中央政府采购意向核心概览 - 中央政府采购平台（zycgr）近期发布了14项仪器设备采购意向，预算总额达3.96亿元人民币，预计采购时间为2025年12月 [2][3] 采购清单与预算详情 - **稀释制冷机**：采购1套（含两台）国产设备，预算70万元，要求提供终身技术支持和软件升级 [5] - **任意波形发生器**：采购1台，预算110万元，要求4通道输出、采样率10GSa/s、分辨率10bit [5] - **高真空高速蒸镀系统**：采购1套，预算200万元，用于超导材料薄膜制备，要求极限真空<5e-8Torr，镀膜均匀性在4英寸基片上优于5% [5] - **电感耦合等离子刻蚀机**：采购5台，预算4616万元，用于刻蚀离子阱、光量子等多种材料的平面结构，并实现处理器表面结构制备 [5] - **无损全局薄膜厚度测试系统**：采购1套，预算1500万元，通过超声回波原理对12英寸基片进行整体无损的薄膜厚度分布测试 [6] - **多腔体深硅刻蚀机**：采购3套，预算1.8亿元，用于实现处理器先进封装中的TSV孔刻蚀 [6] - **全自动匀胶显影系统**：采购2套，预算3200万元，配合光刻机进行涂胶显影以实现图形转移和工艺提升 [6] - **自动机器人传片系统与物流调度监测系统**：采购1套，预算1亿元，用于提升平台工作效率，实现数据分析、数字孪生显示、智能调度与工艺参数监控 [6] - **超稳激光（3432nm/467nm/411nm）**：采购1套，预算238万元，用于镱离子量子比特的相干操作，要求三个特定波长且功率与线宽符合高标准，预期年使用5000小时 [6] - **729nm激光器及配套窄线宽锁频系统**：采购1套，预算143万元，用于钙离子量子调控，要求波长729nm、输出功率大于5W、线宽小于5kHz，预期年使用5000小时 [6] - **高功率紫外激光器**：采购2套，预算196万元，用于铍离子的激光冷却和拉曼操作，波长313nm，输出功率大于1W [6] - **低振动低温制冷机**：采购2套，预算198万元，用于为离子实验系统提供低振动低温环境，实现超高真空和低电极噪声，预期年使用5000小时 [6] - **超稳激光（1550nm）**：采购1套，预算115万元，要求激光功率>10mW、真空度优于3E-6Pa、精细度优于30万、稳定度优于3E-15 [6] - **伪光子数可分辨单光子探测器**：采购1套，预算300万元，实现1550nm单光子的光子数分辨探测，要求效率>90%、光子数分辨能力>8，为32通道设备 [6]