行业整体表现与展望 - 2024年大中华区MEMS产业全球营收达到17亿美元，同比增长8.4%，出货量约54亿颗 [1] - 预计2024-2030年MEMS市场营收复合年增长率将达到3.6%，到2030年销量将达66亿件，营收将达到20亿美元 [1] - 在“AI+IoT+汽车电子”三重浪潮叠加下，中国厂商迎来了真正的“窗口期” [1] 主要厂商市场表现 - 歌尔微2024年实现营业收入45亿余元，是全球第五大、中国第一大智能传感交互解决方案提供商 [3] - 2025年上半年，士兰微的MEMS传感器产品营业收入同比增加10%，其加速度传感器国内市场占有率保持在20%-30%，六轴惯性传感器（IMU）出货量增加了2倍以上 [3] - 2025年上半年，瑞声科技传感器及半导体业务收入为人民币6.08亿元，同比增长56.2% [4] - 2025年上半年度敏芯股份营业收入创历史同期新高，达到3亿元，同比增加47.82% [5] 应用市场拓展 - 消费电子仍是最大单一应用板块，中国厂商如士兰微、瑞声科技、歌尔微、明皜传感及敏芯股份在可穿戴设备供应链中占据重要位置 [3] - 中国MEMS厂商正从消费电子向汽车与工业等高价值领域拓展，例如士兰微计划于2025年推出多款车用MEMS传感器产品 [6] - 智能座舱普及和新能源汽车发展为MEMS麦克风及惯性传感器带来增量空间 [6] - 医疗市场成为MEMS增长最快板块之一，尤其在OTC助听器市场和健康监测设备领域 [7] - 通信与AI基础设施带动了MEMS光开关、微镜及微型散热系统的需求 [8] MEMS器件技术进展 - MEMS器件种类丰富，包括惯性类、声学类、环境类、光学类、医疗类、执行与能量类，应用正全面延展 [9][10] - 中国MEMS麦克风产业几乎实现全链条国产化，在声学性能、信噪比与功耗控制上已接近国际一线水准 [10] - 国内厂商在惯性传感器温漂控制、集成算法和测试标定方面进步明显，预计国产IMU将在3-5年内完成性能代际跃升 [11] - 中国厂商正通过“硅光子+MEMS”技术路线切入光开关与波导调制器市场 [11] - 拜安科技6英寸MEMS光学传感器芯片产线正式投产，日产能在1000颗至2000颗，其MEMS光学压力传感器测量绝压精度可达0.01% [11] - “智能MEMS”集成边缘AI成为下一阶段战略重点 [11] 制造能力与产业链发展 - 2024年大中华区MEMS代工营收同比增长14.3%，制造端成为产业增长新引擎 [13] - 国内形成以芯联集成、赛微电子、华润微、广州增芯、士兰微等为代表的核心MEMS代工阵列 [13] - 赛微电子北京产线已实现1.5万片/月产能，计划提升至3万片/月 [14] - 芯联集成已跻身全球MEMS代工“第一梯队”，并完成新一代高性能MEMS麦克风研发平台 [16] - 华润微实现MEMS高端三层结构硅麦麦克风传感器国际首创，信噪比达到70dB [17] - 广州增芯12英寸晶圆制造产线项目于2024年6月投产，是国内首条12英寸MEMS智能传感器晶圆制造产线，一期产能目标2万片/月 [18] - 领先MEMS厂商如睿创微纳、奥松半导体、士兰微正自建晶圆线以强化“设计-制造-封测”一体化能力 [20] - 科研院所如上海工研院（SITRI）和苏州工业园区纳米产业技术研究院为产业提供关键制造支撑与创新基础 [19][20]