报告投资评级 - 首次覆盖，给予“增持”评级 [4][6] 报告核心观点 - 微导纳米是本土ALD设备龙头厂商，以ALD技术为核心，业务覆盖光伏与半导体领域 [6][10] - 公司半导体业务聚焦ALD并拓展至CVD，受益于下游存储产线扩产与升级，处于快速发展阶段，有望成为核心增长业务 [6][22][27] - 光伏业务为国内ALD龙头，静候行业景气度回升，同时ALD技术有望应用于固态电池领域，打开新的成长空间 [6][87][89] - 预计公司2025-2027年营收为26.19/26.92/37.21亿元，归母净利润为3.12/4.25/7.36亿元，同比增长37%/36%/73% [4][6][100] 公司基本状况与业务概览 - 公司总股本4.61亿股，流通市值349.14亿元，股价75.71元 [2] - 公司成立于2015年，以ALD/PECVD等薄膜沉积技术起家，现已形成以ALD技术为核心，CVD等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系 [6][10] - 公司是本土ALD设备龙头厂商，业务战略性地向半导体领域发展 [6][10] 半导体业务分析 - **市场空间与国产化率**：薄膜沉积是半导体晶圆制造核心设备，2025年全球市场规模预计244亿美元，中国市场规模预计84亿美元，2024年国产化率约18%，仍极不充分 [36][49] - **技术重要性**：随着先进制程结构3D化、材料复杂化，ALD成为满足高深宽比、原子级厚度控制要求的重要沉积方式，在先进制程中应用环节数量显著增加 [6][54][55] - **公司布局与进展**： - 公司是国内首家将量产型High-k ALD设备应用于28纳米制造节点的国产厂商 [12] - 产品已覆盖逻辑、存储、先进封装、化合物半导体、新型显示等诸多细分领域 [6][12] - 积极拓展CVD设备，PECVD已实现产业化应用，LPCVD已进入产业化验证阶段 [6][13] - 在存储芯片领域（DRAM、3D NAND）占据主流赛道，大部分半导体订单来自该领域头部客户 [6][27][65] - **订单与增长**：2025年第一季度至第三季度，公司新签半导体业务订单14.83亿元，同比增长97% [6][27] - 股权激励计划要求2025-2027年半导体业务新签订单年化增速不低于35%，或净利率不低于10% [27] 光伏业务分析 - **行业展望**：光伏市场经历调整后，有望在2026-2027年逐步复苏 [6][74] - 2024年全球光伏新增装机530GW，中国新增277.57GW，同比增长28.3% [74] - **技术迭代**：N型电池（如TOPCon）正成为主流，2024年TOPCon电池片市场占比达71.1% [78][82] - 新型电池技术对薄膜沉积设备（如PECVD、ALD）需求更高 [84] - **公司市场地位**：公司是率先将ALD技术规模化应用于光伏电池生产的企业，ALD产品在营收规模、订单总量和市占率方面连续多年位居国内同类企业第一 [6][12] - **技术覆盖**：公司产品已覆盖TOPCon、XBC、钙钛矿及钙钛矿叠层等新型电池技术路线 [6][91][92] - **新兴应用——固态电池**：ALD技术有望解决固态电池界面问题，打开新的成长空间 [6][89] - 预计2025年中国固态电池出货量10GWh，2028年有望达30GWh，期间年复合增长率44% [6][87] - 全球固态电池渗透率有望在2030年达到10% [6][87] 财务预测与估值 - **整体预测**： - **营收**：预计2025-2027年分别为26.19亿元、26.92亿元、37.21亿元，同比增长-3%、3%、38% [4][100] - **毛利率**：预计2025-2027年分别为33%、35%、38% [6][100] - **归母净利润**：预计2025-2027年分别为3.12亿元、4.25亿元、7.36亿元，同比增长37%、36%、73% [4][6] - **每股收益**：预计2025-2027年分别为0.68元、0.93元、1.61元 [4] - **分业务预测**： - **半导体设备业务**：预计2025-2027年营收为10.29亿元、13.92亿元、21.71亿元，同比增长214%、35%、56% [100][102] - **光伏设备业务**：预计2025-2027年营收为15.00亿元、12.00亿元、14.40亿元，同比增长-35%、-20%、20% [100][102] - **估值比较**： - 公司2025-2027年预测市盈率分别为112倍、82倍、47倍 [4][101] - 选取的可比公司（北方华创、中微公司、拓荆科技、迈为股份、捷佳伟创）2025-2027年平均市盈率分别为66倍、50倍、39倍 [6][101] 公司治理与研发 - **股权结构**：实控人为王燕清家族，合计持有公司59.72%的股份，股权集中 [16] - **核心团队**：核心团队具备海内外顶尖半导体设备厂商（如LAM、ASM）资深履历，技术背景突出 [19][20] - **研发投入**：2024年研发投入2.7亿元，占营收比例10%；2025年第一季度至第三季度研发费用率达11.6% [34] - 研发费用60%及以上投入半导体领域 [34] - 截至2025年上半年，研发人员349名，占员工总数28.1% [34]