公司技术进展 - 江苏微导纳米科技股份有限公司公布"镀膜设备"专利 涉及工艺管、底座、载具和线圈结构创新 [1] - 镀膜设备通过线圈通入交变电流产生交变磁场 使导体底座和载具产生涡流实现对基片加热 [1] - 该技术方案能够提高镀膜设备的加热效率 [1]