061）。 近日，因公司控股子公司江 ...

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重 大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。 根据《上海至纯洁净系统科技股份有限公司第二期股票期权与限制性股票激 励计划》《上海至纯洁净系统科技股份有限公司第三期股票期权与限制性股票激 励计划》《上海至纯洁净系统科技股份有限公司第四期股票期权与限制性股票激 励计划》和中国证券登记结算有限责任公司上海分公司关于股票期权自主行权的 相关规定，并结合上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称"公司"）2023 年第三季度报告的披露计划，现对第二、三、四期股权激励部分股票期权行权时 间进行限定，具体如下： 1、第二期股权激励首次授予的股票期权已于 2023 年 7 月 17 日进入第三个 行权期（行权代码：0000000372），行权期为 2023 年 7 月 17 日至 2024 年 2 月 29 日，目前尚处于行权阶段，本次限制行权期为 2023 年 10 月 21 日至 2023 年 10 月 30 日，在此期间股票期权激励对象将被限制行权； 2、第二期股权激励预留授予的股票期权已于 2023 年 7 月 17 日进入第二个 ...

上海至纯洁净系统科技股份有限公司 为子公司提供担保的进展公告 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗 漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。 重要内容提示： 被担保人名称及是否为关联担保：江苏启微半导体设备有限公司（以下简 称"江苏启微"）。本次担保为对控股子公司提供的担保，不属于关联担保。 本次担保金额及已实际为其提供的担保余额：本次因公司控股子公司江苏 启微向银行申请授信贷款事项，公司与南京银行股份有限公司南通分行签订了 《保证合同》。本次公司为江苏启微提供担保金额为 1,000 万元，截至本公告日 累计为其提供担保余额为 12,200 万元。本次担保事项后的累计担保金额，均在 公司股东大会批准的担保额度范围内。 本次担保是否有反担保：无 证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2023-097 经上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称"公司"或"本公司"） 2022 年年度股东大会和 2023 年第二次临时股东大会审议通过，同意公司 2023 年度为下属子公司提供担保总额为 55 亿元，其中为资产负债率超过 70%的子公 司提供担保额 ...

公司近期情况 - 2023年上半年实现营收14.8亿元,同比增长32.13%[2] - 2023年上半年归母净利润1.09亿元,同比增长33.67%[2] - 2023年6月底新增订单32.66亿元,同比增长38.28%[2] - 新增订单中73.65%来自半导体行业,其余为泛半导体和生物医药行业[2] - 截至2023年6月底,在手订单53.23亿元[2] 湿法设备进展 - 湿法设备应用于成熟制程的产品线拓展有序,在部分逻辑用户和第三代半导体用户的产线渗透率持续提高[3][4] - 应用于先进制程的高阶产品线,在订单获取的进度上受到用户扩产进度影响有延后[3] - 在高温硫酸、FIN ETCH、单片磷酸等机台上,公司交付和验证进度都在国内领先[3][4] - 公司湿法清洗设备可覆盖28纳米全工艺工序段并有重复订单,在14及7纳米制程也有数台订单交付客户[3][6] 先进制程设备 - 公司湿法清洗设备可覆盖28纳米全工艺工序段并有重复订单,在更先进的28纳米以下制程有数台订单交付客户[7][9] - 公司所服务的客户主要为国内逻辑领域头部客户[7] 电子材料布局 - 2022年初建成国内第一座电子级大宗气供应工厂,每年可贡献稳定的营收[5][10] - 公司继续会在电子气电子化学品方面拓展业务及品类,增加电子材料端的业务投入[5] 未来发展方向 - 公司选择了往更加难度大空白点多的工艺机台延伸,努力成为国内湿法新增需求市占率第一[8][9] - 公司布局了电子材料及服务业务,搭建了帮助用户进行工艺开发的平台,以及当前外围局势下很好地服务于本土供应链模块及部件的验证平台[8][10] - 公司正在努力成为集成电路国产替代的国内领军企业[10]

一、回购股份的基本情况 公司于 2023 年 8 月 21 日召开第四届董事会第三十八次会议审议通过《关于 以集中竞价交易方式回购股份方案的议案》，同意公司以自有资金或其他合法资 金以集中竞价交易方式回购公司已发行的部分人民币普通股股票。回购的股份将 在未来适宜时机全部用于股权激励，回购价格不超过人民币 44.42 元/股（含）， 回购资金总额不低于人民币 3,000 万元（含），不超过人民币 6,000 万元（含）， 回购期限自公司董事会审议通过本次回购方案之日起 6 个月内。具体内容详见公 司于 2023 年 8 月 22 日、2023 年 8 月 24 日在上海证券交易所网站 （www.sse.com.cm）上披露的《关于以集中竞价交易方式回购股份方案的公告》 （公告编号：2023-082）、《关于以集中竞价交易方式回购股份的回购报告书》（公 告编号：2023-084）。 公司于 2023 年 9 月 22 日实施了首次回购股份，具体内容详见公司于 2023 年 9 月 25 日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于以集中竞 证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号 ...

证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2023-096 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 关于第二、三、四期股权激励计划 2023 年第三季度 自主行权结果暨股份变动的公告 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述 或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。 重要内容提示： 本次股票期权自主行权情况： 公司第二期股权激励计划首次授予的股票期权第三个行权期可行权数量为 604,800 份，行权有效期为 2023 年 7 月 17 日至 2024 年 2 月 29 日，行权方式为 自主行权，激励对象行权所得股票可于行权日（T 日）后的第二个交易日（T+2） 日上市交易。2023 年 7 月 17 日至 2023 年 9 月 30 日，公司第二期股权激励计划 首次授予部分激励对象自主行权且完成股份过户登记共 331,200 股，占可行权数 量的 54.76%。 公司第二期股权激励计划预留授予的股票期权第二个行权期可行权数量为 204,000 份，行权有效期为 2023 年 7 月 17 日至 2023 年 12 月 19 日，行权方式为 自主行权，激励对 ...

1 证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2023-094 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 关于以集中竞价交易方式回购公司股份的进展公告 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述 或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。 重要内容提示： 截至 2023 年 9 月 27 日，上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简 称"公司"）本次已累计回购股份 74.946 万股，占公司总股本的比例为 0.1938%， 购买的最高价为 26.94 元/股、最低价为 26.50 元/股，已支付的总金额为 2,000.068 万元（不含印花税、佣金等交易费用）。 一、回购股份的基本情况 公司于 2023 年 8 月 21 日召开第四届董事会第三十八次会议审议通过《关于 以集中竞价交易方式回购股份方案的议案》，同意公司以自有资金或其他合法资 金以集中竞价交易方式回购公司已发行的部分人民币普通股股票。回购的股份将 在未来适宜时机全部用于股权激励，回购价格不超过人民币 44.42 元/股（含）， 回购资金总额不低于人民币 3,000 万元（含），不超过人民币 6,00 ...

上海至纯洁净系统科技股份有限公司 关于以集中竞价交易方式首次回购公司股份的公告 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述 或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。 证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2023-093 1 2023 年 9 月 25 日 2 上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称"公司"）于 2023 年 8 月 21 日召开第四届董事会第三十八次会议审议通过《关于以集中竞价交易方式回购股 份方案的议案》，同意公司以自有资金或其他合法资金以集中竞价交易方式回购 公司已发行的部分人民币普通股股票。回购的股份将在未来适宜时机全部用于股 权激励，回购价格不超过人民币 44.42 元/股（含），回购资金总额不低于人民币 3,000 万元（含），不超过人民币 6,000 万元（含），回购期限自公司董事会审议 通过本次回购方案之日起 6 个月内。具体内容详见公司于 2023 年 8 月 22 日、2023 年 8 月 24 日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cm）上披露的《关于以集中 竞价交易方式回购股份方案的公告》（公告 ...