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AI图像识别传感器IV4系列
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全链路破局!基恩士领航半导体智能制造新升级
半导体芯闻· 2025-10-23 09:58
文章核心观点 - 全球工业自动化领军企业基恩士凭借其全链路产品矩阵和深度服务,为半导体行业提供高精度、易用性强、全场景适配的整合式解决方案,以应对行业向精密化、集成化、高效化发展的趋势,助力客户提升制造精度、生产效率与产品良率 [1][5][23] 公司概况与战略 - 基恩士成立于1974年,深耕自动化与品质保证领域超50年,是日本上市公司,市值曾稳居日本第三,并连续多年入选全球价值创造及创新企业榜单 [3] - 公司以产品革新为核心,每月均有新产品发布,且70%的新产品采用世界首创技术 [4] - 公司采用全直营模式,在全球46个国家设有250家全资子公司,2021年海外业务占比30%,如今已提升至60% [4] - 针对中国市场,公司于2001年在上海设立首家中国公司,24年来已在24个城市布局27家分公司,未来计划向中西部、西北地区拓展 [4] - 公司2024年全球员工超1.2万人(均为研发、销售与技术人员),全球销售规模超500亿人民币,人均产值超400万,全球客户超35万家,其中中国客户超15万家 [3] 半导体行业合作覆盖 - 公司产品线覆盖制造业从研发到物流仓储的全生命周期,在半导体行业合作覆盖度广,已与大多数半导体相关上市公司、绝大部分半导体设备厂家、封测领域绝大多数客户、晶圆领域很高比例的客户以及大部分硅片设备厂家建立密切合作 [5] 核心服务优势 - **全直销模式**:全球无代理商,客户可直接对接销售与技术团队,减少沟通环节,销售人员每日上门展示产品、解决现场问题 [8] - **当日出货能力**:承诺中国境内头天16:00前下单,次日到货;大订单从日本总部预订也仅需16个工作日 [8] - **全球协同支持**:依托海外分公司,并计划让中国技术团队直接出海支持中国企业 [8] - **高投入专业团队**:2024年中国区针对半导体行业的服务件数达32140件,总投入时长近5万小时 [9] - **全球化经验积累**:依托全球直销网络,在半导体领先地区积累丰富经验,并应用于国内客户 [9] - **陪伴式客户支持**:在国内客户推进国产化技术验证过程中,提供免费产品与人员支持,共同开展测试 [9] 精密测量解决方案 - **彩色激光同轴位移计CL-3000系列**:聚焦高精度、高速测量,应用于高度、振动、厚度、翘曲度等场景,适配光刻机内晶圆零位检测等极端环境(真空、高温),具备紧凑设计、强耐环境性、高精度测量(亚微米级)三大核心优势 [7][10] - **分光干涉式晶片厚度计SI-F80R**:专为半导体行业研发,采用近红外SLD宽波长光源,可穿透多种半导体材料,具备25微米超小光点、5000次/秒高采样速度与最高60纳米测量精度,广泛应用于CMP设备,可实现非接触式精密测厚、晶圆平坦度测量及掩膜版定位 [10][11] 智能传感器解决方案 - **AI图像识别传感器IV4系列**:可通过AI自动调焦、适配Semi字体,精准识别晶圆字符,稳定检测0.3毫米以下超薄片及透明晶圆的斜片、弯片、叠片问题 [14] - **对射式光幕传感器IG系列**:通过对射光幕采集数据,4秒内可完成8英寸平边晶圆粗定位,X/Y方向精度<1毫米、角度精度<0.1° [14] - **ESD静电解决方案**:含风扇、离子风棒、喷枪等,离子平衡性最高达±1伏,可针对性解决不同工位静电问题 [14] - **多种测量传感器**:涵盖接触式测笔(GT2系列,最小测力0.1牛、重复精度0.1微米)、单点式激光位移传感器(IL系列)、激光对射传感器(IG系列)、涡电流传感器(EX系列)、超声波传感器(FW系列)等 [14] - **温度传感器与数据采集**:透过锗玻璃的温度传感器(FT系列,最高测量1350℃)及数据采集设备(NR系列) [14] - 这些产品凭借精准测量、智能适配与场景化设计,为半导体制造质量控制、设备定位、风险预警提供高效支撑 [16] 流量监测解决方案 - **外夹式超声波流量计FDX系列**:采用“非侵入式”设计,无需切割管道,外夹安装即可实现无压力损失测量,具备Φ1~3毫米气泡检测能力与±1.5%重复精度,可在强酸强碱及高温(100℃水工况500小时稳定运行)环境下可靠工作 [17] - 产品适配性强,最小适配管径2.7毫米、最大覆盖8英寸厂务管道,广泛应用于晶圆厂各环节,如单片清洗设备、黄光区匀胶显影设备、薄膜设备及厂务端液体监控 [18] - 该系列产品曾为上海某公司解决15毫升/分钟酸液微小流量测量难题,并满足沈阳某公司5毫升光刻胶吐出量2%以内重复精度要求 [18] 视觉系统解决方案 - 针对半导体制造“安装空间窄、设备稳定性差、数据难管理”的核心痛点,推出涵盖硬件创新与软件方案的视觉系统 [20] - **硬件创新**:全长仅6厘米的小型相机适配紧凑场景,独立控制器避免多任务干扰,VDB加密狗支持离线优化检测程序、无需停机更新参数 [20] - **软件方案**:覆盖定位、外观检测(借2.5D线扫技术识别衬底颗粒、划痕)、封边倒角检测、防错(识别dummy片、预防碎片卡槽)、OCR追溯(识别字符并纠偏定位)等多核心场景 [20] 显微系统解决方案 - 数码显微镜产品以“平台化”为核心优势,实现“观察+测量+元素分析”一体化,自1990年推出首款产品以来已迭代至第六代(共27款型号) [22] - 产品具备七大核心特点:低倍率下超大景深(20倍时景深达3~4毫米,为普通光学显微镜20倍以上)、手持式设计与可倾斜镜头、高倍率景深合成、图像拼接(高倍率下可拍100亿像素图像)、多元测量、一键自动校准、首创和数码显微镜联动的元素判别模块(可在空气中1秒完成元素分析) [24] - 在半导体行业应用于芯片设计验证、晶圆表面缺陷观测、晶线/晶球测量、探针测试结果记录、异物成分检测等场景,可替代体视显微镜、扫描电镜等多类设备 [22]