核心技术突破 - 采用双光子聚合3D打印技术实现高精度制造，最小特征尺寸低于100纳米 [6][8] - 创新性使用柔性关节和3D静电梳状驱动器替代传统设计，解决微尺度下的摩擦、间隙和驱动难题 [3][11] - 实现机构与致动器一体化成型，避免微尺度下复杂装配过程 [8][11] 产品性能参数 - 微型机器人尺寸微小，microDelta-0.5X基座直径仅1.6毫米，高度0.723毫米 [1][12] - 运动性能卓越，共振频率高达1050 Hz，末端执行器能以每秒1050次频率往复运动 [3][12] - 运动精度极高，圆形轨迹均方根精度达到0.2 μm，约为一根头发直径的1/20 [3][13] 应用潜力验证 - 工作空间在x、y、z三个方向移动范围达150-200 μm，相对自身体积活动范围可观 [16] - 能够完成拾取-放置微型零件等复杂任务，实验证明可发射质量37 μg盐粒至4毫米高度 [16][18] - 无需真空环境工作，空气阻尼影响低于预期，降低应用门槛 [20] 技术挑战与优化 - 微尺度制造存在限制，实际角位移为理论值的0.76倍，未达4倍预期 [19] - 3D打印体素高度限制柔性关节最小厚度，使实际刚度比设计值高3.2倍 [19][20] - 柔性关节刚度高于预期使共振频率达到3000 Hz，是理论值的1.75倍 [20] 行业生态 - 机器人行业生态覆盖工业机器人、服务与特种机器人、医疗机器人、人形机器人等多个细分领域 [24][25][26][27][28][29]