可自校准的SOI基MEMS三维力传感器及其制备工艺
搜索文档
凯尔达：关于控股子公司获得发明专利的自愿性披露公告
证券日报· 2025-09-15 11:45
公司技术进展 - 控股子公司杭州凯维力传感科技有限公司获得国家知识产权局颁发的发明专利证书 涉及可自校准的SOI基MEMS三维力传感器及其制备工艺 [2]
凯尔达：控股子公司获得发明专利
证券时报网· 2025-09-15 08:01
公司技术进展 - 控股子公司杭州凯维力传感科技有限公司近期获得国家知识产权局颁发的1项发明专利证书 [1] - 发明专利名称为可自校准的SOI基MEMS三维力传感器及其制备工艺 [1] 知识产权布局 - 发明专利涉及传感器自校准技术及制备工艺创新 [1] - 技术领域为SOI基MEMS三维力传感器 [1]