半导体光刻设备国产化

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ABM全自研光刻机量产项目落户佛山!加速光刻机国产化突围
南方都市报· 2025-09-30 14:23
项目合作概况 - 9月30日,佛山市与ABM Asia Pacific Ltd签订合作协议,广东唯一的光刻机量产项目——年产百台套光刻机及先进封装核心设备生产基地项目落户佛山[1] - 项目从初步接触到正式签约仅用时三个月,是资本招商打造“以投促引、以投带引”的标杆案例[4] ABM公司背景与技术实力 - ABM成立于2003年,总部位于中国香港,深耕半导体光刻设备领域逾20年,在中国内地、中国台湾及日本设有分支机构与研发中心[3] - 公司掌握超过2000项光刻机关键零部件的专有技术,涵盖光源系统、光路系统、工件台系统等核心技术[3] - ABM已向全球超300家客户累计交付近1000台(套)设备,其中70%客户位于中国内地,产品广泛应用于集成电路前道制造及先进封装等领域[3] 项目规划与产能目标 - 项目拟选址佛山市顺德区北滘镇,首期将建设光刻机、涂胶显影设备及晶圆键合机等核心设备生产基地[4] - 依托ABM成熟技术平台,规划三年内实现年产百台套的目标[4] - 项目旨在打造全球领先的集高端设备制造、尖端研发和中试功能于一体的生产基地[4] 项目战略意义与产业影响 - 项目有望成为国内成熟制程节点和先进封装领域光刻设备国产化的中坚力量,填补国内高端光刻装备领域的空白[6] - 佛山将半导体及集成电路产业作为战略性新兴产业重点培育,已初步构建完整产业链生态,全市集聚规模以上半导体企业336家,产业规模突破900亿元[7] - 引入ABM项目是佛山实施“强链补链”战略的关键举措,聚焦半导体核心设备端,有望带动本地精密加工、高端光学元件等上下游配套协同发展[7] - 佛山力争实现半导体光刻装备产业五年内规模达40亿元、十年突破100亿元的目标,加快建设为粤港澳大湾区半导体及集成电路研制重要基地[7] 区位优势与合作基础 - 佛山作为粤港澳大湾区重要的制造基地,拥有深厚的工业基础和成熟的精密制造能力,与光刻机等高精度装备的制造需求高度契合[5] - 项目将借助佛山作为内地与港澳合作“桥头堡”的区位优势,利用ABM的国际化合作资源,推动技术、资本、人才的跨境流动[5]