近年来，佛山将半导体及集成电路产业作为战略性新兴产业重点培育，已初步构建起覆盖材料、设计、 制造、封测、装备等环节的完整产业链生态。截至目前，全市集聚规模以上半导体企业336家，产业规 模突破900亿元，广东先导稀材光芯片项目、蓝箭电子芯片封测基地等一批重大项目相继落地，形成"链 主引领、多点支撑"的发展格局。 9月30日，佛山市与ABM, Inc. Asia Pacific Ltd.（以下简称"ABM"）签订合作协议，广东唯一的光刻机量 产项目——年产百台套光刻机及先进封装核心设备生产基地项目落户佛山。佛山市市长白涛出席签约仪 式。 ABM成立于2003年，总部位于中国香港，深耕半导体光刻设备领域逾20年，在中国内地、中国台湾及 日本设有分支机构与研发中心。公司坚持自主研发制造，掌握超过2000项光刻机关键零部件的专有技 术，涵盖光源系统、光路系统、工件台系统、测量与对准系统、掩模版与掩模台机构、环境控制系统等 核心技术。截至目前，ABM已向全球超300家客户累计交付近1000台（套）设备，其中70%客户位于中 国内地，产品广泛应用于集成电路前道制造（如MEMS、化合物半导体、功率器件）以及先进封装 （TS ...