大尺寸半导体硅片

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上海超硅获三项国家级科技成果认证,半导体材料本土化进程再加速
江南时报· 2025-09-22 07:30
上海超硅成立于2008年,是一家专注于大尺寸半导体硅片研发与生产的高科技企业。经过十余年发展, 公司已成为国内少数全面掌握大尺寸半导体硅片生产技术的企业之一,并成功进入国际一流集成电路企 业的供应链体系并向其批量供应产品,为国内先进制程集成电路产业链的自主可控奠定了坚实的基础。 2025年9月11日,国家工业信息安全发展研究中心在北京组织召开了科技成果评价会。经评价委员会全 面审查与讨论,一致认为上海超硅所提交的成果资料完整、数据详实,成果具有自主知识产权,整体技 术达到国际先进水平,具备显著的经济社会效益和广阔的应用前景。 此次获证的三项成果包括"先进制程用单晶硅生长炉系统及晶体生长技术的研发、集成与应用"、"集成 电路先进制程用300毫米硅片制造系统及规模化生产技术"以及"绝缘体上硅(SOI)专用装备系统及规模 化生产工艺技术",涵盖了晶体生长、先进制程用硅片制造和绝缘体上硅片(SOI)制造关键装备、工 艺技术等环节,体现了公司在先进制程集成电路硅片制造的装备以及种类、核心工艺等环节中的自主掌 控能力与系统化布局,更体现了公司可持续发展技术的核心能力。目前,相关产品已在全球一流客户中 成功应用,反馈良好。 ...