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TSV深硅通孔设备
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中微公司:在先进封装领域全面布局,已发布CCP刻蚀及TSV深硅通孔设备
第一财经· 2025-12-03 07:50
公司业务布局 - 公司在先进封装领域进行全面布局,产品线涵盖刻蚀、CVD、PVD及晶圆量检测设备 [1] - 公司布局的先进封装领域包含高宽带存储器HBM工艺 [1] - 公司已发布CCP刻蚀设备及TSV深硅通孔设备 [1]