背面供电技术概述 - 背面供电（BSPDN）被视为延续摩尔定律的重要突破 能改善散热、降低IR压降并提升芯片密度 [4] - 传统芯片设计中电源线与讯号线均集中在晶圆正面 但先进制程进入2纳米及埃米级后问题凸显 背面供电必要性提升 [4] - 背面供电通过将供电网络（PDN）移至晶圆背面 利用矽穿孔（TSV/nTSV）或埋入式电源轨（BPR）直接供电至电晶体 [5] 技术优势与必要性 - 减少IR压降：供电更直接且损耗更低 对高速AI运算与伺服器应用的稳定供电至关重要 [6] - 解决散热瓶颈：电路层数增加导致热量难导出 背面供电可重新规划供电路径分担热源 [7][15] - 提升设计密度：释放更多逻辑电路空间 推动埃米级制程发展 [7][15] - 分离电源与讯号：减少干扰并提升效能 [8] 国际厂商技术布局 - 比利时研究机构imec为技术领跑者：2022年联合Arm发表BPR+nTSV架构 成为台积电、英特尔、三星的技术参考 [11] - 英特尔18A制程率先导入：2024年发表并计划2025年下半年量产 采用nTSV直接供电至前端 实现供电与讯号完全分离 [11] - 三星SF2Z制程规划：2024年6月公布采用背面供电技术 预计2027年量产 [12] - 台积电SPR架构进军市场：利用BPR+TSV导电至电晶体 预计导入2纳米及后续埃米级制程 [13] 行业竞争与战略意义 - 背面供电成为埃米级制程竞争核心：技术成熟与商业化进度将决定未来十年半导体产业话语权 [13] - 三大技术方案并存：包括imec的BPR、英特尔的PowerVia及台积电的Super Power Rail [10] - 设计技术协同优化（DTCO）应用：代工厂通过DTCO有效安排互连 有望提前实现系统级晶圆 [10]