中央政府采购意向核心概览 - 中央政府采购平台（zycgr）近期发布了14项仪器设备采购意向，预算总额达3.96亿元人民币，预计采购时间为2025年12月 [2][3] 采购清单与预算详情 - **稀释制冷机**：采购1套（含两台）国产设备，预算70万元，要求提供终身技术支持和软件升级 [5] - **任意波形发生器**：采购1台，预算110万元，要求4通道输出、采样率10GSa/s、分辨率10bit [5] - **高真空高速蒸镀系统**：采购1套，预算200万元，用于超导材料薄膜制备，要求极限真空<5e-8Torr，镀膜均匀性在4英寸基片上优于5% [5] - **电感耦合等离子刻蚀机**：采购5台，预算4616万元，用于刻蚀离子阱、光量子等多种材料的平面结构，并实现处理器表面结构制备 [5] - **无损全局薄膜厚度测试系统**：采购1套，预算1500万元，通过超声回波原理对12英寸基片进行整体无损的薄膜厚度分布测试 [6] - **多腔体深硅刻蚀机**：采购3套，预算1.8亿元，用于实现处理器先进封装中的TSV孔刻蚀 [6] - **全自动匀胶显影系统**：采购2套，预算3200万元，配合光刻机进行涂胶显影以实现图形转移和工艺提升 [6] - **自动机器人传片系统与物流调度监测系统**：采购1套，预算1亿元，用于提升平台工作效率，实现数据分析、数字孪生显示、智能调度与工艺参数监控 [6] - **超稳激光（3432nm/467nm/411nm）**：采购1套，预算238万元，用于镱离子量子比特的相干操作，要求三个特定波长且功率与线宽符合高标准，预期年使用5000小时 [6] - **729nm激光器及配套窄线宽锁频系统**：采购1套，预算143万元，用于钙离子量子调控，要求波长729nm、输出功率大于5W、线宽小于5kHz，预期年使用5000小时 [6] - **高功率紫外激光器**：采购2套，预算196万元，用于铍离子的激光冷却和拉曼操作，波长313nm，输出功率大于1W [6] - **低振动低温制冷机**：采购2套，预算198万元，用于为离子实验系统提供低振动低温环境，实现超高真空和低电极噪声，预期年使用5000小时 [6] - **超稳激光（1550nm）**：采购1套，预算115万元，要求激光功率>10mW、真空度优于3E-6Pa、精细度优于30万、稳定度优于3E-15 [6] - **伪光子数可分辨单光子探测器**：采购1套，预算300万元，实现1550nm单光子的光子数分辨探测，要求效率>90%、光子数分辨能力>8，为32通道设备 [6]

政府采购仪器设备采购意向 - zycgr发布34项仪器设备采购意向，预算总额达1.81亿元 [1][2] - 采购涉及电感耦合等离子刻蚀机、任意波形发生器、动态激光干涉仪、高功率激光系统、多腔室真空互连镀膜与表征系统等 [2] - 预计采购时间为2025年5月 [2] 采购项目详情 - 相噪分析仪：采购数量1台，预算137万元，交货期8周，质保期1年 [4] - 超稳激光电控箱鉴定件定制：预算332万元，交货时间4个月，大部分器件用宇航等级 [4] - 光钟实验舱高压鉴定件定制：预算408万元，交货时间4个月，大部分器件用宇航等级 [4] - 光钟伺服箱鉴定件定制：预算948万元，交货时间4个月，大部分器件用宇航等级 [4] - 任意波形发生器：预算250万元，质保2年以上，提供送货安装调试 [4] - 动态激光干涉仪：预算130万元，工作波长632.8nm，斐索型，五个月内到货 [4] - 大口径标准具：预算150万元，工作波长1083nm，滤波带宽小于20pm，口径大于50mm [4] - 望远镜机械加工和集成装调服务：预算800万元，对6个已有的1m望远镜镜片及其次镜进行机械加工和集成装调 [4] - 1064nm波长窄线宽巨脉冲激光器：预算157.6万元，购置2套，线宽<10kHz，单脉冲能量>10mJ [4] - 光频梳：预算352万元，购置2套，重频250MHz，波长范围1540-1590nm，1600-1650nm [4] - 高功率激光系统：预算180万元，购置1台，波长1550nm，平均功率>20W [4] - 单光子面阵探测器：预算210万元，购置3个，感光材料InGaAs，光填充因子>60% [5] - 单频连续钛宝石激光器：预算180万元，采购数量1台，质保期一年以上，货期300天 [5] - 多腔室真空互连镀膜与表征系统：预算240万元，需求1套，真空度优于1×10-4 Pa [5] - 激光器：预算180万元，采购约5台，波长范围1530-1620nm和1630-1700nm [5] - 575可调谐激光器：预算100万元，采购4台，输出功率大于10mW [5] - 575nm可调谐激光器：预算125万元，采购5台，输出功率大于10mW [5] - 637nm可调谐激光器：预算190万元，采购10台，输出功率大于10mW [5] - 超导比特室温控制系统：预算256万元，16路射频激励信号输出，2GSa/sDAC [5] - 极低温强磁场闭环SPM系统：预算930万元，采购数量1，低温最低达到500 mK [5] - 多气体高辉度单色化紫外光源：预算150万元，采购标的1套，能量分辨率1 meV@21.2eV [5] - 全干式变温超导磁铁系统：预算175万元，采购标的1套，变温范围2K-300K [5] - 极低温扫描探针综合表征系统：预算450万元，采购标的1套，交付周期不超过1.5年 [5] - 电子束镀膜机：预算303万元，采购标的1套，主腔体真空优于5×10-8 Torr [5] - 低温镀膜机：预算600万元，支持8英寸或以上基片，最高蒸发速率≥100Å/s [5] - 高真空磁控溅射系统：预算195万元，采购1台，真空度不低于10e-8Torr [5] - 干式稀释制冷机：预算600万元，采购1台，从室温到最低工作温度的典型降温时间小于24小时 [5] - 稀释制冷机系统：预算1200万元，采购2台，连续稳定运行时间大于365天 [5] - 多腔体电子束镀膜机：预算450万元，采购1台，配备等离子刻蚀源及腔体 [5] - 电感耦合等离子刻蚀机：预算450万元，采购1台，用于对半导体材料以及磁性多层膜进行高精度刻蚀 [5] - 大冷量连续流He3：预算198万元，采购1台，采用氦3蒸发制冷 [5] - 超高稳定度广谱光频梳系统：预算418万元，波长范围680nm~1600nm [6] - 低温恒温器：预算170万元，采购数量1台，温度稳定性±25mK [6] - 平台多腔室真空互连镀膜与表征系统：预算6500万元，需求1批，真空度优于1×10-4 Pa [6]