半导体设备用磁浮运动平台的主要生产商 | 总部 / 国家 | 公司名称 | 业务介绍 | | --- | --- | --- | | 德国 | Beckhoff Automation | Beckhoff Automation 是一家全球自动化技术公司，专注于开 | | | | 发和制造基于 PC 控制技术的开放式自动化系统及组件。其 | | | | 主要业务包括工业 PC 、 I/O 与现场总线模块、驱动技术、 | | | | 自动化软件、无控制柜自动化解决方案和机器视觉硬件等产 | | | | 品，这些硬件和软件既可作为独立部件使用，也能集成成完 | | | | 整的控制系统，覆盖从数控机床到智能建筑等广泛行业应 | | | | 用。 Beckhoff 以其 PC-based 控制理念、 TwinCAT 自动化软 | | | | 件和 EtherCAT 实时现场总线技术为核心，为全球客户提供 | 半导体设备用磁浮运动平台，是指在半导体制造、检测与封装设备中，以电磁力或电磁 - 永磁混合力实现被载体（如晶圆、 掩模、基板等）与基座之间完全非接触悬浮，并通过闭环控制实现多自由度、高精度、高动态定位与扫描运动的 ...