原子层沉积系统
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5.51亿元,多单位采购大批仪器设备
仪器信息网· 2025-12-12 03:57
Z多单位 202 5 年 12 月 仪器设备采购 意向汇总表 点 击 免 费 限 量 礼 盒 摘要 : 近日,多单位共发布多批政府采购意向,仪器信息网特对其中的仪器设备品目进行梳理,统计出 21项仪器设备采购意向,预算总额达5.51亿元。 特别提示 微信机制调整,点击顶部"仪器信息网" → 右上方"…" → 设为 ★ 星标,否则很可能无法看到我 们的推送。 近日,多个单位共发布 21 项仪器设备采购意向,预算总额达 5.51 亿 元 , 涉 及 光 学 显 微 镜 、低气压等离子体增强化学气相沉积系统、专用深硅刻蚀机、多腔体级联薄膜生长系统 、原子 层沉积系统、临界尺寸扫描电子显微镜 等,预计采购时间为 202 5 年 12 月 。 详细采购清单: | 采购 | | 预算 | 采购 | | --- | --- | --- | --- | | | 需求概况 | | | | 项目 | | 万元 | 时间 | | 辅助检测 | 功能目标:辅助观察检测,预计采购72台光学显微镜,用于支 | | 2025 | | 设备(光 | 撑全流程研发与试制。设备需满足技术规格要求,运行稳定, | 2520 | 年12 | | 学 ...
2.14亿元!zycgr采购大批仪器设备
仪器信息网· 2025-11-05 09:10
文章核心观点 - zycgr发布9项仪器设备采购意向,预算总额达2.14亿元,预计采购时间为2025年10月至11月 [2][3] 采购项目概况 - 采购清单涵盖9项高端仪器设备,包括原子层沉积系统、立式化学气相沉积系统(CVD)、热/电子束蒸发设备、原子力显微镜、等离子体增强化学气相沉积系统、自动化抗体蛋白系统等 [3][8][9] - 预算总额为2.14亿元,采购方代号为zycgr,代表中央政府采购平台 [2][10] 主要采购设备详情 - **自动化抗体蛋白系统(一期)**:预算18720万元,用于大规模产出高质量的抗原-抗体相互作用数据集,实现抗体蛋白实验全流程自动化 [9] - **等离子体增强化学气相沉积系统**:预算500万元,基板尺寸8英寸,温度范围350~450℃,气路不少于10路 [9][10] - **立式化学气相沉积系统(CVD)**:预算320万元,采用垂直布局设计,极限真空度10Pa,适用于半导体制造、光电器件等领域 [4][9][10] - **原子层沉积系统**:预算280万元,腔体尺寸8英寸,衬底加热温度50-500℃,薄膜沉积均匀性≤±2% [5][9] - **晶圆临时键合设备**:预算400万元,键合压力20kN,控压精度≤±2%,温度精度≤±1% [9] - **热/电子束蒸发设备**:预算250万元,腔体尺寸8英寸,极限真空≤3×10-5 Pa,最低沉积速率≤0.1Å/s [9] - **原子力显微镜**:预算275万元,YZ扫描范围≥90μm×90μm×10μm,Z方向分辨率≤0.03 nm [9] - **小试试验装置、多塔吸附评价装置设备采购项目**:预算475万元,用于科研实验 [9] - **6000m耐压型多波束测深系统采购项目**:预算190万元,包括水下接收发射换能器单元、甲板单元及安装支架等 [9]