公司产品与技术 - 公司在特种气体领域生产高纯四氟化碳、高纯六氟乙烷、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯八氟环丁烷、高纯三氟甲烷、稀混光刻气、高纯全氟丁二烯等超55个产品 [2] - 公司产品实现了国内同类产品的进口替代 [2] - 公司秉持技术立企、创新驱动的发展理念 [2] 公司研发方向 - 公司聚焦先进制程应用气体材料、高纯碳氢类、硅基前驱体等高端产品技术攻关与产业化工作 [2] - 公司研发满足14nm及以下先进制程半导体制造的需求 [2] - 公司致力于提升在高端电子特气领域的自主研发能力 [2]