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原子层沉积
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MKS Instruments (NasdaqGS:MKSI) FY Conference Transcript
2025-12-09 12:02
涉及的公司与行业 * **公司**:MKS Instruments (MKSI) [1] * **行业**:半导体设备、先进电子制造(包括印刷电路板PCB制造)、光子学/光学 [2][3][4][20] 核心观点与论据 公司战略与市场定位 * 公司拥有65年历史,最初从真空压力测量产品起家,通过有机增长和收购,围绕半导体工艺腔室构建了全面的关键子系统组合(如阀门、射频电源、等离子体、质量流量控制器等)[2] * 2015年收购Newport Corporation是战略转折点,此举使公司业务从仅限半导体真空设备,扩展到光刻、量测和检测领域,并进入新市场 [3] * 通过后续收购(如Electro Scientific Industries, Atotech),公司战略是成为所有先进电子制造(不仅是半导体,还包括芯片封装)的基础技术提供商 [4] * 公司目前的产品组合能够覆盖全球所有晶圆厂中85%的设备(涉及多个子系统),市场覆盖度无其他公司能及 [3][56] * 公司认为,随着摩尔定律放缓,芯片先进封装变得至关重要,这延续了电子产品性能持续提升的趋势,并使得人工智能(AI)等应用成为可能 [5][58] * 公司将AI视为继PC、智能手机、数据中心之后又一重大技术浪潮,其驱动力根本上是摩尔定律及“超越摩尔”定律,公司旨在成为其基础建设者 [6][59] 电子与封装 (E&P) 业务表现与展望 * **增长驱动**:第四季度指引意味着E&P业务全年增长约20% [8][60] * 增长由两大因素驱动:1) 用于PCB制造的化学材料,需求受AI推动(AI客户购买化学材料制造AI板卡)[8][61];2) 化学设备销售,公司是PCB行业唯一同时提供化学材料和设备的供应商 [8][61] * 过去四个季度,化学设备订单和收入表现强劲,是E&P业务同比增长的重要驱动力 [9][62] * **设备细分**:E&P设备包括化学设备和激光钻孔设备 [10][63] * 在柔性PCB激光钻孔领域是市场领导者,产品用于手机、AirPods等可穿戴设备内部的柔性电路 [10][63] * 在刚性PCB激光钻孔领域是市场机会,虽非第一,但拥有独特技术并已取得一些成功 [11][64] * **业务构成与增长概况**:E&P业务约三分之二是化学材料,三分之一是设备 [12][65] * 化学材料业务属于消耗品性质,今年同比增长约10%,去年可能也增长约10%,增长由AI服务器所需更复杂PCB层数带来的化学材料用量驱动 [12][65] * 设备业务属于资本支出性质,增长可能波动 [12][65] * 全年20%的增长由占三分之二、增长10%的化学业务,以及叠加其上的设备增长共同贡献 [13][66] * **2026年展望**:化学设备订单已排产至2026年上半年,并正与客户讨论下半年需求,设备销售将继续成为2026年潜在增长的强劲部分 [16][69] * 销售化学设备将驱动未来数十年的年度化学材料收入,因为化学材料由公司提供 [16][69] * 化学材料毛利率高于55%,设备毛利率较低 [16][69] 半导体业务表现与展望 * **2025年表现**:第四季度指引意味着半导体业务全年增长约10% [22][73] * 增长部分源于NAND库存消耗及升级模式,同时由于交货期短,有大量当季订单 [23][74] * **2026年展望**:行业对2026年晶圆厂设备(WFE)支出的预测不断上调,目前认为可能增长5%、10%或15% [23][75] * 增长主要由逻辑、DRAM和HBM驱动,NAND目前贡献不大 [23][75] * 公司覆盖85%的WFE市场,因此逻辑、DRAM、HBM的增长都将带动公司增长 [23][75] * NAND若出现升级或新建产能,将是额外的增长动力,公司凭借射频电源(市场领导者)和围绕腔室的产品组合将受益 [26][78] * 当前行业担忧洁净室空间可能限制设备产能,但这是一个“甜蜜的烦恼” [24][76] * 公司交货期已恢复正常,为4-8周,库存健康,按需发货 [24][25][76][77] * **长期增长动力与策略**: * **技术节点演进**:2纳米及以下节点、环绕栅极(GAA)晶体管结构将需要更多原子层沉积(ALD)工艺,公司提供独特的关键子系统(如高浓度、高洁净度的臭氧发生器) [28][45][79][92] * **广泛产品组合优势**:公司策略是通过管理广泛的产品组合,提高长期可持续超越WFE行业增长的机会,因为无法预测哪个技术拐点会提升哪个子系统的需求,但拥有大部分关键子系统可以灵活应对变化 [28][29][30][79][80][81] * **规模与研发**:规模优势使公司能够满足客户对需要多年投资的高科技需求,在当前技术日益复杂、研发周期长的行业中至关重要 [31][32][33][82][83][84] * **市场份额**:公司收入占WFE支出的比例在1.8%至2.2%之间波动 [46][48][93][96] * 比例较低的一端是光刻、量测、检测业务(仍处于早期阶段),较高的一端是NAND业务(因射频电源份额高) [48][96] 光子学/光学业务 * 公司是光学/光子学领域的领导者,业务不仅包括激光和工业应用,也涉及半导体 [20][72] * 五年前,公司决定加大在半导体光刻、量测和检测设备领域的投入,增加了人员、资本支出,并开发了新工艺 [20][72] * 该部分收入从五年前的1.5亿美元增长至现在的3亿美元,且在该WFE细分市场中仍处于早期阶段 [20][72] 财务表现与展望 * **毛利率**: * 近期毛利率受到产品组合(设备销售占比高)和关税影响 [18][70] * 2024年第四季度至2025年第一季度,毛利率远高于47%,第一季度为47.4% [18][70] * 关税影响:第二季度为115个基点,第三季度为80个基点 [18][70] * 公司已通过提价完全抵消了关税的美元成本影响(100%转嫁),但由于未对转嫁部分加价,从毛利率角度看仍有50个基点的持续负面影响 [19][71] * 公司有信心通过运营效率、制造卓越计划和未来设计节约来抵消这50个基点的影响 [19][36][71][86] * 随着产品组合恢复正常化,公司非常有信心在2026年恢复到47%以上的毛利率目标 [19][36][71][86] * 公司成本控制有效,2022年给出的五年模型预测营收56亿美元时毛利率达47%以上,而实际在营收38亿美元时(48个月内)已提前实现 [37][43][87][91] * **债务与现金流**: * 公司积极偿还债务,预计第四季度末净杠杆率为3.9倍 [41][89] * 目标是在未来一两年内将净杠杆率降至2到2.5倍,以实现更平衡的资本配置策略 [42][90] * 自由现金流强劲且增长,今年前三季度的自由现金流已几乎与去年全年持平 [41][89] * 资本配置优先级:在投资自身(资本支出扩张、少量损益表设计及研发改进)后,100%专注于偿还债务 [42][90] * **定价能力**: * 公司拥有定价能力,这体现在毛利率的持续改善上 [43][91] * 提升毛利率的最佳时机是获得新设计订单时,对于具有独特性的新产品,公司能获得公平的定价 [44][91] 其他重要内容 * **设备与化学材料的绑定率**:设备销售后,化学材料的绑定率在五年后降至约85%,初始绑定率非常高 [18][70] * **行业动态感知**:公司与五大半导体设备客户及终端芯片公司保持密切沟通,以获取前瞻性洞察 [25][77] * **当前行业情绪**:与90天前相比,客户对2026年下半年的展望变得更加积极 [25][50][77][98]
芯片散热陷阱,何解?
半导体行业观察· 2025-11-22 03:09
薄膜材料成为先进芯片散热瓶颈 - 人工智能数据中心芯片物理尺寸不断缩小,用于绝缘的薄膜成为散热陷阱,限制了数据处理速度并增加了冷却功耗[2] - 人工智能服务器芯片中的逻辑电路以数千瓦的功率运行,产生的热量必须穿过介电层、金属屏障等复杂结构才能到达冷却装置,这些薄膜在设计之初未考虑导热性能[2] - 随着逻辑电路和存储器向垂直堆叠结构发展,每个新的键合界面或绝缘层都可能成为散热瓶颈,大多数电介质设计初衷是阻挡电流而非传输热量[3] 介电材料的热性能缺陷 - 降低介电常数的原子结构会阻碍热传递,多孔低介电常数SiCOH薄膜的热导率仅为0.1至0.5 W/m·K,比高效散热所需的热导率低一个数量级以上[4] - 超低介电常数材料性能更差,因为降低介电常数的空气或空隙几乎完全阻断热传导[4] - 高介电常数栅极介质、间隔氧化层和功函数金属堆叠层在沟道区域周围形成局部热梯度,堆叠纳米片晶体管的热流表现出强烈的各向异性,垂直方向热阻远大于横向热阻[4] 界面热阻的关键影响 - 每种材料间的过渡都会在传递热量的原子振动中引入不连续性,这种热边界电阻已成为先进逻辑电路热阻抗的主要来源之一[5] - 在10纳米以下的工艺尺寸下,仅有几纳米厚的扩散阻挡层和衬垫层会产生可测量的热阻效应,钽基衬垫层、氮化钛阻挡层和钴帽层会阻碍铜线的散热[6] - 原子层沉积(ALD)成为重要工具,但成核或等离子体暴露的微小偏差都可能改变界面结合,即使是单层非理想化学性质也能显著提高局部热阻[6] 多物理场耦合建模的复杂性 - 电学、力学和热学领域已融合为单一建模问题,每个结构都表现为耦合系统,其中热量、应力和电流密度持续相互作用[7] - 热梯度在现代器件中产生复杂的应力模式,影响载流子迁移率、泄漏和长期可靠性,热引起机械形变,形变改变载流子迁移率和阈值电压[8] - 多物理场建模成为最终验收的先决条件,只有当热学、力学和电学求解器共享同一材料堆叠物理模型时,才能预测可靠性[8] 3D集成架构的热管理挑战 - 垂直集成放大了每一个散热限制,混合键合、重分布层和钝化膜引入了数十个额外的热边界电阻[9] - 3D堆叠结构的有效导热性更多地取决于界面洁净度和密度,而非各材料本身的固有特性[9] - 在3D堆叠结构中,每增加一层粘合层或热重分布层,热阻都会增加,累积热阻会随着堆叠高度呈指数级增长[15] 检测与工艺控制的难点 - 大多数检测方法通过电学透镜观察介电材料,忽略了热行为,密度或界面粘附力的变化很少改变电容或电阻,但会扭曲局部温度场[10] - 热异常可能隐藏在看似正常的信号行为背后,在细间距互连或TSV衬垫中,单个空洞即可使局部温度升高数度,加速电迁移和界面疲劳[16] - 工艺数据、测试数据和现场数据的关联可以精确定位热量积聚的位置,将信息整合到仿真和工艺控制回路中可使设计假设与实际材料性能更吻合[17] 材料与集成的未来方向 - 业界对介电材料的理解正在发生转变,它们不再仅仅是电绝缘体或机械支撑材料,而是决定了器件的内部热分布[18] - 每引入一种新的介电材料都必须同时评估其导热性能,导热性、各向异性和界面化学性质决定了热量的扩散效率和器件使用寿命[18] - 先进器件的热极限由芯片本身的材料决定,需要在沉积过程中达到原子级精度,严格控制污染,并开发兼具电绝缘性和热透明性的新一代材料[19]