业务布局 - 公司半导体先进制程电源供应集中在刻蚀和薄膜沉积环节 [1] - 电源主要功能为产生和控制等离子体 [1] - 与光刻机电源存在显著工艺目的及环境差异 [1] 产品边界 - 当前未涉及光刻机电源供应业务 [1] - 现有电源产品与光刻机电源属于不同种类 [1]