光子产业与“追光计划”进展 - 陕西光子产业企业数量攀升至370多家，产业规模从150亿元跃升至365亿元，初步构建“材料—芯片—器件—系统”完整产业链条 [2] - “追光计划—跃迁行动”以“一核两翼+一园三区”布局发展，西安高新区作为核心承载区，集聚光子芯片园、光子制造园等特色载体 [2] - 光电子先导院作为“创新策源中枢”，已累计投入约15亿元构建“6英寸化合物芯片+8英寸硅光芯片”双中试平台 [2] 8英寸硅光平台通线意义 - 8英寸先进硅光集成技术创新平台正式通线，填补西北地区硅光芯片中试领域空白，成为陕西打造千亿级光子产业集群的核心支点 [1][2] - 该平台总投资7.5亿元，于2023年底启动建设，截至2025年9月末已完成全部场地及硬件设施建设 [4] - 平台引进比利时IMEC“130nm硅光芯片工艺包”，引入光刻、刻蚀等60余台（套）关键核心设备，构建自主可控的先进工艺体系 [4] 平台技术能力与产品发布 - 平台在130nm有源集成硅光主工艺平台基础上，开发90nm以上先进工艺 [4] - 发布首款无源SOI集成超低损耗氮化硅产品的PDK，预计2026年完成有源产品通线，包含高性能调制器、探测器等核心器件 [1][5] - 新产品将加速人工智能、光通信、光计算、智能驾驶、低空飞行、医疗健康等领域的产品迭代进程 [5] “1+N”柔性工程平台模式 - 采用“1+N”柔性工程平台模式，“1”即以双中试平台为核心的主工艺平台，80%资源向中小企业开放中试流片服务，20%资源支持前沿创新研发 [6][7] - “N”个特色工艺平台针对磷化铟探测器、砷化镓射频器件等细分领域，通过设备共享、技术授权等方式降低企业初始投入 [6][7] - 6英寸化合物平台自2023年启用以来，已发布20余款PDK，为50余家客户提供全流程服务 [7] 平台成效与产业协同 - 光电子先导院已解决100余家初创企业“研发难、流片难”问题 [3] - 8英寸硅光平台虽刚通线，但已与十余家头部企业达成意向合作协议，并吸引多家外地企业聚集陕西 [7] - 企业反馈在光电子先导院进行中试，排队等待时间少、交流效率高，速度比在国外做中试快5倍以上 [7] 未来发展规划 - 下一步将推进异质异构集成平台建设，构建“化合物半导体+硅光+异质异构集成”三位一体的平台架构 [7] - 目标实现从材料生长、芯片制程、器件封装到系统测试的全链条覆盖，为光通信、生物传感、人工智能等前沿领域提供关键支撑 [7]