公司动态 - 晶盛机电研发的12英寸单片式碳化硅外延生长设备已交付给外延晶片生产商瀚天天成 [1] - 交付设备中使用的12英寸衬底由浙江晶瑞SuperSiC提供 [1] - 此次研发的12英寸单片式SiC外延设备可兼容8英寸和12英寸的SiC外延生产 [1] 行业技术进展 - 碳化硅半导体行业在向更大尺寸晶圆制造发展 12英寸设备已实现交付 [1] - 设备兼容性提升 单一设备可支持8英寸和12英寸外延生产 有助于提高生产灵活性与效率 [1] - 产业链上下游协同 设备商晶盛机电 衬底供应商浙江晶瑞 与外延生产商瀚天天成形成合作链条 [1]