文章核心观点 - zycgr发布9项仪器设备采购意向，预算总额达2.14亿元，预计采购时间为2025年10月至11月 [2][3] 采购项目概况 - 采购清单涵盖9项高端仪器设备，包括原子层沉积系统、立式化学气相沉积系统(CVD)、热/电子束蒸发设备、原子力显微镜、等离子体增强化学气相沉积系统、自动化抗体蛋白系统等 [3][8][9] - 预算总额为2.14亿元，采购方代号为zycgr，代表中央政府采购平台 [2][10] 主要采购设备详情 - **自动化抗体蛋白系统（一期）**：预算18720万元，用于大规模产出高质量的抗原-抗体相互作用数据集，实现抗体蛋白实验全流程自动化 [9] - **等离子体增强化学气相沉积系统**：预算500万元，基板尺寸8英寸，温度范围350~450℃，气路不少于10路 [9][10] - **立式化学气相沉积系统(CVD)**：预算320万元，采用垂直布局设计，极限真空度10Pa，适用于半导体制造、光电器件等领域 [4][9][10] - **原子层沉积系统**：预算280万元，腔体尺寸8英寸，衬底加热温度50-500℃，薄膜沉积均匀性≤±2% [5][9] - **晶圆临时键合设备**：预算400万元，键合压力20kN，控压精度≤±2%，温度精度≤±1% [9] - **热/电子束蒸发设备**：预算250万元，腔体尺寸8英寸，极限真空≤3×10-5 Pa，最低沉积速率≤0.1Å/s [9] - **原子力显微镜**：预算275万元，YZ扫描范围≥90μm×90μm×10μm，Z方向分辨率≤0.03 nm [9] - **小试试验装置、多塔吸附评价装置设备采购项目**：预算475万元，用于科研实验 [9] - **6000m耐压型多波束测深系统采购项目**：预算190万元，包括水下接收发射换能器单元、甲板单元及安装支架等 [9]

采购计划概览 - 华中科技大学近期发布35项仪器设备采购意向，预算总额达1.33亿元，涉及相位噪声分析仪、金相显微镜、功率器件分析仪等高端设备[2][3] - 采购计划预计执行时间为2025年6月至10月，涵盖材料科学、半导体、生物医学等多个领域[3] - 采购清单中包含多项高精尖设备，如等离子体增强化学气相沉积系统、大带宽高速时域信号调制分析仪等[3][12] 重点采购设备分析 - **金相显微镜**：用于金属及材料微观结构分析，支持晶粒大小、相分布等研究，预算180万元[4][13] - **功率器件分析仪**：专用于测试MOSFETs、IGBTs等功率半导体性能，支持1500A/3KV高压测试，预算198万元[5][13] - **等离子体增强化学气相沉积系统(PECVD)**：可在低温下沉积高质量薄膜，适用于半导体材料，预算230万元[6][13] - **极端条件电输运测试系统**：支持低温(~50mK)和强磁场(16T)下的电输运、比热等物性测量，预算880万元[11] - **FIB扫描电子显微镜双束系统**：分辨率达0.7nm@15kV，配备液态Ga离子源和能谱仪，预算980万元[12] 科研设备技术亮点 - **化学机械平坦化系统**：支持8英寸晶圆加工，抛光头分区加压控制，预算900万元[12] - **原子层刻蚀系统**：8英寸兼容，配备快速切换阀(响应时间<30ms)，预算550万元[12] - **电子束蒸镀机**：8英寸晶圆薄膜沉积均匀性σ<1.0%，预算450万元[12] - **存储器芯片测试系统**：支持8*8阵列芯片测试，16个SMU通道，最小脉宽400ps，预算300万元[12] 学校科研实力背景 - 华中科技大学为国内顶尖研究型大学，2025年ARWU全球排名第79位，U.S. News全球第100位[14] - 拥有9个"双一流"建设学科，机械工程、光学工程、生物医学工程等学科全国领先[15] - 科研平台包括武汉光电国家研究中心、国家脉冲强磁场科学中心等国家级基地[18] - 在肿瘤基因检测、电池材料、水污染控制等领域取得国际领先成果[16][17]