杨绍辉 杨绍辉表示，零部件是半导体设备产业的基石，行业增长迅速，年均增长率超过50%。星奇半导体已布 局十几个研发方向，能够快速响应客户的前瞻性需求，与产业链上下游伙伴共同推动新技术的研发与产 业化应用。他相信，随着国内半导体设备产业迈上新高度，具备核心技术与系统能力的零部件企业将在 全球竞争中占据越来越重要的地位。 他表示，这些技术变革将直接拉动刻蚀、薄膜、键合等设备需求快速增长，并推动钼、钌等新材料的应 用普及。国际设备巨头已在这些领域布局并取得突破，例如泛林半导体在钼金属层工艺上的研发已达六 年，并开始在3D NAND量产中应用。 杨绍辉表示：在国内，半导体设备投资不仅体现在产能扩张，更体现在先进制程的产业化推进。以离子 注入设备为例，国内已有多家企业在不同类型的离子注入机领域实现布局并取得进展。薄膜设备领域， 各家企业虽产品类型多样，但基本覆盖了主要工艺环节；刻蚀设备方面，国内产品矩阵也日益完善；键 合设备则从先进封装和3D NAND领域向逻辑与DRAM领域拓展。 杨绍辉介绍，星奇半导体专注于工艺流控与电控核心部件，围绕集成电路反应介质的流量、压力、温度 进行精准控制与混配。公司扎根上海临港，已建立完 ...