文章核心观点 - MEMS微纳米制造零部件行业是连接MEMS设计与最终产品的关键使能要素，支撑智能终端微型化与智能化，其市场规模正持续扩张，预计2026年全球规模将达到77亿元 [1][4][5] 行业定义与分类 - MEMS微纳米制造零部件行业从事MEMS相关微纳米尺度零部件的设计、制造、封装、测试等业务，是实现MEMS器件的关键物质基础 [1][3] - MEMS技术结合电子与机械技术，在微米或纳米尺度上实现智能化和集成化 [2] - 主要产品类别包括声学模组、光学模组、压力传感器、惯性传感器等，关键特点是微型化、集成化、批量化生产 [3][4] 行业发展现状与市场规模 - 全球MEMS微纳米制造零部件市场规模从2020年的5.5亿元增长至2025年的73亿元，预计2026年有望达到77亿元 [5] - 传感器是最大细分市场，2025年压力传感器和惯性传感器市场规模均为18亿元，各占整体市场的24.66% [1][5] - 2025年声学模组市场规模为11亿元，占15.07%；光学模组市场规模为10亿元，占13.70% [1][5] - 预计2026年，声学模组市场规模约12亿元，占15.58%；光学模组市场规模约10亿元，占12.99%；压力传感器市场规模约20亿元，占25.97%；惯性传感器市场规模约19亿元，占24.68% [1][5] 行业产业链 - 产业链上游包括高级金属与合金、硅基材料、聚合物材料、光刻胶、蚀刻气体等原材料，以及纳加工设备、封装测试设备等精密设备，技术壁垒高，部分高端领域依赖进口 [5] - 行业中游是MEMS微纳米制造零部件的生产制造，属于高技术壁垒、高附加值的高端制造业 [5] - 行业下游应用于MEMS微纳米制造领域，终端广泛应用于航空航天、汽车、生物医疗、消费电子等领域 [5] - 在商业航天领域，MEMS的微型化、轻量化、低功耗和高可靠性契合其“降本增效”诉求，2024年我国进行了68次火箭发射，入轨66次，成功率为97% [6] 行业竞争格局与代表企业 - 中国市场格局呈现外资主导，国产替代加速的特征，国内企业整体仍处于追赶阶段 [6] - 国内主要企业包括瑞声科技、华润微、歌尔微电子、美新半导体、士兰微、美泰科技、矽睿科技、纳芯微电子、敏芯微电子、明皜传感等 [6] - 和林微纳主要产品为MEMS精微电子零部件系列产品，以精微屏蔽罩为主，广泛应用于消费电子、医疗电子、汽车电子等领域，TWS耳机是其主要应用领域之一 [7] - 2025年上半年，和林微纳主营业务收入4.32亿元，其中精微屏蔽罩收入0.68亿元，精密结构件收入1.95亿元，半导体芯片测试探针收入1.44亿元 [7] - 华润微是领先的半导体和智能传感器供应商，拥有国内规模最大的与CMOS生产线兼容的MEMS传感器量产生产线 [7] - 2024年，华润微产品与方案产量417.91亿颗，销量415.46亿颗；晶圆制造产量164.31万片，销量166.98万片 [8] 行业发展趋势 - 行业核心竞争力在于“微型化+集成化+批量化”，是连接半导体技术与机械功能的关键桥梁，也是新一代信息技术、先进制造、新能源、生物医药等战略新兴产业的核心基础 [9] - 随着科技进步与制造工艺革新，生产成本将逐渐降低，应用领域将不断拓展，市场规模保持持续增长 [10] - 未来发展趋势是软硬件深度融合、智能化、低功耗、高集成度和微纳化，以满足物联网、消费电子和汽车等领域对高性能、小型化传感器的迫切需求 [10]