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羲之号电子束光刻机
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绕开EUV卡脖子,中国首台电子束光刻机诞生,精度0.6nm!
新浪财经· 2025-08-15 08:23
中国光刻技术突破 - 浙江大学研发团队成功推出首台国产商业化电子束光刻机 实现量子芯片研发自主可控 该技术采用电子束直写方式 无需复杂光学镜片和掩膜版 可灵活修改电路图案[1] - 国产电子束光刻机精度达到0.6纳米 超越国外1纳米技术水准 且设备售价显著低于国际同类产品[3] - 新技术命名为"羲之"号 具备量子比特自由排列能力 为量子计算机发展提供关键工具[4] 芯片技术创新路径 - 华为开发芯片拼接专利技术 通过多芯片协同工作实现性能跃升 典型案例昇腾超节点384组合384颗芯片 性能超越英伟达最先进产品[3] - 采用"非摩尔补摩尔"发展策略 通过系统级创新弥补单芯片制程限制 数据处理速度获得显著提升[3] - 中国科研机构在量子芯片和新材料芯片等前沿领域重点布局 避开传统技术路线竞争[4] 产业影响与突破 - 电子束光刻机商业化打破ASML在EUV设备领域的垄断 改变高端芯片制造受制于人的局面[1] - 华为芯片拼接技术突破国外对高端芯片性能的垄断认知 实现大数据处理效率的大幅提升[3] - 中国在芯片研究论文数量上已实现全球领先 技术突破使出口管制措施效力减弱[4]